別紙21.1です

アクセリス・テクノロジーズ株式会社

2023年12月31日に終了した年度のフォーム10-Kの別紙21.1です

子会社

以下は、本書の日付時点での、Axcelis Technologies, Inc. のすべての直接および間接完全子会社のリストです。

国内子会社

1.

アクセリス・テクノロジーズ(イスラエル)社、デラウェア州の企業

ヨーロッパの子会社

2.

アクセリス・テクノロジーズ社(ドイツ)

3.

アクセリス・テクノロジーズ、Srl(イタリア)

4.

アクセリス・テクノロジーズ、サール(フランス)

アジア子会社

5.

アクセリス・テクノロジーズ、株式会社(日本)

6.

アクセリス・テクノロジーズ・リミテッド(韓国)

7.

アクセリス・テクノロジーズ株式会社 (台湾)

8.

アクセリス・テクノロジーズ株式会社株式会社 (シンガポール)

9.

アクセリス・テクノロジーズ・セミコンダクター・トレーディング (上海) 有限公司 (中華人民共和国)

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