附件23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们特此同意在表格S-3的注册声明中以引用的方式纳入其中（No. 333-34450和333-109753）和表格S-8（No. 333-78069、333-78071、333-78073、333-31224、333- 54486、333- 54488、333 -54490、333-90498、333 - 90500、333- 90502、333-116385、333 - 116387、333- 116389、333-127221、333-161211、333-195750、333-211026和333-229483）MKS仪器公司我们日期为2022年2月28日的报告，涉及合并财务报表和财务报表附表以及财务报告内部控制的有效性，该报告出现在该表格10-k中。

/s/普华永道会计师事务所
波士顿，马萨诸塞州

2022年2月28日