展览31.1。
首席执行官和首席财务官的认证
根据1934年证券交易法第13a-14(a)/第15d-14(a)条款，我，John t.C. Lee，证明：
已经审核了MKS Instruments, Inc.的这份10-Q表格的季度报告；
/s/ 约翰·t.C.李
1.选举作为董事的四位被提名人，其名称在附加的代理声明中列出，其任期将在2025年的股东年会上到期且在其继任者被选举和被确认前担任董事。
（首席执行官和首席财务官）
2.
根据我的了解，本报告中包括的财务报表和其他财务信息，充分、真实反映了本报告中所列举的期间内注册人的财务状况、经营业绩和现金流量;
3。
本注册人的其他认证主管和我会负责建立和维护注册人的披露控制和程序(如证券交易法规则13a-15(e)和15d-15(e)所定义)并且已经：
4.
注册人的另一位认证官员和我负责建立和维护披露控制程序（如交易所法规13a-15(e)和15d-15(e)所定义）和注册人的内部财务报告控制（如交易所法规13a-15(f)和15d-15(f)所定义），并且：
第一期于2021年1月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
设计将谢公司重要信息，包括其合并子公司的信息，通过其他人在编制本报告期间内向我们披露的披露控制和程序;
第二期于2021年2月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
设计了这样的内部财务报告控制或在我们的监督下促使这些内部财务报告控制的设计以依据普遍公认会计原则为外部目的可靠地报告财务情况和编制财务报表，以提供合理的保证；
第三期于2021年3月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
评估了注册人的披露控制和程序的效力，并根据这些评估，就根据本报告涵盖期间的披露控制和程序的效力，在本报告中提出了我们的结论;
第四期于2021年4月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
在本报告中披露了本注册人的财务报告内部控制发生的任何变化，这种变化在本注册人最近的财政季度内有重大影响，或者有可能对本注册人的财务报告内部控制产生重大影响;并且
5。
我们与注册人的审计师和董事会董事（或履行相同职能的人员）披露了注册人的其他认证官员和我们的最新的内部控制评估结果；
第一期于2021年1月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
在财务报告内部控制的设计或操作中存在重大缺陷和实质性弱点，这种缺陷和弱点有可能对本注册人记录、处理、总结和报告财务信息的能力产生不利影响;并且
第二期于2021年2月交付的产品的计划交付期前不迟于55天支付总购买价格的8.33%；
有关本注册人的管理层或其他员工在试图影响本注册人财务报告内部控制方面有重要作用的欺诈问题已在本登记人的最新财务报告内部控制评估中揭示。
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日期：2024年8月8日 |
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万亿。根据2002年Sarbanes-Oxley法案第906节采纳的18 U.S.C.第1350节规定，公司总裁兼首席执行官John t.C. Lee在其知识范围内证明： |
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John t.C. Lee 总裁兼首席执行官 (首席执行官和首席财务官) |