附件32.1
首席执行官和首席财务官的认证
依据《美国法典》第18编第1350条，
根据以下规定通过
2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节
与MKS仪器公司10-K表格年度报告有关。(the“公司”）于本报告日期向美国证券交易委员会提交的截至2021年12月31日止期间的报告（“报告”）万亿.e以下签名，John t.C.公司总裁兼首席执行官Lee和Seth H。公司高级副总裁、首席财务官兼财务主管Bagshaw特此证明，根据美国法典第18条根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的第1350条，根据其所知：
|
|
(1) |
该报告完全符合1934年《证券交易法》第13(A)或15(D)节的要求；以及 |
|
|
(2) |
该报告所载资料在各重大方面均公平地反映了本公司的财务状况及经营结果。 |
|
|
|
|
日期：2022年2月28日 |
/s/ John TC李 |
|
|
约翰·TC李 总裁与首席执行官 (首席行政主任) |
|
|
|
|
日期：2022年2月28日 |
/s/ Seth H.巴格肖 |
|
|
塞斯·H巴格肖 首席财务官兼财务主管高级副总裁 (首席财务官) |