添付ファイル23.1

独立公認会計士事務所の同意

当社が3月14日に提出したMKS機器会社S-3表(333-34450，333-109753，333-267046番)とS-8表(333-78069，333-78071，333-78073，333-31224，333-54486，333-54488，333-54490，333-90498，333-90500，333-90502，333-113387，333-113389，333-127221，333-161211，333-90500，333-211026，333-2292983，333-127221，333-161211，333-195750，333-222983，264817)に引用的に報告することに同意した。2023連結財務諸表と財務諸表明細書および財務報告の内部統制の有効性について、本リスト10-Kを参照されたい。

/s/普華永道会計士事務所
ボストン、マサチューセッツ州

2023年3月14日