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附录 32.1

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AXCELIS 科技股份有限公司

首席执行官的认证

根据《美国法典》第 18 编第 63 章第 1350 节

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就美国法典第18编第63章第1350条而言（由2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条实施），特拉华州的一家公司Axcelis Technologies, Inc. 的首席执行官特此证明如下：

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本10-Q表季度报告完全符合1934年《证券交易法》（15 U.S.C. 78m或78o（d））第13（a）或15（d）条的要求，此处包含的信息在所有重大方面公允地列出了公司的财务状况和经营业绩。

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以下签署人已于2024年5月2日执行本认证，以昭信守。

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