添付ファイル23.1

独立公認会計士事務所の同意

我々は，Amtech Systems，Inc.2022年9月30日までの年次報告Form 10−Kにおける連結財務諸表に関連した2022年11月30日付の報告を発表した。我々は，上記の報告をAmtech Systems，Inc.がS-8形式で提出した登録声明(文書番号：333-263875，333-204431，333-196940，333-196937，333-131051，333-145454，333-09911，333-168606，333-168607号)に引用して組み込むことに同意した。