添付ファイル21.1

登録者の子会社

1.

デラウェア州Intevac Photonics社は

2.

Intevac Pacific Group Holdings Ltd.シンガポールプライベート株式会社

3.

ロータス技術会社カリフォルニア州サンクララ

4.

IRPC,Inc.カリフォルニア州サンクララ

5.

インターアーク海外販売会社バルバドス

6.

Intevac Asia Private Limited(シンガポール)

7.

Intevacマレーシア有限会社マレーシア支部

8.

INTEVAC有限会社香港分会

9.

イントウィック(深セン)有限公司中国