別紙23.1
独立登録公認会計事務所の同意
私たちは、以下の登録届出書の参照により法人設立に同意します。
| (1) | アクセリス・テクノロジーズ社の2012年株式インセンティブプランに関する登録届出書（フォームS-8番号333-181750、333-188967、333-196157、333-204544、333-211673、333-218225、333-231634）、 |
| (2) | アクセリス・テクノロジーズ社の2020年従業員株式購入計画に関する登録届出書（フォームS-8番号333-238770） |
| (3) | 2000年の株式プランと2012年の株式インセンティブプランに関する登録届出書（フォームS-8番号333-120356）、および |
| (4) | 普通株式、優先株式、新株予約権、債務証券およびユニットの登録に関するAxcelis Technologies, Inc.の登録届出書（フォームS-3番号333-273639）および関連する目論見書。 |
2024年2月23日付けの当社の報告のうち、2023年12月31日に終了した年度のAxcelis Technologies社の連結財務諸表とスケジュール、およびAxcelis Technologies社の財務報告に対する内部統制の有効性に関するものです。
/s/ アーンスト・アンド・ヤング法律事務所
マサチューセッツ州ボストン
2024年2月28日
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