附件15.1

独立注册会计师事务所的同意

向监事会
ASML Holding NV:
我们同意在注册声明中以提述的方式注册成立(编号:333-116337、333-126340、333-136362、333-141125、333-142254、333-144356、333-147128、333-153277、333-162439、333-170034、333-188938、333-190023、333-192951、333-203390、333-219442和333-227464)在我们2022年2月9日报告的表格S-8中,内容涉及ASML Holding NV的合并财务报表以及财务报告内部控制的有效性。

荷兰阿姆斯特尔文
毕马威会计师事务所
2022年2月9日