添付ファイル23.2

独立公認会計士事務所の同意

S-8表(第333-09911，333-131051，第333-145454，第333-168606，第333-168607，第333-196937，第333-196940，第333-204431，第333-263875号表)を，2021年11月17日に提出した報告書に，Amtech Systems，Inc.2021年9月30日までの総合財務諸表，および2021年9月30日までの2年度毎の10-K表年報に引用することに同意した。