附件32.1

行政總裁及財務總監的認證

根據“美國法典”第18編第1350條,

根據

2002年薩班斯-奧克斯利法案第906節

關於本文件日期提交給美國證券交易委員會的MKS Instruments,Inc.(“本公司”)截至2021年6月30日的10-Q表格季度報告(以下簡稱“報告”),簽名人、本公司總裁兼首席執行官John T.C.Lee和本公司高級副總裁、首席財務官兼財務主管Seth H.Bagshaw根據美國法典第18編第1350節的規定,特此證明:

 

 

(1)

該報告完全符合1934年《證券交易法》第(13)(A)或(15)(D)節的要求;以及

 

 

(2)

報告中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的財務狀況和經營結果。

 

日期:2021年8月5日

/約翰·T·C·李(John T.C.Lee)

約翰·T·C·李(John T.C.Lee)

總裁兼首席執行官

(首席行政主任)

 

日期:2021年8月5日

/s/Seth H.Bagshaw

賽斯·H·巴格肖(Seth H.Bagshaw)

高級副總裁、首席財務官兼財務主管

(首席財務官)