附件32.1

AMTECH SYSTEMS，INC.及其子公司

证明

根据2002年Sarbanes-Oxley法案第906条所采纳的做法，18 U.S.C.第1350节说明：

根据采用的方法，

2002年Sarbanes-Oxley法案第906条的规定：

就Amtech Systems, Inc. (以下称“公司”)截至2024年6月30日的第10-Q表格所载季度报告（以下称“报告”）而言，在本日提交给证券交易委员会的文件中，本人 Robert C. Daigle，公司董事长兼首席执行官，根据 18 U.S.C. 第 1350 节以及 Sarbanes-Oxley Act of 2002 第 906 节采用的规定，特此证明据我所知:

(1)
报告完全符合1934年证券交易法第13（a）或第15（d）条的要求；以及
(2)
报告中所包含的信息在所有重要方面公正地展示了公司的财务状况和运营结果。

 

作者：

 

/s/ Robert C. Daigle

 

 

Robert C. Daigle

 

 

董事长兼首席执行官

 

 

Amtech Systems, Inc.

 

 

 

日期：

 

2024年8月7日

 

上述证明是根据 18 U.S.C. 第 1350 节提供的，不是为了修改1934年修订版的证券交易法 第18条的目的，也不得作为公司任何文件的一般纳入语言，无论是任何纳入性文件。