子公司

成立为法团的司法管辖权

Atotech Manufacturing，Inc

特拉华州

北京纽波特光谱物理技术有限公司公司

中国

欧洲电气科学工业有限公司

联合王国

电工科学工业有限公司

德国

新加坡电气科学工业有限公司公司

新加坡

雷克托科学工业股份有限

俄勒冈州

ESI中国公司

俄勒冈州

艾世卫电子设备（上海）有限公司公司

中国

ESI国际公司

俄勒冈州

ESI日本万.k.

日本

ESI韩国公司

韩国

ESI越南有限公司

越南

High Q Laser GmbH

奥地利

微控制光谱-物理SAS

法国

收件箱有限责任公司

特拉华州

MKS丹麦ApS

丹麦

MKS德国控股有限公司

德国

MKS仪器（中国）有限公司

中国

MKS仪器（香港）有限公司

香港

MKS仪器（新加坡）私人。公司

新加坡

MKS仪器德国有限公司

德国

MKS仪器ESI瑞士有限公司

瑞士

MKS仪器控股有限公司

联合王国

MKS仪器以色列有限公司

以色列

MKS仪器意大利有限公司

意大利

MKS仪器墨西哥S. de R.L. de C.V.

墨西哥

MKS仪器英国有限公司

联合王国

MKS日本公司

日本

MKS韩国有限公司

韩国

MKS Spectra Holdings Limited

联合王国

MKS台湾科技有限公司

台湾

Newport Corporation

内华达州

纽波特仪器加拿大公司

加拿大

纽波特激光控股有限公司

奥地利

纽波特奥菲尔控股有限公司

以色列

纽波特光电子技术（新加坡）私人。公司

新加坡

纽波特光电子技术（苏州）有限公司

中国

纽波特光谱物理公司

荷兰

纽波特光谱物理有限公司

德国

纽波特光谱物理有限公司

联合王国

奥菲尔日本有限公司

日本

奥菲尔光学SRL

罗马尼亚

奥菲尔光电有限公司

以色列

奥菲尔光电解决方案有限公司

以色列

Ophir Spiricon Europe GmbH

德国

Ophir-Spiricon，LLC

犹他州

Photon Control（USA）Inc.

特拉华州

Photon Control Inc.

加拿大

Spectra-Physics万.k.

日本

V-Gen有限公司

以色列