別紙32.1

アクセリス・テクノロジーズ株式会社

最高経営責任者の資格

アメリカ合衆国法典第18編第63章のセクション1350に従って

デラウェア州の企業であるAxcelis Technologies, Inc. の以下に署名した最高経営責任者は、米国法典第18編第63章第1350条の目的上、（2002年のサーベンス・オクスリー法第906条により施行）、以下のことをここに証明します。

このフォーム10-K/A（改正 #1）の年次報告書は、1934年の証券取引法（15 U.S.C. 78mまたは78o（d））のセクション13（a）または15（d）の要件に完全に準拠しており、ここに含まれる情報は、すべての重要な点で、会社の財政状態と経営成績を公正に示しています。

その証人として、署名者は2024年2月28日にこの認証を実行しました。