添付ファイル24

授権依頼書

以下の署名の各個人は、Michael WangおよびLisa D.Gibbs、および彼らの各々、その真の合法的な事実代理人および代理人を構成して任命し、彼の名義、場所、およびエージェントとして、任意およびすべての身分で、任意およびすべての身分でAmtech Systems，Inc.2022年9月30日までの財政年度Form 10-K年次報告、およびForm 10-K年次報告の任意およびすべての修正を行い、すべての証拠物およびこれに関連する他の文書と共に証券取引委員会に提出することに留意されたい。上記事実弁護士及び代理人、並びに彼ら一人一人に十分な権力及び権限を付与し、物件内及び周囲で各必要かつ必要な行為及び事柄、並びに本人が可能又は自ら行うことができるすべての意図及び目的を付与し、ここで上述したすべての事実弁護士及び代理人、又はその代替者又はその代替者を承認し、確認することは、本条例に従って行われるすべての行為を合法的に行うことができ、又は誘導することができる。