附录 23.1
独立注册会计师事务所的同意
我们同意以提及方式纳入以下注册声明：
| (1) | 与 Axcelis Technologies, Inc. 2012年股权激励计划有关的注册声明（S-8表格，编号333-181750、333-188967、333-196157、333-204544、333-211673、333-218225和333-231634） |
| (2) | 与Axcelis Technologies, Inc. 2020年员工股票购买计划有关的注册声明（S-8表格编号333-238770） |
| (3) | 与2000年股票计划和2012年股权激励计划有关的注册声明（S-8表格编号333-120356），以及 |
| (4) | Axcelis Technologies, Inc.关于普通股、优先股、认股权证、债务证券和单位注册的注册声明（表格S-3，编号333-273639）及相关招股说明书； |
我们在2024年2月23日发布的关于Axcelis Technologies, Inc.截至2023年12月31日止年度的10-K/A表格第1号修正案中包含的关于Axcelis Technologies, Inc.合并财务报表和附表以及对Axcelis Technologies, Inc.财务报告的内部控制有效性的报告中。
//安永会计师事务所
马萨诸塞州波斯顿
2024年2月28日
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