添付ファイル32.1

最高経営責任者と財務責任者の認証

アメリカ法典第18編1350条によると

以下の規定により可決する

2002年サバンズ·オクスリ法案906節

本報告日が米国証券取引委員会に提出された2022年6月30日現在のMKS機器会社(“当社”)10-Q表四半期報告(以下、“報告”と略す)、署名者John T.C.Lee、会社最高経営責任者総裁および会社最高財務官兼財務担当Seth H.Bagshaw、会社最高財務官兼財務担当上級副総裁について、現在、2002年サバンズ-オクスリ法案第906節で採択された“米国法典”第18編1350条証明に基づいて、その知るところに基づいている