附录 32.1

认证

根据《美国法典》第 18 节第 1350 节，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

关于截至本文发布之日向美国证券交易委员会提交的截至2024年3月31日的MKS Instruments, Inc.（“公司”）10-Q表季度报告（“报告”），下列签署人、公司总裁兼首席执行官约翰·T.C. Lee特此证明，根据根据Sarbanc第906条通过的《美国法典》第18条第1350条据他所知，2002 年的《埃斯-奥克斯利法案》：