附录 32.1

根据《美国法典》第 18 条第 1350 条对首席执行官进行认证，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

我，迈克尔·普利辛斯基，根据根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的《美国法典》第18章第1350条，证明Onto Innovation Inc.截至2024年3月30日的10-Q表季度报告完全符合1934年《证券交易法》第13（a）或15（d）条的要求，以及其中包含的信息 10-Q表季度报告在所有重要方面公平地列出了Onto Innovation Inc.的财务状况和经营业绩。

日期：2024 年 5 月 9 日