別紙5.1

2024年8月9日

Veecoインスツルメンツ株式会社

ターミナルドライブ

プレインビュー、ニューヨーク 11803

RE：2024年ヴィーコ・インスツルメンツ社の2019年株の修正 インセンティブプラン

ご列席の皆様:

あなたのご要望に応じて、検討しました 証券取引委員会に提出されるフォームS-8の登録届出書（「登録届出書」） 1933年の証券法に基づく登録に関連して、Veecoインスツルメンツ株式会社（以下「当社」）が 普通株式3,500,000株（以下「株式」）の改正（「証券法」）、額面 価値は1株あたり0.01ドル（「普通株式」）、当社の2019年度に基づいて随時発行されます 株式インセンティブ制度（修正後、「インセンティブ制度」）。

関連するあなたのカウンセルとして 登録届出書を使用して、認証済みまたはその他の方法で満足のいくものとして特定された原本またはコピーを審査しました 提出の目的で必要であると当社が判断した文書、会社記録、公務員の証明書、その他の書類 この意見と、承認に関連して当社が取る予定の手続きに精通しています。 株式の発行と売却。私たちの審査では、すべての署名が本物であること、つまり、次の署名が真正であることを前提としています 原本として提出されたすべての書類、すべての自然人の法的能力、およびすべての書類の原本との適合性 コピーとして提出されました。この意見書は、前述の内容を踏まえて提示され、ここに記載されているすべての記述がなされています。 下記の意見では、株式の発行に関連して、当社は 当該各発行の対象となる株式の額面金額の合計以上の金額の対価。

に基づいており、対象となります 上記の、（i）登録届出書の有効性に続いて、（ii）株式の発行というのが私たちの意見です インセンティブプランの条件に従って、および（iii）インセンティブプランで指定された株式の対価の会社による受領に従って 取締役会またはその正式に権限を与えられた委員会とインセンティブプランの該当する決議、株式は有効です 発行済み、全額支払い済み、査定不可。ここに述べられている意見は、デラウェア州の一般会社法に限定されています 現在有効です。

この意見書は 登録届出書に関連して使用するために準備されました。前述の変更についてお客様に通知する義務は負いません 登録届出書の発効日以降。

私たちはここに提出に同意します 登録届出書の別紙としてこの意見を。そのような同意を与えることで、私たちは自分たちの行動が範囲内であることを認めません 証券法の第7条または証券の規則や規制に基づいて同意が必要な人のカテゴリー そしてその下の取引委員会。