附件21.1
KLA公司
截至2022年6月30日的子公司名单
名字州政府或其他地方的司法管辖区
成立为法团/组织
国内子公司 
Anchor半导体公司 加利福尼亚
国际销售与商业公司加利福尼亚
KLA—DIOOR中国公司加利福尼亚
KLA—FIEOR国际公司加利福尼亚
VLSI标准公司加利福尼亚
伯利兹控股有限责任公司特拉华州
ECI Technology,Inc 新泽西
ECI Technology International,Inc特拉华州
KLA—Pac或Asia—Pac分销公司特拉华州
KT Venture Group,LLC特拉华州
KT Venture Group II,LLC特拉华州
Kt Venture Management,LLC加利福尼亚
迪诺收购技术有限责任公司特拉华州
Zeta Instruments,Inc特拉华州
KT娱乐协会特拉华州
威士忌控股子公司特拉华州
Microsense,LLC特拉华州
纳米机械公司田纳西州
Filmetrics,Inc.加利福尼亚
奥宝科技公司特拉华州
Photon Dynamics,Inc.加利福尼亚
Photon Dynamics太阳能公司特拉华州
Orbotech LT Solar,LLC特拉华州
KLA Aleris Holding,LLC特拉华州
KLA FinCo LLC 特拉华州
KLA Singapore LLC 特拉华州
国际子公司
安克(上海)半导体公司 上海
ICOS视觉系统公司BVBA比利时
ICOS视觉系统公司比利时
Lee Ta Technologies(BVI),Inc.英属维尔京群岛
KLA—RIGOR Corporation(Cayman)Limited,I开曼群岛
KLA—RIGOR Corporation(Cayman)Limited,III开曼群岛
KLA—RIGOR Corporation(Cayman)Limited,IV开曼群岛
艾科斯视觉系统(深圳)有限公司。中国
KLA—YOROR国际贸易(上海)有限公司公司中国
凯乐半导体设备技术(上海)有限公司公司中国
法国SARL法国
KLA—RIGOR GmbH德国
KLA—RIGOR MIE GmbH德国
MIE Holdings GmbH & Co. KG德国
MIE Holdings Verwaltungs GmbH德国




名字州政府或其他地方的司法管辖区
成立/组织
ICOS视觉系统有限公司香港
KLA—RIGOR Software India Private Limited印度
KLA—FIGOR爱尔兰有限公司爱尔兰
光学计量专利有限公司爱尔兰
KLA—EQUOR Corporation(以色列)以色列
KLA—FIEOR Corporation Holding(1987)Ltd.以色列
KLA-天丝公司(1992)有限公司以色列
KLA—EQUOR综合计量(以色列)有限公司以色列
KLA—FUNG或Italy S.R.L.意大利
KLA—JIAN,Ltd.日本
韩国KLA—RIGOR Korea,Inc.韩国
MIE Holdings S. à r.l.卢森堡
KLA-Tencent or(马来西亚)有限公司马来西亚
KLA-Tencent or(新加坡)私人有限公司LTD.新加坡
KLA—FUNOR Singapore Holding Co.公司新加坡
KLA—FUNOR Singapore Holding Co. Ltd.新加坡
KLA-天丝(泰国)有限公司泰国
KLA—RIGOR Limited英国
湖人控股公司APS丹麦
Capres A/S丹麦
ECI日本KK 日本
合肥申安半导体科技有限公司 中国
InnerSense 以色列
奥博科技有限公司以色列
奥博图公司以色列
前线警察局Solutions Ltd.以色列
激光成像系统有限公司德国
新系统SRL意大利
德国奥宝泰克有限公司德国
Orbotech S.A.比利时
奥宝科技太平洋有限公司香港
奥博泰克电子(深圳)有限公司中国
奥博泰克电子(苏州)有限公司中国
欧宝贸易(上海)有限公司公司中国
Orbotech日本有限公司日本
奥博科技亚洲有限公司香港
Orbotech Singapore Corporation Pte Ltd新加坡
Orbotech韩国有限公司韩国
奥博泰克物流有限公司香港
奥菲克科技 以色列
SPTS科技有限公司英国
SPTS科技有限公司台湾
上海斯通科技有限公司中国
SPTS科技英国有限公司英国
SPTS技术海外控股有限公司英国
欧宝科技风险投资有限公司以色列




名字州政府或其他地方的司法管辖区
成立/组织
Orbotech Technology Ventures LP以色列
奥博科技控股有限公司德国
Orbotech B.V.荷兰
Orbotech加勒比有限公司英属维尔京群岛
Qoniac GmbH德国
Qoniac韩国有限公司韩国