000http://fasb.org/us-gaap/2023#OtherLiabilitiesCurrenthttp://fasb.org/us-gaap/2023#OtherLiabilitiesNoncurrentAXCELIS科技公司3268500032775000P22YP1Yhttp://fasb.org/us-gaap/2023#OtherLiabilitiesCurrenthttp://fasb.org/us-gaap/2023#OtherLiabilitiesNoncurrent00011132322023FY假的0001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2023-01-012023-12-310001113232ACLS：可疑账户和退货会员的津贴2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2023-12-310001113232ACLS：可疑账户和退货会员的津贴2023-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2022-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2021-12-310001113232US-GAAP：递延纳税资产成员的估值补贴2020-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 最大成员US-GAAP：员工股票会员2022-01-012022-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2022-01-012022-12-310001113232SRT: 最大成员US-GAAP：员工股票会员2021-01-012021-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2023-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2023-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2023-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2022-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2022-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2022-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2021-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2021-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2021-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2020-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2020-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2020-12-310001113232ACLS：美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232ACLS：美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232ACLS：美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232ACLS：美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2023-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2022-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2021-12-310001113232美国通用会计准则：普通股成员2020-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员2022-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员2023-12-310001113232US-GAAP：员工股票会员2023-12-310001113232ACLS: 股票期权奖会员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2023-12-310001113232ACLS: 2012 年股权激励计划成员2023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2022-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：限制性股票成员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：非雇员董事会成员US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：非雇员董事会成员ACLS: 股票期权奖会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 员工会员US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：贝弗利地产所有者有限责任公司成员2023-12-310001113232国家：美国2023-01-012023-12-310001113232ACLS：其他产品系统服务和特许权使用费会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：离子注入系统服务和特许权使用费会员2023-01-012023-12-310001113232国家：美国2022-01-012022-12-310001113232ACLS：其他产品系统服务和特许权使用费会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：离子注入系统服务和特许权使用费会员2022-01-012022-12-310001113232国家：美国2021-01-012021-12-310001113232ACLS：其他产品系统服务和特许权使用费会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS：离子注入系统服务和特许权使用费会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 北美会员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 欧洲会员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 北美会员2022-01-012022-12-310001113232SRT: 欧洲会员2022-01-012022-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：新系统收入会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS: 售后市场会员2022-01-012022-12-310001113232SRT: 北美会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 欧洲会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS：新系统收入会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS: 售后市场会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 最低成员US-GAAP：机械和设备成员2023-12-310001113232SRT: 最大成员US-GAAP：机械和设备成员2023-12-310001113232US-GAAP：在建资产成员ACLS：为内部使用而制造的资产会员2023-12-310001113232ACLS：已完成内部使用资产成员ACLS：为内部使用而制造的资产会员2023-12-310001113232ACLS：为内部使用而制造的资产会员2023-12-310001113232US-GAAP：在建资产成员ACLS：为内部使用而制造的资产会员2022-12-310001113232ACLS：已完成内部使用资产成员ACLS：为内部使用而制造的资产会员2022-12-310001113232ACLS：为内部使用而制造的资产会员2022-12-310001113232US-GAAP：机械和设备成员2023-12-310001113232US-GAAP：土地和建筑会员2023-12-310001113232US-GAAP：在建会员2023-12-310001113232US-GAAP：机械和设备成员2022-12-310001113232US-GAAP：土地和建筑会员2022-12-310001113232US-GAAP：在建会员2022-12-310001113232ACLS：贝弗利地产所有者有限责任公司成员美国公认会计准则：建筑会员2015-01-302015-01-300001113232ACLS：为内部使用而制造的资产会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：为内部使用而制造的资产会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：累积翻译调整成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：累积固定福利计划调整成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：累积的其他综合收入成员2021-01-012021-12-310001113232美国公认会计准则：外国会员2023-12-310001113232ACLS：研究开发和其他税收抵免成员2023-12-310001113232ACLS: 联邦议员2023-12-310001113232US-GAAP：销售和营销费用会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：研发费用会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：一般和管理费用会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 产品或服务会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：销售和营销费用会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：研发费用会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：一般和管理费用会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS: 产品或服务会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：销售和营销费用会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：研发费用会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：一般和管理费用会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS: 产品或服务会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 欧洲会员2023-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2023-12-310001113232国家：美国2023-12-310001113232SRT: 欧洲会员2022-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2022-12-310001113232国家：美国2022-12-310001113232SRT: 欧洲会员2021-12-310001113232SRT: 亚太地区会员2021-12-310001113232国家：美国2021-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：留存收益会员2021-01-012021-12-310001113232SRT: 场景预测成员2024-01-012024-12-310001113232ACLS: 硅谷银行会员US-GAAP：循环信贷机制成员2023-04-050001113232ACLS: 硅谷银行会员US-GAAP：循环信贷机制成员2023-12-280001113232ACLS：贝弗利地产所有者有限责任公司成员US-GAAP：土地和建筑会员2015-01-300001113232ACLS：贝弗利地产所有者有限责任公司成员美国公认会计准则：建筑会员2015-01-300001113232SRT: 最大成员2023-12-310001113232US-GAAP：库存估值储备成员2023-12-310001113232US-GAAP：库存估值储备成员2022-12-310001113232ACLS：售后回租会员2023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2023-12-310001113232SRT: 最大成员ACLS: 股票期权奖会员2023-12-310001113232US-GAAP：限制性股票单位 RSU 成员ACLS: 2012 年股权激励计划成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：普通员工会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：薪酬丰厚的员工会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：产品会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 服务会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：产品会员2022-01-012022-12-310001113232ACLS: 服务会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：产品会员2021-01-012021-12-310001113232ACLS: 服务会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：非美国会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：地理集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：第二大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：最大的客户会员US-GAAP：应收账款会员US-GAAP：信用集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：非美国会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：地理集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：第二大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：第二大客户会员US-GAAP：应收账款会员US-GAAP：信用集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：最大的客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232ACLS：最大的客户会员US-GAAP：应收账款会员US-GAAP：信用集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：非美国会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：地理集中度风险成员2021-01-012021-12-310001113232ACLS：第二大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2021-01-012021-12-310001113232ACLS：最大的客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2021-01-012021-12-310001113232ACLS: 2012 年股权激励计划成员2012-05-0200011132322020-12-310001113232ACLS：货币市场基金美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232ACLS：货币市场基金美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232ACLS：货币市场基金美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值输入二级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232ACLS：货币市场基金美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232ACLS：货币市场基金美国政府证券和机构投资成员US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232US-GAAP：员工股票会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：员工股票会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：额外实收资本会员2021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：累积翻译调整成员2023-12-310001113232US-GAAP：累积固定福利计划调整成员2023-12-310001113232US-GAAP：累积翻译调整成员2022-12-310001113232US-GAAP：累积固定福利计划调整成员2022-12-3100011132322023-06-3000011132322024-02-2000011132322021-12-310001113232ACLS: 员工会员ACLS: 股票期权奖会员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 最大成员US-GAAP：员工股票会员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：员工股票会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 2012 年股权激励计划成员2012-05-122012-05-120001113232ACLS：为内部使用而制造的资产会员2023-01-012023-12-310001113232SRT: 最大成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：研究开发和其他税收抵免成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：循环信贷机制成员2023-12-310001113232ACLS: 售后市场会员SRT: 最低成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 售后市场会员SRT: 最大成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS：新系统收入会员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 售后市场会员2023-01-012023-12-3100011132322023-12-3100011132322022-12-310001113232SRT: 最低成员2023-12-310001113232ACLS: 十大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232US-GAAP：应收账款会员US-GAAP：信用集中度风险成员2023-01-012023-12-310001113232ACLS: 十大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232US-GAAP：应收账款会员US-GAAP：信用集中度风险成员2022-01-012022-12-310001113232ACLS: 十大客户会员美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2021-01-012021-12-310001113232美国公认会计准则：销售收入净成员US-GAAP：客户集中度风险成员2021-01-012021-12-3100011132322022-01-012022-12-3100011132322021-01-012021-12-310001113232US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2023-12-310001113232US-GAAP：公允价值输入二级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232US-GAAP：公允价值输入 1 级会员US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-310001113232US-GAAP：公允价值公允价值披露的估算记住US-GAAP：公允价值计量常任成员2022-12-3100011132322023-01-012023-12-31iso421:USDacls: 客户xbrli: purexbrli: 股票iso421:USDxbrli: 股票acls: 分段

美国

证券交易委员会

华盛顿特区 20549

表单 10-K/A

（第1号修正案）

（Mark One）
☒	根据1934年《证券交易法》第13或15（d）条提交的年度报告
在截至的财政年度 12 月 31 日, 2023
☐	根据1934年《证券交易法》第13条或第15（d）条提交的过渡报告

在从到的过渡期内

委员会档案编号000-30941

AXCELIS 科技股份有限公司

（注册人的确切姓名如其章程所示）

特拉华
（州或其他司法管辖区）公司或组织的）

34-1818596
（国税局雇主识别号）

樱桃山大道 108 号

贝弗利, 马萨诸塞01915

（主要行政办公室地址）（邮政编码）

(978) 787-4000

（注册人的电话号码，包括区号）

根据该法第12（b）条注册的证券：


每个班级的标题	交易符号	注册的每个交易所的名称
普通股，面值0.001美元	ACLS	纳斯达克全球精选市场

根据该法第12（g）条注册的证券：

没有

按照《证券法》第405条的定义，用复选标记表明注册人是否是经验丰富的知名发行人。是的 ⌧没有◻

根据该法第 13 条或第 15 (d) 条，用复选标记表明注册人是否无需提交报告。是的◻ 没有 ⌧

用勾号指明注册人 (1) 是否在过去 12 个月内（或在要求注册人提交此类报告的较短时间内）提交了 1934 年《证券交易法》第 13 条或第 15 (d) 条要求提交的所有报告，以及 (2) 在过去的 90 天内是否受到此类申报要求的约束。是的 ⌧没有◻

用勾号指明注册人在过去 12 个月内（或注册人必须提交此类文件的较短期限）是否以电子方式提交了根据 S-T 法规第 405 条要求提交的所有交互式数据文件。是的 ⌧没有◻

用复选标记表明注册人是大型加速申报人、加速申报人、非加速申报人、小型申报公司还是新兴成长型公司。参见《交易法》第12b-2条中 “大型加速申报人”、“加速申报公司”、“小型申报公司” 和 “新兴成长型公司” 的定义。

大型加速过滤器 ⌧

加速过滤器◻

非加速过滤器◻

规模较小的申报公司☐

新兴成长型公司☐

如果是新兴成长型公司，请用复选标记表明注册人是否选择不使用延长的过渡期来遵守根据《交易法》第13（a）条规定的任何新的或修订后的财务会计准则。 ◻

用复选标记表示注册人是否已就其管理层对编制或发布审计报告的注册会计师事务所根据《萨班斯-奥克斯利法案》（15 U.S.C. 7262（b））第404（b）条对财务报告进行内部控制的有效性提交了报告和证明。 ⌧

如果证券是根据该法第12（b）条注册的，则用复选标记注明申报中包含的注册人的财务报表是否反映了对先前发布的财务报表错误的更正。 

用勾号指明这些错误更正中是否有任何是需要对注册人的任何执行官在相关回收期内根据§240.10D-1 (b) 获得的激励性薪酬进行回收分析的重述。

用复选标记表明注册人是否为空壳公司（定义见该法第12b-2条）。是的☐没有⌧

截至2023年6月30日，注册人的非关联公司持有的有表决权股票的总市值：美元5,962,466,683

截至2024年2月20日，注册人普通股的已发行股票数量，面值0.001美元： 32,625,760

以引用方式纳入的文件：

定于2024年5月9日举行的Axcelis Technologies, Inc.年度股东大会的最终委托书的部分内容以引用方式纳入本10-K表格的第三部分。

解释性说明

本10-K表年度报告（“修正案”）的第1号修正案修订了我们先前于2024年2月23日向美国证券交易委员会提交的截至2023年12月31日财政年度的10-K表年度报告（“10-K表格”）。提交本修正案的目的是更正第8项中的参考错误，并更正我们的独立注册会计师事务所（i）关于财务报告内部控制的意见中提及的错误日期，见第10-K表第34页第9A项和（ii）关于截至2023年12月31日的年度财务报表审计的意见，这些意见载于10-K表第38至39页第16项之后的第8项披露要求。

该修正案包括我们的首席执行官兼首席财务官作为附录31.1、31.2、32.1和32.2的新认证，以及独立注册会计师事务所安永会计师事务所作为附录23.1的新同意。除非上文明确规定，否则本修正案不会、也无意修改、更新或重述10-K表格任何其他项目中的信息，也无意反映10-K表格提交后发生的任何事件。本修正案仅包括封面、本解释性说明、原始10-K表格中第8项的替换、原始10-K表格中第9A项的替换、原始10-K表格（对第8项的回应）中的第15项和相关材料的替换以及签名页、官员认证以及作为证物提交的同意书。

第 8 项。财务报表和补充数据。

对该项目的回复将作为本报告的单独章节在第 16 项之后提交。

第 9A 项控制和程序。

评估披露控制和程序。

我们的管理层在首席执行官兼首席财务官的参与下，评估了截至本10-K表年度报告（“评估日期”）所涉期末，我们的披露控制和程序（定义见经修订的1934年《证券交易法》（“交易法”）第13a-15（e）条）的有效性。根据这项评估，我们的首席执行官兼首席财务官得出结论，截至评估日，这些披露控制和程序是有效的。

财务报告的内部控制

管理层关于财务报告内部控制的年度报告

管理层负责建立和维持对财务报告的适当内部控制，该术语在《交易法》第13a-15（f）条中定义。由于其固有的局限性，对财务报告的内部控制可能无法防止或发现所有误报。控制系统，无论设计和运作多么良好，只能为财务报表的编制和列报提供合理的保证。对未来时期任何有效性评估的预测都可能面临这样的风险：由于条件的变化，控制措施可能变得不充分，或者对政策或程序的遵守程度可能下降。

管理层评估了截至2023年12月31日我们对财务报告的内部控制的有效性。在进行评估时，管理层使用了特雷德韦委员会赞助组织委员会（“COSO”）内部控制——2013年综合框架中规定的标准。

根据这一评估，管理层得出结论，截至2023年12月31日，根据这些标准，我们对财务报告的内部控制是有效的。

安永会计师事务所的独立注册会计师事务所作为我们合并财务报表的审计师，已发布了一份关于我们对财务报告内部控制评估的认证报告。

独立注册会计师事务所的报告

致Axcelis Technologies, Inc.的股东和董事会

关于财务报告内部控制的意见

根据特雷德韦委员会赞助组织委员会发布的内部控制——综合框架（2013年框架）（COSO标准）中规定的标准，我们对Axcelis Technologies, Inc.截至2023年12月31日的财务报告内部控制进行了审计。我们认为，根据COSO标准，Axcelis Technologies, Inc.（以下简称 “公司”）在所有重大方面对截至2023年12月31日的财务报告保持了有效的内部控制。

我们还根据上市公司会计监督委员会（美国）（PCAOB）的标准，审计了公司2023年合并财务报表，2024年2月23日的报告对此发表了无保留意见。

意见依据

公司管理层负责维持对财务报告的有效内部控制，并评估所附管理层财务报告内部控制的有效性，这些内部控制载于随附的管理层财务报告内部控制的有效性。我们的责任是根据我们的审计对公司对财务报告的内部控制发表意见。我们是一家在PCAOB注册的公共会计师事务所，根据美国联邦证券法以及美国证券交易委员会和PCAOB的适用规则和条例，我们对公司必须保持独立性。

我们根据PCAOB的标准进行了审计。这些准则要求我们规划和进行审计，以合理地确定是否在所有重要方面维持了对财务报告的有效内部控制。

我们的审计包括了解财务报告的内部控制，评估存在重大缺陷的风险，根据评估的风险测试和评估内部控制的设计和运作有效性，以及在这种情况下执行我们认为必要的其他程序。我们认为，我们的审计为我们的意见提供了合理的依据。

财务报告内部控制的定义和限制

公司对财务报告的内部控制旨在为财务报告的可靠性提供合理的保证，并根据公认的会计原则为外部目的编制财务报表提供合理的保证。公司对财务报告的内部控制包括：(1) 与保存记录有关的政策和程序，这些记录应以合理的详细程度准确、公允地反映公司资产的交易和处置；(2) 提供合理的保证，即在必要时记录交易以允许根据公认的会计原则编制财务报表，并且公司的收支只能根据管理层的授权进行公司董事；以及 (3) 就防止或及时发现可能对财务报表产生重大影响的未经授权收购、使用或处置公司资产提供合理的保证。

由于其固有的局限性，对财务报告的内部控制可能无法防止或发现错误陈述。此外，对未来时期任何有效性评估的预测都可能因条件变化而导致控制不足，或者对政策或程序的遵守程度可能恶化。

//安永会计师事务所

马萨诸塞州波斯顿

2024年2月23日

财务报告内部控制的变化

在第四季度对我们的内部控制进行评估时，我们对财务报告的内部控制（定义见《交易法》第13a-15（f）条）没有变化，这些变化对我们的财务报告内部控制产生了重大影响，或者合理地可能对我们的财务报告内部控制产生了重大影响。

第 15 项。展品和财务报表附表。

(a)	以下文件作为本报告的一部分提交：

财务报表：


独立注册会计师事务所的报告（PCAOB 编号： 42)		5
合并运营报表——截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度		7
综合收益表——截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度		8
合并资产负债表 — 2023 年 12 月 31 日和 2022 年 12 月 31 日		9
截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日止年度的合并股东权益表		10
合并现金流量表——截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度		11
合并财务报表附注		12

财务报表附表：

附表二——截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日止年度的估值和合格账户。

展品

作为本10-K表年度报告的一部分提交的证物列在签名页之前的附录索引中，该附录索引以引用方式纳入此处。

证券交易委员会适用条例中规定的所有其他附表不是相关指示所要求的，或者不适用，因此被省略了。

独立注册会计师事务所的报告

致Axcelis Technologies, Inc.的股东和董事会

对财务报表的意见

我们审计了随附的Axcelis Technologies, Inc.（以下简称 “公司”）截至2023年12月31日的合并资产负债表、截至2023年12月31日的三年中每年的相关合并经营报表、综合收益、股东权益和现金流以及指数第15（a）项中列出的相关附注和财务报表附表（统称为 “合并财务报表”）。我们认为，合并财务报表按照美国公认会计原则，在所有重大方面公允列报了公司截至2023年12月31日和2022年12月31日的财务状况，以及截至2023年12月31日的三年中每年的经营业绩和现金流量。

我们还根据上市公司会计监督委员会（美国）（PCAOB）的标准，根据特雷德韦委员会赞助组织委员会发布的《内部控制——综合框架》（2013年框架）中规定的标准，对公司截至2023年12月31日的财务报告内部控制进行了审计，并且我们在2024年2月23日的报告对此发表了无保留意见。

意见依据

这些财务报表由公司管理层负责。我们的责任是根据我们的审计对公司的财务报表发表意见。我们是一家在PCAOB注册的公共会计师事务所，根据美国联邦证券法以及美国证券交易委员会和PCAOB的适用规则和条例，我们必须在公司方面保持独立。

我们根据PCAOB的标准进行了审计。这些准则要求我们计划和进行审计，以便合理地确定财务报表是否存在因错误或欺诈造成的重大错报。我们的审计包括执行评估财务报表重大错报风险的程序，无论是错误还是欺诈所致，以及执行应对这些风险的程序。这些程序包括在测试的基础上审查有关财务报表中数额和披露的证据。我们的审计还包括评估管理层采用的会计原则和作出的重大估计，以及评估财务报表的总体列报情况。我们认为，我们的审计为我们的意见提供了合理的依据。

关键审计事项

下文传达的关键审计事项是本期对已告知或要求向审计委员会通报的财务报表的审计中产生的事项，并且：(1) 涉及对财务报表至关重要的账目或披露，(2) 涉及我们特别具有挑战性、主观或复杂的判断。关键审计事项的沟通不会以任何方式改变我们对合并财务报表的整体看法，我们也不会通过在下文中传达关键审计事项就关键审计事项或与之相关的账目或披露提供单独意见。

系统收入确认

此事的描述

正如合并财务报表附注2和附注3所讨论的那样，公司通过出售用于制造半导体芯片的离子注入和其他处理设备来创造收入（“系统收入”）。公司的系统收入合同有多种履约义务，包括系统本身和不与系统同时交付的义务。在公司2023年11亿美元的总收入中，系统收入占8.836亿美元。

审计管理层的收入确认具有挑战性，因为审计工作量更大，而且金额对合并财务报表和相关披露至关重要。在我们的风险评估过程中，我们发现了与收入相关的更高的固有风险

		这主要是由于账户的规模, 以及对财务报表读者收入的关注.
我们在审计中是如何解决这个问题的		我们了解了情况，评估了设计，并测试了对公司系统收入确认流程的控制措施的运营有效性，包括旨在降低控制措施被超越风险的控制措施。这包括测试对管理层审查手动日记账分录和与收入相关的账户对账的控制措施。为了测试系统收入确认，我们对确认的收入与公司总账进行了核对以测试完整性，并对被视为关键项目的重大交易的细节进行了实质性测试，并对剩余交易的代表性样本进行了实质性测试。例如，我们选择并阅读了安排样本，以评估承诺的产品和服务的完整性以及确认的相关收入。我们还直接与公司的某些客户确认了所选系统收入安排的条款。
		估计剩余库存
此事的描述		截至2023年12月31日，该公司的净库存总额为3.065亿美元。如合并财务报表附注2和附注6所述，公司记录了估计的剩余库存准备金。管理层根据对需求和市场状况的估计，根据其对未来材料使用情况的假设来确定准备金。由于用于估算需求和市场状况的因素具有很强的判断性，因此对公司的过剩库存准备进行审计很复杂。具体而言，管理层对预测的系统销售以及系统安装基础的规模和利用率的假设可能会对公司的估计材料使用量产生重大影响。管理层对这些因素的识别和衡量是前瞻性的，可能会受到未来经济和市场状况的影响，这可能会对过剩的库存储备产生重大影响。
我们在审计中是如何解决这个问题的		我们对公司剩余库存储备估算流程进行了理解，评估了设计，并测试了包括管理审查控制在内的内部控制的运营有效性。这包括管理层对超额库存准备金所依据的假设和数据的评估。例如，我们测试了对管理层审查其系统销售预测的控制措施，以及管理层对与已安装系统的市场规模和利用率相关的假设的审查的控制措施。我们还测试了管理层对估算模型中使用的数据的完整性和准确性的控制。除其他外，我们的实质性审计程序包括评估上述重要假设，测试管理层用于计算过剩库存价值的基础数据的准确性和完整性。例如，我们将现有库存数量与历史和预测的材料使用量进行了比较，并评估了针对特定产品考虑因素（例如技术变化或替代用途）对预测的调整。我们还评估了管理层估计值的历史准确性，并对重要假设进行了敏感度分析，以评估基本假设变化可能导致的超额库存估计值的变化。

/s/ 安永会计师事务所

自1999年以来，我们一直担任公司的审计师。

马萨诸塞州波斯顿

2024年2月23日

Axcelis 科技公司

合并运营报表

（以千计，每股金额除外）


	十二个月结束了
	十二月三十一日
	2023		2022		2021
收入：
产品	$	1,095,650	$	890,582	$	634,445
服务		34,954		29,416		27,983
总收入		1,130,604		919,998		662,428
收入成本：
产品		608,112		492,104		349,558
服务		31,191		26,104		26,425
总收入成本		639,303		518,208		375,983
毛利		491,301		401,790		286,445
运营费用：
研究和开发		96,907		78,356		65,431
销售和营销		62,805		53,599		47,548
一般和行政		65,794		57,474		46,141
运营费用总额		225,506		189,429		159,120
运营收入		265,795		212,361		127,325
其他收入（支出）：
利息收入		18,199		4,551		209
利息支出		(5,347)		(5,576)		(4,835)
其他，净额		(48)		(6,451)		(2,271)
其他收入总额（支出）		12,804		(7,476)		(6,897)
所得税前收入		278,599		204,885		120,428
所得税准备金		32,336		21,806		21,778
净收入	$	246,263	$	183,079	$	98,650
每股净收益：
基本	$	7.52	$	5.54	$	2.94
稀释	$	7.43	$	5.46	$	2.88
用于计算每股净收益的股票：
普通股的基本加权平均股		32,758		33,043		33,555
摊薄后的普通股加权平均股		33,165		33,542		34,268

见本合并财务报表附注

Axcelis 科技公司

合并综合收益表

（以千计）


	十二个月结束了
	十二月三十一日
	2023		2022		2021
净收入	$	246,263	$	183,079	$	98,650
其他综合收益（亏损）：
外币折算调整		38		(4,058)		(1,881)
扣除税款的精算净收益摊销和养老金计划的其他调整		84		325		211
其他综合收益（亏损）总额		122		(3,733)		(1,670)
综合收入	$	246,385	$	179,346	$	96,980

见本合并财务报表附注

Axcelis 科技公司

合并资产负债表

（以千计，每股金额除外）


	十二月三十一日		十二月三十一日
	2023		2022
资产
流动资产：
现金和现金等价物	$	167,297	$	185,595
短期投资		338,851		246,571
应收账款，净额		217,964		169,773
库存，净额		306,482		242,406
预付费用和其他流动资产		49,397		33,300
流动资产总额		1,079,991		877,645
财产、厂房和设备，净额		53,971		39,664
经营租赁资产		30,716		12,146
融资租赁资产，净额		16,632		17,942
长期限制性现金		6,654		752
递延所得税		53,428		31,701
其他资产		40,575		33,791
总资产	$	1,281,967	$	1,013,641
负债和股东权益
流动负债：
应付账款	$	54,400	$	62,346
应计补偿		31,445		35,540
质保		14,098		8,299
所得税		6,164		4,304
递延收入		164,677		123,471
融资租赁债务的当期部分		1,511		1,229
其他流动负债		12,834		12,943
流动负债总额		285,129		248,132
长期融资租赁债务		43,674		45,185
长期递延收入		46,208		31,306
其他长期负债		42,074		21,762
负债总额		417,085		346,385
承付款和或有开支（注16）
股东权益：
普通股，$0.001面值， 75,000授权股份； 32,685已发行的股票和杰出的2023 年 12 月 31 日； 32,775已发行的股票和杰出的截至 2022 年 12 月 31 日		33		33
额外的实收资本		547,189		550,299
留存收益		319,506		118,892
累计其他综合亏损		(1,846)		(1,968)
股东权益总额		864,882		667,256
负债和股东权益总额	$	1,281,967	$	1,013,641

见本合并财务报表附注

Axcelis 科技公司

股东权益合并报表

（以千计）


						累积的		累积的
				额外		赤字/		其他		总计
	普通股			付费		已保留		全面		股东
	股份	金额		资本		收益		收入（亏损）		公平
截至2020年12月31日的余额	33,633	$	34	$	570,102	$	(91,969)	$	3,435	$	481,602
净收入	—		—		—		98,650		—		98,650
外币折算调整	—		—		—		—		(1,881)		(1,881)
扣除税款后的养老金义务变动	—		—		—		—		211		211
行使股票期权	396		—		3,687		—		—		3,687
根据员工股票购买计划发行股票	26		—		1,179		—		—		1,179
发行限制性普通股	326		—		(6,564)		—		—		(6,564)
股票薪酬支出	—		—		12,067		—		—		12,067
回购普通股	(1,141)		(1)		(20,588)		(29,403)		—		(49,992)
2021 年 12 月 31 日的余额	33,240		33		559,883		(22,722)		1,765		538,959
净收入	—		—		—		183,079		—		183,079
外币折算调整	—		—		—		—		(4,058)		(4,058)
扣除税款后的养老金义务变动	—		—		—		—		325		325
行使股票期权	103		—		1,247		—		—		1,247
根据员工股票购买计划发行股票	29		—		1,662		—		—		1,662
发行限制性普通股	291		—		(9,907)		—		—		(9,907)
股票薪酬支出	—		—		13,444		—		—		13,444
回购普通股	(888)		—		(16,030)		(41,465)		—		(57,495)
截至2022年12月31日的余额	32,775		33		550,299		118,892		(1,968)		667,256
净收入	—		—		—		246,263		—		246,263
外币折算调整	—		—		—		—		38		38
扣除税款后的养老金义务变动	—		—		—		—		84		84
行使股票期权	3		—		25		—		—		25
根据员工股票购买计划发行股票	16		—		2,057		—		—		2,057
发行限制性普通股	271		—		(16,611)		—		—		(16,611)
股票薪酬支出	—		—		18,269		—		—		18,269
回购普通股	(380)		—		(6,850)		(45,649)		—		(52,499)
截至2023年12月31日的余额	32,685	$	33	$	547,189	$	319,506	$	(1,846)	$	864,882

见本合并财务报表附注

Axcelis 科技公司

合并现金流量表

（以千计）


	十二个月结束了
	十二月三十一日
	2023		2022		2021
来自经营活动的现金流
净收入	$	246,263	$	183,079	$	98,650
为使净收入与经营活动提供的净现金保持一致而进行的调整：
折旧和摊销		13,069		11,607		10,818
递延所得税		(20,018)		8,536		20,257
股票薪酬支出		18,269		13,444		12,067
可疑账款准备金		1,129		—		—
为多余和过时库存编列经费		5,211		4,565		3,755
增加有价证券的折扣和溢价		(12,077)		—		—
外币计价交易的货币损失		2,252		5,986		—
运营资产和负债的变化：
应收账款		(50,755)		(67,270)		(18,146)
库存		(69,957)		(58,433)		(39,023)
预付费用和其他流动资产		(16,046)		(6,533)		(3,955)
应付账款和其他流动负债		(8,103)		31,392		22,046
递延收入		56,183		86,366		45,385
所得税		3,786		3,493		253
其他资产和负债		(12,337)		(625)		(1,917)
经营活动提供的净现金		156,869		215,607		150,190

来自投资活动的现金流
不动产、厂房和设备以及资本化软件的支出		(20,656)		(10,683)		(8,718)
购买短期投资		(388,809)		(246,571)		—
短期投资的到期日		308,607		—		—
用于投资活动的净现金		(100,858)		(257,254)		(8,718)

来自融资活动的现金流
限制性股票补助的净结算		(16,611)		(9,907)		(6,564)
回购普通股		(52,499)		(57,495)		(49,992)
购买员工股票购买计划的收益		2,057		1,662		1,179
融资租赁债务的本金付款		(1,240)		(987)		(763)
行使股票期权的收益		25		1,247		3,687
用于融资活动的净现金		(68,268)		(65,480)		(52,453)

汇率变动对现金和现金等价物的影响		(139)		(2,206)		2,429
现金、现金等价物和限制性现金净增加（减少）		(12,396)		(109,333)		91,448

期初现金、现金等价物和限制性现金		186,347		295,680		204,232
期末现金、现金等价物和限制性现金	$	173,951	$	186,347	$	295,680

现金流信息的补充披露
已支付的现金用于：
所得税	$	54,217	$	10,763	$	1,500
利息	$	4,874	$	4,992	$	5,086

见本合并财务报表附注

Axcelis 科技公司

合并财务报表附注

注意事项 1.业务性质

Axcelis Technologies, Inc.（“Axcelis” 或 “公司”）于1995年在特拉华州成立，是美国、欧洲和亚洲用于制造半导体芯片的离子注入和其他处理设备的全球生产商。除设备外，我们还提供广泛的售后生命周期产品和服务，包括备件、设备升级、维护服务和客户培训。

注意事项 2.重要会计政策摘要

所附的合并财务报表反映了本附注和脚注其他部分所述的某些重要会计政策的适用情况。

(a) 列报基础

随附的合并财务报表包括公司及其全资控股子公司的合并账目。所有公司间余额和交易均已在合并中清除。

已对2023年12月31日之后发生的事件进行了评估，以确定是否可能在合并财务报表中予以确认或披露。

(b) 估计数的使用

按照美利坚合众国普遍接受的会计原则编制这些合并财务报表要求管理层作出估计和假设，这些估计和假设会影响财务报表日报告的资产负债数额和或有资产负债的披露以及报告期内报告的收入和支出金额。我们会持续评估我们的估计和判断，包括与收入确认、应收账款和存货的可变现价值、担保准备金、股票薪酬工具估值以及与税收资产和负债相关的储备金相关的估计和判断。实际金额可能与这些估计数不同。估计值的变化记录在已知的时期内。

美国境外几乎所有业务的本位货币都是当地货币。这些业务的财务报表按年终资产和负债汇率以及年内收入和支出的平均汇率折算成美元。由此产生的折算调整作为累计其他综合收益（亏损）的一部分记入股东权益。外币交易损益包含在合并运营报表中的其他收入（支出）中。

在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中，我们的外汇损失为美元0.5百万，美元6.6百万，以及 $2.5分别是百万。

(d) 现金、现金等价物和短期投资

现金和现金等价物包括手头现金和原始到期日为九十天或更短的高流动性投资。现金等价物主要包括货币市场基金、美国政府和机构证券和存款账户。现金等价物按公允市场价值记入资产负债表。短期投资是 h流动性高的投资，原始到期日超过90天但自购买之日起不到一年，并按摊销成本记入资产负债表。我们的短期投资主要由美国政府和机构证券组成，根据我们持有证券直至到期的积极意图和能力，我们的短期投资被归类为持有至到期的证券。与这些证券相关的收入在合并运营报表中记录为利息收入.

(e) 库存

库存以较低的成本或可变现净值进行结算，使用先进先出（“FIFO”）方法确定。我们会定期审查我们的库存，并在必要时为估计的过时或损坏的货物做好准备，以确保价值接近成本或可变现净价值。此类降价的金额等于库存成本与根据对未来需求、销售价格和市场状况的假设估算的市场价值之间的差额。

我们记录了预计的多余库存准备金。该准备金是根据管理层对材料使用量的假设确定的，该假设基于对需求、市场状况以及我们装机基础的规模和利用率的估计。如果实际市场条件变得不如管理层预期的那么有利，则可能需要进一步减记库存。

(f) 不动产、厂房和设备及租赁资产

财产、厂房和设备按成本减去累计折旧和摊销后列报。

2015 年 1 月 30 日，我们出售了公司总部设施。作为此次销售的一部分，我们还签订了 22 岁租赁协议。我们将售后回租交易作为财务报告目的的融资安排入账。我们在不动产、厂房和设备财务账簿上保留了该财产的历史成本和相关的累计折旧，并将继续在财产剩余使用寿命或初始租赁期内对该财产进行折旧，以供财务报告之用 22 年.

使用直线法记录相关资产的估计使用寿命的折旧和摊销，如下所示：


资产分类	预计使用寿命
土地、建筑物和设备（租赁中）		资产的租赁期限或预计使用寿命中较低者
机械和设备		3到 10 年了

维修和保养费用按发生时列为支出。支出大于 $2.5千元用于续订和改善的资金被资本化，并在其使用寿命内折旧。

(g) 长期资产减值

当事件和情况表明长期资产可能无法收回时，我们会记录这些资产的减值损失。可收回性是通过将资产的账面金额与其预期的未来未贴现净现金流进行比较来评估的。如果此类资产被视为减值，则根据账面价值超过其公允价值的金额来计量减值。

在截至2023年12月31日期间，我们没有任何减值指标。我们做到了不在截至2023年12月31日、2022年或2021年12月31日的年度中记录减值费用。

实际表现可能与我们目前的预测存在重大差异，这可能会影响对未贴现现金流的估计，并可能导致未来长期资产的账面金额减值。这可能是由于针对经济和竞争条件而做出的战略决策、经济环境对我们客户群的影响或我们与重要客户关系的重大不利变化造成的。

(h) 风险集中和资产负债表外风险

可能使我们面临信用风险集中的金融工具主要是现金等价物、短期投资和应收账款。我们的现金等价物和短期投资主要维持在投资级货币市场基金、美国政府和机构证券和存款账户中。

我们没有重大的表外风险，例如货币兑换合约、期权合约或其他对冲安排。

我们因利率变动而面临的市场风险主要与现金等价物和短期投资有关。我们投资活动的主要目标是在不显著增加风险的情况下保持本金。这是通过投资有价投资级证券来实现的。我们不使用衍生金融工具来管理我们的投资组合，预计经营业绩或现金流不会受到市场利率的任何变动的重大影响。

我们对客户的财务状况进行持续的信用评估，通常不需要抵押品来保护应收账款。对于特定的海外销售，我们要求客户在产品发货前获得信用证。我们根据对应收账款可收性的评估，保留可疑账款备抵金。我们每季度审查一次可疑账户备抵额。我们没有任何与客户相关的资产负债表外信用风险。

我们的客户包括遍布世界各地的半导体芯片制造商和我们的净销售额十最大的客户占比 51.7%, 59.4% 和 69.5分别占2023年、2022年和2021年收入的百分比。

在截至 2023 年 12 月 31 日的年度中，我们有不代表的客户 10占总收入的百分比或更高。在截至2022年12月31日的年度中，我们有二代表的客户 13.1% 和 11.5分别占总收入的百分比。在截至2021年12月31日的年度中，我们有二代表的客户 17.8% 和 15.4分别占总收入的百分比。

截至 2023 年 12 月 31 日，我们有一的客户账户 12.2合并应收账款的百分比。截至 2022 年 12 月 31 日，我们有二客户账户 19.4% 和 11.5分别占合并应收账款的百分比。

我们产品中包含的某些组件和子组件是从唯一来源或有限的供应商处获得的。由于经济状况或其他因素，我们的供应来源中断可能会影响我们向客户交付产品的能力。

(i) 收入确认

我们根据会计准则编纂（“ASC”）主题606确认收入， 与客户签订合同的收入 或（“ASC 606”）。根据ASC 606，当客户获得对承诺商品或服务的控制权时，收入即予以确认，其金额反映了我们为换取这些商品或服务而预期收到的对价。我们根据客户安排中规定的对价来衡量收入，当客户安排中的履约义务得到满足时，就会确认收入。履约义务是合同中向客户转让不同产品或服务的承诺。合约的交易价格根据每项履约义务的相对独立销售价格分配给每项不同的履约义务，并在客户获得履约义务的好处时确认为收入。为了核算和衡量收入，我们采用以下五个步骤：

1)	确定与客户签订的合同

与客户的合同存在于以下情况：（i）我们与客户签订了可强制执行的合同，该合同定义了双方对待转让的商品或服务的权利，并确定了相关的付款条款；（ii）合同具有商业实质；（iii）我们根据客户支付承诺对价的意图和能力，确定可能收取转让商品和服务的几乎所有对价。

2)	确定合同中的履约义务

合同中承诺的履约义务是根据将要转让给客户的商品和服务确定的，这些商品和服务都能够区分开来，客户可以单独或与其他可用资源一起从商品或服务中受益，并且在合同的背景下是不同的，因此商品或服务的转让与合同中的其他承诺是分开的。如果合同包含多项承诺的商品和服务，我们必须做出判断来确定承诺的商品和服务是否如此

在合同的背景下能够与众不同。如果不符合这些标准，则将承诺的商品和服务记作合并履约义务。

系统销售包括多项履约义务，包括系统本身和不与系统同时交付的义务。这些未履行的义务可能包括安装服务、延长保修期和支持及备件的组合，所有这些服务通常由单一销售价格支付。

售后市场业务包括产品和服务类型安排。这些合同中的履约义务包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。

购买新系统的客户将获得以下方面的保证型保修一年在接受该工具后。对于售后交易，我们为客户提供担保型保修 90 天。客户可以选择购买具有增强支持的延长保修条款，其范围类似于服务类型保修，范围包括一到三年。根据ASC 606，保证型担保不被视为履约义务，而服务型担保则被视为履约义务。

确定交易价格

交易价格是根据我们有权获得的对价来确定的，以换取向客户转让商品和服务。在交易价格包含可变对价的范围内，我们会根据可变对价的性质使用预期价值法或最可能的金额法来估算交易价格中应包含的可变对价金额。如果根据我们的判断，合约下的累计收入未来可能不会发生重大逆转，则交易价格中将包含可变对价。任何估计值，包括限制对可变考虑因素的影响，都将在每个报告期内评估是否有任何变化。在应用本指南时，公司还必须考虑是否存在任何重要的融资组成部分。

所有交易的交易价格基于个人客户的采购订单中反映的价格。尚未将可变对价确定为我们任何交易交易价格的重要组成部分。

对于那些将在一年或更短时间内履行所有履约义务的交易，我们将采用ASC 606-10-32-18中概述的实际权宜之计。如果我们在合同开始时预计，从我们向客户转让承诺的商品或服务到客户支付该商品或服务的期限为一年或更短，那么这种实际的权宜之计使我们不必根据重要融资部分的影响调整承诺的对价。对于预计将在一年后完成的交易，我们评估不存在重要的融资部分，因为承诺的对价与商品或服务的现金销售价格之间的任何差异都是出于提供融资以外的原因。

4)	将交易价格分配给合同中的履约义务

如果合同包含单一履约义务，则整个交易价格将分配给单一履约义务。包含多项履约义务的合同要求在相对独立的销售价格基础上为每项履约义务分配交易价格，除非交易价格是可变的，并且符合完全分配给履约义务或构成单一履约义务一部分的不同服务的标准。

必要时，我们会根据市场和公司的具体因素，包括类似产品的销售价格和利润率、生产成本和预期利润率，确定每项债务的独立销售价格（“SSP”）。

对于那些包含多项履约义务的合同（主要是系统销售，以及一些需要时间和材料投入的售后合同），我们必须确定SSP。我们使用成本加利润率的方法来确定任何与材料相关的绩效义务（例如升级、备件、系统）的 SSP。为了确定与劳动相关的绩效义务（例如安装中的人工部分）的 SSP，我们使用

根据这些服务的独立销售价格，直接可观察到的输入。

5)	在我们履行履约义务时确认收入

我们会在一段时间内或在某个时间点履行履约义务。如果以下情况之一：1）客户同时获得和消费实体绩效所带来的收益；2）该实体的业绩创造或增强了客户在资产创建或增强时控制的资产；或者 3）该实体的业绩没有创造出可以替代该实体的资产，并且该实体拥有因迄今为止完成的业绩而获得报酬的可强制执行权利，则收入将在一段时间内予以确认。如果该实体在一段时间内未能履行履约义务，则通过将承诺的商品或服务的控制权移交给客户来在某个时间点履行相关的履约义务。控制的例子包括使用资产生产商品或服务，提高其他资产的价值或结算负债，以及持有或出售资产。随着时间的推移进行确认，ASC 606要求我们为履约义务选择一种单一的收入确认方法，以忠实地描述我们在转移商品和服务控制权方面的表现。该指南允许各实体在两种方法之间进行选择，以衡量在完全履行履约义务方面取得的进展：

产出方法-根据直接衡量迄今转让给客户的与合同承诺的剩余商品或服务相关的价值（例如，对迄今为止完成的绩效调查、对取得的成果、达到的里程碑、经过的时间以及生产的单位或交付的单位的评估）来确认收入；以及

输入法-根据实体为履行绩效义务所做的努力或投入（例如消耗的资源、花费的工时、发生的成本或经过的时间）相对于履行该绩效义务的预期投入总额来确认收入。

我们有权向客户收取与该实体迄今为止完成的业绩（即某些售后合同）对客户的价值直接相对应的对价，因此，我们选择了一种切实可行的权宜之计，以该实体有权为此类服务开具发票的金额确认收入。

与产品相关的收入（无论是系统还是售后业务）都是在发货或交付的某个时间点确认的，具体取决于运输条款。

对于安装服务，在工具安装完成后的某个时间点确认收入。安装服务的性质是，客户不能同时获得和使用实体绩效所带来的好处，安装服务的绩效也不会创造或增强客户控制的资产。安装服务不会创建可供实体替代用途的资产，而且该实体没有因迄今为止完成的业绩而获得报酬的可强制执行权利。

合同负债在合并资产负债表上反映为递延收入。合同负债涉及在合同规定的履约义务完成之前开具发票或收到的付款。合同负债在履行义务时被确认为收入。

任何产品的服务类型担保都会随着时间的推移得到认可，因为这些担保代表了在保修期内随时为产品提供服务的义务。在履行这些履约义务方面取得的进展是使用所经过时间的输入法来衡量的。

维护和服务合同会随着时间的推移得到承认。在履行这些履约义务方面取得的进展是使用一种输入法来衡量的，如果是固定期限合同，则是所花费的工时（对于基于项目的合同）。

(j) 确认与可收回的客户合同成本相关的资产

如果我们希望收回与客户签订合同所产生的增量成本，我们会确认与这些成本相关的资产。只有当此类成本与我们能够明确确定的实体签订的合同直接相关时，我们才会从履行合同所产生的成本中确认资产，所产生的成本将产生或增加资源

用于履行未来的履约义务，预计将收回费用。与获得或履行合同的成本相关的任何已确认资产都将系统地摊销，这与向客户转让该资产所涉商品或服务的情况一致。

在几乎所有的商业交易中，我们都会以销售佣金的形式为与客户签订合同而产生增量成本。我们维持一项佣金计划，对员工的系统销售、售后市场活动和其他个人目标进行奖励。根据ASC 606，资产在系统基础上摊销，这与向客户转让与该资产相关的商品或服务一致。但是，如果该实体本应确认的资产的摊还期为一年或更短，则ASC 606提供了一个实用的权宜之计，允许在发生的佣金支出时确认佣金支出。根据我们佣金协议的性质，所有佣金均根据摊还期为一年或更短的预期支出记作支出。

(k) 运费和手续费

运费和手续费包含在收入成本中。

(l) 股票薪酬

我们通常根据这些股票付款的授予日公允价值，确认向员工和董事支付的所有股票补助的薪酬支出，包括股票期权和限制性股票单位的授予。对于股票期权奖励，我们使用Black-Scholes期权定价模型，该模型根据预期没收进行了调整。在授予基于市场的归属考虑的奖励（例如我们的普通股价格或基于绩效的奖励）的有限情况下，可以使用其他估值模型。股票薪酬支出在必要的服务期内按比例确认。对于根据时间、市场或业绩条件组合进行归属的每项股票期权或限制性股票单位授予，如果满足任一条件将进行归属，则相关补偿成本将在明确服务期或衍生服务期的较短时间内予以确认。

有关股票薪酬的更多信息，请参阅附注13。

(m) 所得税

我们使用资产负债法记录所得税。递延所得税资产和负债是根据财务报表现有资产和负债账面金额与其各自所得税基础以及营业亏损和税收抵免结转之间的差异而确认的未来税收后果。

我们的合并财务报表包含某些递延所得税资产，这些资产主要是由于营业亏损以及财务和税基会计之间的其他临时差异而产生的。根据对客观可核实证据的评估，如果递延所得税资产变现的可能性降低，我们将设立估值补贴。在确定我们的所得税、递延所得税资产和负债准备金以及针对这些递延所得税净资产记录的任何估值补贴时，需要管理层做出重大判断。我们会评估所有可用证据的权重，以确定递延所得税净资产的部分或全部可能无法变现。

所得税包括针对不确定的税收状况的最大数额的税收优惠，根据税收状况的技术优点进行审计，这种优惠很可能得不到维持。与税务机关的和解、特定税收状况的时效到期或获取有关特定税收状况的新信息可能会导致有效税率的变化。在合并运营报表中，我们将与未确认的税收优惠相关的应计利息确认为利息支出和罚款，计入运营费用。

有关所得税的更多信息，请参阅附注18。

(n) 每股净收益的计算

每股基本收益的计算方法是将普通股股东的可用收入（分子）除以该期间已发行普通股的加权平均数（分母）。摊薄后每股收益的计算与基本每股收益类似，不同之处是分母有所增加，以包括使用库存股法计算的在可能摊薄的普通股发行后本应流通的额外普通股数量。

每股净收益的组成部分如下：



	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计，每股数据除外）
普通股股东可获得的净收益	$	246,263	$	183,079	$	98,650
用于计算每股基本收益的已发行普通股的加权平均股数		32,758		33,043		33,555
增量选项和 RSU		407		499		713
用于计算摊薄后每股净收益的普通股的加权平均份额		33,165		33,542		34,268
每股净收益
基本	$	7.52	$	5.54	$	2.94
稀释	$	7.43	$	5.46	$	2.88

摊薄后的加权平均已发行普通股不包括待购买的限制性股票单位 6,025, 4,929和 2,554分别是截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的普通等价股，因为它们的影响本来是反稀释的。

(o) 累计其他综合亏损

下表按组成部分列出了截至2023年12月31日止年度扣除税款的累计其他综合亏损的变化：


	国外		固定福利
	货币		养老金计划		总计

	（以千计）
截至2022年12月31日的余额	$	(1,994)	$	26	$	(1,968)
其他综合收入和养老金重新分类		38		84		122
截至2023年12月31日的余额	$	(1,956)	$	110	$	(1,846)

(p) 最近的会计指导

2023年11月，财务会计准则委员会（“FASB”）发布了《2023-07会计准则更新》， 细分市场报告（主题 280）：对可报告的细分市场披露的改进（“亚利桑那州立大学 2023-07”）。亚利桑那州立大学2023-07旨在加强所有需要根据ASC主题280报告分部信息的公共实体对重大分部支出的披露， 分部报告(“ASC 280”)。ASC 280要求公共实体报告每个应报告的细分市场利润或亏损的衡量标准，其首席运营决策者（“CODM”）使用该指标来评估细分市场的业绩和做出资源分配决策。亚利桑那州立大学2023-07旨在通过要求所有公共实体每年和中期披露增量分部信息来改善财务报告，以使投资者能够进行更有用的财务分析。亚利桑那州立大学2023-07对2023年12月15日之后开始的财政年度以及2024年12月15日之后开始的财政年度内的过渡期有效。允许提前收养。公共实体应将ASU 2023-07追溯应用于合并财务报表中列报的所有先前时期。该公司目前正在评估其影响 亚利桑那州 2023-07关于其未来的合并财务报表和相关披露。

2023 年 12 月，财务会计准则委员会发布了《2023-09 年会计准则更新》， 所得税（主题 740）：所得税披露的改进 （“亚利桑那州立大学 2023-09”）. 亚利桑那州立大学2023-09旨在提高所得税披露的透明度和决策实用性。亚利桑那州立大学 2023-09 主要通过更改税率对账和已缴所得税信息来满足投资者对增强所得税信息的请求。允许提前收养。公共实体应将亚利桑那州立大学2023-09年度预期地适用于自2024年12月15日之后开始的所有年期。该公司目前正在评估亚利桑那州立大学2023-09年度对其未来合并财务报表和相关披露的影响.

注意事项 3.收入

我们设计、制造和维修用于制造半导体芯片的离子注入和其他处理设备，并将我们的产品销售给全球领先的半导体芯片制造商。我们提供完整的高能量、高电流和中等电流注入器系列，可满足所有应用要求。此外，我们还提供广泛的售后生命周期产品和服务，包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。我们的收入确认政策载于附注2（重要会计政策摘要）第（i）节。

(a)

管理层使用的替代运营收入类别

为了反映我们的业务运营组织，管理层将收入分为两类：销售新系统的收入和向拥有系统的客户出售二手系统、零件和劳动力所产生的收入，我们称之为 “CS&I” 或 “售后市场”。

以下是管理层在本报告所涉期间按类别分列的收入：


	年底已结束
	十二月三十一日
	2023		2022		2021

	（以千计）
系统	$	883,604	$	692,061	$	454,598
售后市场		247,000		227,937		207,830
总收入	$	1,130,604	$	919,998	$	662,428

(b)

影响我们收入的经济因素：收入的地域划分

全球经济状况直接影响我们的收入。我们在很大程度上依赖向美国以外的客户销售我们的产品和服务。不利的经济状况、政治不稳定、潜在的不利税收后果、监管变化和汇率波动构成了我们的客户减少、推迟或取消产品和服务支出的风险，这将影响我们的收入。

按地域市场划分的收入是根据我们产品的运送地点和提供服务的地点来确定的。我们主要地域市场的收入如下：


	年底已结束
	十二月三十一日
	2023		2022		2021

	（以千计）
北美	$	174,810	$	143,701	$	48,715
亚太地区		811,308		673,752		516,105
欧洲		144,486		102,545		97,608
总收入	$	1,130,604	$	919,998	$	662,428

(c)

确认合同负债的递延收入

合同负债如下：


	年底已结束
	十二月三十一日
	2023		2022		2021

	（以千计）
期初余额	$	154,777	$	68,436	$	23,058
收入递延		185,688		146,674		66,349
确认递延收入		(129,580)		(60,333)		(20,971)
余额，期末	$	210,885	$	154,777	$	68,436

合同负债在合并资产负债表上反映为递延收入。合同负债涉及在合同规定的履约义务完成之前收到的款项或开具发票的金额。合同负债在履行义务时被确认为收入。

截至2023年12月31日，我们的递延收入为美元210.9 百万。这代表与客户签订的合同在交易价格中分配用于履行义务但仍未履行或部分未履行的部分。的短期递延收入 $164.7截至2023年12月31日，百万美元代表预计将在未来12个月内履行的履约义务。该金额主要与系统交付之前的预付款以及系统销售的安装和非标准保修履行义务有关。长期递延收入为美元46.2截至2023年12月31日，百万美元涉及在系统交付之前支付的预付款，以及我们预计将在未来12个月内完成的延长保修期履约义务 24 个月.

我们的大多数系统交易的付款条件是 90% 应在工具发货时支付，以及 10% 在安装时到期。售后交易的付款条件是，应在以下时间内付款 30要么 60 天提供的服务或零件的交付。

注意事项 4.现金、现金等价物和限制性现金


	十二月三十一日		十二月三十一日
	2023			2022

	（以千计）
现金和现金等价物	$	167,297	$	185,595
长期限制性现金		6,654		752
现金、现金等价物和限制性现金总额	$	173,951	$	186,347

截至 2023 年 12 月 31 日，我们有 $6.7百万美元的限制性现金，与美元有关5.9与我们在马萨诸塞州贝弗利的总部租赁有关的百万现金抵押品，一美元0.7百万份与工伤补偿保险有关的信用证和一美元0.1与海关活动有关的百万笔押金。

注意事项 5.应收账款和信贷损失备抵金

所有贸易应收账款均按摊销成本在合并资产负债表上报告，并扣除信贷损失备抵后。

Axcelis保留了信贷损失备抵金，这是在考虑当前市场状况的情况下对其应收账款剩余合同期内的预期损失的估计，并在适当时对可支持预测的估计。该估计是公司在估算应收账款投资组合信贷损失时对可收账性、历史损失经历和未来预期进行持续评估和评估的结果。Axcelis使用历史损失经历率并将其应用于相关的老化分析，同时还会酌情考虑客户和/或经济风险。确定适当数额的补贴需要管理层对信贷损失的时间、频率和严重程度做出判断，这可能会对信贷损失准备金产生重大影响，进而影响净收益。

该备抵金考虑了许多定量和定性因素，包括应收账款类型、历史损失经历、拖欠趋势、收款经验、当前经济状况、对可支持预测的估计（如果适用）以及信用风险特征。

Axcelis根据可能影响客户支付能力的各种财务和定性因素的组合，评估客户在提供信贷时的信用风险。这些因素可能包括客户的财务状况、过去的付款经验、征信机构的信用评级，以及标的抵押品的价值。

管理层每季度对应收账款进行详细审查，以评估准备金是否充足，并确定是否出现任何减值。确定无法收回的款项直接从津贴中扣除，而从先前注销的账户中追回的款项则增加了津贴。信贷损失备抵额的变动是通过调整信贷损失准备金来维持的，信贷损失准备金记入本期收益。

下表分别显示了截至2023年12月31日和2022年12月31日的十二个月中与贸易应收账款相关的信贷损失准备金的变化：


	年底已结束
	十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
期初余额	$	—	$	—
信贷损失准备金		1,117		—
扣款		(657)		—
回收率		—		—
期末余额	$	460	$	—

应收账款的组成部分如下：


	十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
贸易应收账款	$	218,424	$	169,773
可疑账款备抵金		(460)		—
贸易应收账款，净额	$	217,964	$	169,773

注意事项 6.库存，净额

库存的组成部分如下：


	十二月三十一日		十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
原材料	$	231,200	$	187,313
工作正在进行中		45,373		35,069
成品（已完成的系统）		29,909		20,024
库存，净额	$	306,482	$	242,406

存货储备在记录时旨在将库存的账面价值减少到其可变现净值。当存在表明库存可能超过预期需求或已过时的条件时，我们会根据对我们产品的未来需求或市场状况的假设来建立库存储备。我们会根据一系列因素定期评估实现库存价值的能力，这些因素包括：预测的销售额以及我们的装机基础的规模和利用率，预计的产品寿命终止日期、估计的当前和未来市场价值以及新产品的推出。还探讨了购买和使用替代方案，以减少库存风险。2023 年，我们录得下降了 $1.5百万的库存储备。截至2023年12月31日和2022年12月31日，列报的库存减去了美元的库存储备5.2百万和美元6.7分别是百万。

在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中，我们记录的费用占销售成本的费用为美元5.2百万，美元4.6百万和美元3.8分别为百万美元，用于根据成本或可变现净值的较低值调整库存。

截至 2023 年 12 月 31 日和 2022 年 12 月 31 日，我们在客户所在地的托运库存为 $6.5百万和美元6.4分别是百万。

注意事项 7.财产、厂房和设备，净额

财产、厂房和设备的组成部分如下：


	十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
土地和建筑物	$	21,802	$	18,001
机械和设备		41,547		34,728
施工中		17,055		10,189
总成本		80,404		62,918
累计折旧		(26,433)		(23,254)
财产、厂房和设备，净额	$	53,971	$	39,664

折旧费用为 $6.2百万，美元5.1百万和美元4.2截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度分别为百万美元。

注释 8.为内部使用而制造的资产，净额

为内部使用而制造的资产，包括在其他资产中，使用直线法进行折旧 10 年估计的使用寿命。它们的组成部分如下：


	十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
内部使用资产	$	76,273	$	61,603
施工中		236		2,629
总成本		76,509		64,232
累计折旧		(39,588)		(33,992)
为内部使用而制造的资产，净额	$	36,921	$	30,240

这些产品用于研发、培训和客户演示目的。

折旧费用为 $5.6百万，美元5.2百万和美元5.3截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度分别为百万美元。

注释 9.租约

我们有制造业、办公空间、仓库空间、计算机和办公设备以及业务运营中使用的车辆的运营租约。我们的融资租赁与2015年马萨诸塞州贝弗利公司总部的售后回租有关。我们会审查所有协议，以确定协议是否包含租赁部分。如果协议规定使用特定的物理空间或特定的物理物品，则该协议包含租赁部分。

我们确认会计准则编纂——租赁（主题 842）下的经营租赁义务。主题842中的指导方针要求使用协议中规定的明示或隐含的贴现率在贴现的基础上确认租赁资产和相关负债。我们确认相应的使用权资产，该资产最初根据相关负债的净现值确定，并根据递延成本和可能的减值（如果有）进行调整。对于那些未指明适用贴现率的租赁协议，我们使用增量借款利率。使用权资产的价值最初是根据相关资产的净现值确定的

负债，并根据递延成本和可能的减值（如果有）进行调整。我们已经做出了以下政策选择：（i）初始期限为12个月或更短的经营租赁不记录在合并资产负债表中；（ii）我们在租赁期限内按直线方式确认运营租赁的租赁费用；（iii）我们将作为固定付款的租赁部分和非租赁部分列为一个组成部分。我们的一些经营租约包括一项或多份续订选项，续订条款可以延长相应的租赁期限 1到 3 年。租约续订选项的行使由我们全权决定。对于合理确定会发生的租赁延期，我们在计算租赁义务和相关使用权资产的净现值时已将续约期限包括在内。某些租赁还包括购买租赁物业的选项。某些资产的折旧寿命和租赁权益改善受预期租赁期限的限制，除非可以合理确定可以行使所有权转让或购买期权。我们的租赁协议不包含任何实质性剩余价值担保或重大限制性契约。我们的合并资产负债表中记录的运营和融资租赁使用权资产及相关租赁债务的金额如下：


		十二月三十一日		十二月三十一日
租赁	分类	2023		2022

资产		（以千计）
经营租赁	经营租赁资产	$	30,716	$	12,146
融资租赁	融资租赁资产*		16,632		17,942
租赁资产总额		$	47,348	$	30,088
负债
当前
正在运营	其他流动负债	$	4,978	$	5,367
财务	融资租赁债务的当期部分		1,511		1,229
非当前
正在运营	其他长期负债		25,724		6,931
金融	融资租赁债务		43,674		45,185
租赁负债总额		$	75,887	$	58,712

*融资租赁资产在扣除累计折旧美元后入账46.4百万美元，包括美元0.6截至2023年12月31日，已有数百万美元的预付融资成本。融资租赁资产在扣除累计折旧美元后入账45.9百万美元，包括美元0.6截至2022年12月31日，数百万美元的预付融资成本。

我们所有的办公地点都支持销售和服务功能。我们还在韩国设有制造工厂。租赁费用、与融资租赁资产相关的折旧费用以及在截至12月的十二个月合并运营报表中确认的与融资租赁义务相关的利息支出

2023 年 31 月 31 日、2022 年和 2021 年情况如下：


		年底已结束
		十二月三十一日
租赁成本	分类	2023		2022		2021

运营租赁成本		（以千计）
产品/服务*	收入成本	$	7,297	$	5,427	$	2,978
研究和开发	运营费用		587		322		430
销售和营销*	运营费用		1,674		1,526		1,605
一般和行政*	运营费用		1,111		1,065		996
运营租赁总成本		$	10,669	$	8,340	$	6,009
融资租赁成本
租赁资产的折旧	收入成本、研究与开发、销售和市场营销以及一般和管理成本	$	1,310	$	1,296	$	1,306
租赁负债的利息	利息支出		4,874		4,992		5,086
融资租赁成本总额		$	6,184	$	6,288	$	6,392

总租赁成本		$	16,853	$	14,628	$	12,401

* 产品/服务、销售和市场营销以及一般和管理费用还包括短期租赁和大约 $ 的可变租赁成本2.1百万，美元1.8百万和美元1.9截至2023年12月31日和2021年12月31日的年度分别为百万美元。

我们的公司总部（如下所示）在融资租赁项下所示，其原始租赁期限为 22 年。所有其他地点均被视为经营租赁，租赁条款范围包括 1到 16 年了。下表反映了我们当前租赁义务的最低现金流出，以及我们在计算租赁义务和使用权资产时使用的加权平均剩余租赁期限和加权平均折扣率：


	财务		正在运营		总计
租赁负债的到期日	租赁		租赁		租赁

	（以千计）
2024	$	6,252	$	6,529	$	12,781
2025		5,930		4,970		10,900
2026		6,008		3,613		9,621
2027		6,128		2,530		8,658
2028		6,251		1,926		8,177
此后		55,336		23,205		78,541
租赁付款总额	$	85,905	$	42,773	$	128,678
减去利息部分*		(40,720)		(12,071)		(52,791)
融资租赁和经营租赁债务	$	45,185	$	30,702	$	75,887

* 融资租赁利息使用隐含利率计算；经营租赁利息使用估计的公司借款利率计算。

上表不包括续订无法合理确定已行使的租赁条款的期权，也不包括截至2023年12月31日已签署但尚未开始的租约。


	十二月三十一日
租赁期限和折扣率	2023
加权平均剩余租赁期限（年）：
经营租赁		11.5
融资租赁		13.1
加权平均折扣率：
经营租赁		5.5%
融资租赁		10.5%

我们的经营租赁现金流出包括租金支出和与这些租赁相关的其他费用。这些现金流包含在我们现金流量表的运营部分中。我们的融资租赁现金流包括利息和本金支付。下表按租赁类型和现金流量表的相关部分显示了我们的现金流出量，以及资产负债表上与经营租赁使用权资产相关的非现金金额：



	截至12月31日的年度
为计量租赁负债所含金额支付的现金	2023		2022		2021

	（以千计）
经营租赁产生的运营现金流出	$	10,669	$	8,340	$	6,009
融资租赁产生的运营现金流出		4,874		4,992		5,086
为融资租赁的现金流出融资		1,240		987		763
为换取经营租赁负债而获得的经营租赁资产		26,890		6,173		8,670
为换取新的融资租赁负债而获得的融资租赁资产		—		—		—

注意事项 10.产品保修

我们通常提供一年我们所有系统的保修，其条款和条件因所售产品而异。对于所有售出的系统，我们在系统发货时累计标准保修的估计成本，并推迟归因于非标准保修公允价值的系统收入部分。非标准保修的费用在发生时记作支出。影响我们保修责任的因素包括安装的设备数量、历史和预期的产品故障率、材料使用和服务人工成本。我们会定期评估我们记录的负债是否充足，并在必要时调整金额。

我们的产品保修责任变更如下：



	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
1月1日（年初）的余额	$	10,487	$	6,924	$	4,612
在此期间签发的担保		12,893		10,597		7,808
在此期间达成的和解协议		(10,230)		(6,798)		(4,282)
在此期间对先前存在的担保的责任估计值的变化		3,607		(236)		(1,214)
12月31日（期末）的余额	$	16,757	$	10,487	$	6,924

归类为当期金额	$	14,098	$	8,299	$	6,424
归类为长期的金额（在其他长期负债中）		2,659		2,188		500
保修责任总额	$	16,757	$	10,487	$	6,924

注意事项 11.融资安排

2015 年 1 月 30 日，我们以销售价格出售了公司总部设施48.9百万。作为销售的一部分，我们还签订了 22 岁与买方签订租赁协议。售后回租作为财务报告目的的融资安排入账，因此，我们记录的融资义务为美元45.2截至 2023 年 12 月 31 日，百万美元1.5其中百万计入流动负债.相关的租赁付款包括利息部分和本金支付，基础负债将在原始租赁期结束时消灭。截至 2023 年 12 月 31 日，我们的押金为 $5.9百万与这笔租约有关。

2023年4月5日，我们终止了我们于2020年7月31日与硅谷银行签订的经修订的优先担保信贷额度信贷协议（“信贷协议”）。信贷协议规定了循环信贷额度，涵盖借款和信用证，本金总额不超过美元40.0百万。我们在信贷协议下的债务由担保权益担保，该担保权益优先于任何当前和未来债务以及任何担保权益，这些担保权益位于我们对几乎所有资产的所有权利、所有权和权益上，但有限的例外情况除外，包括允许的留置权。终止后，这些留置权和信贷协议下的所有其他义务均已解除。由硅谷银行发行的信用证，硅谷银行是第一公民银行和信托公司（收购联邦存款保险公司的继任者，作为北卡罗来纳州硅谷桥银行的收款人）作为硅谷银行的继任者，金额为美元5.92023 年 12 月 28 日，我们公司总部租约的百万美元已终止。硅谷银行持有的标的现金抵押品于2023年12月28日与信用证终止同时发放。美国瑞银银行于2023年12月14日发行了替代的现金抵押信用证，截至2023年12月31日，该信用证在资产负债表上被列为长期限制性现金。

注释 12.员工福利计划

(a) 固定缴款计划

我们维持Axcelis长期投资计划，这是一项固定缴款计划。符合条件的员工最多可以缴款 35按税前计算的薪酬百分比受美国国税局（“IRS”）的限制。高薪员工最多可以缴纳的款项 16按税前计算的薪酬百分比受美国国税局的限制。在 2023 年、2022 年和 2021 年，我们提供的雇主匹配度为 50首次缴纳的员工税前缴款的百分比 6合格薪酬的百分比。相关配套缴款费用总额为 $3.4百万，美元2.7百万和美元2.22023 年、2022 年和 2021 年分别为百万美元。

(b) 其他薪酬计划

我们在外国司法管辖区开展业务，这些司法管辖区要求为自愿或非自愿解雇提供一次性福利，并根据法律法规支付。必要时，可获得福利计划的年度精算估值。

我们记录的无准备金负债为美元3.2百万和美元3.5截至2023年12月31日和2022年12月31日，分别为百万美元，用于支付与外国司法管辖区这些薪酬计划相关的费用。下表显示了合并资产负债表中这些负债的分类：


	年底已结束
	十二月三十一日
	2023		2022

	（以千计）
长期：
其他长期负债		3,160		3,516
负债总额	$	3,160	$	3,516

与这些计划相关的记录费用为 $1.7百万，美元1.5百万和美元1.5在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中，分别为百万人。

注释 13.股票奖励计划和股票薪酬

(a) 股权激励计划

我们维持Axcelis Technologies, Inc.的2012年股权激励计划（“2012年股权计划” 或 “计划”），该计划于2012年5月2日生效。

经修订的2012年股权计划储备金 9.5百万股普通股，美元0.001面值，用于向公司的选定员工、董事和顾问授予和允许发行期权、股票增值权、限制性股票、限制性股票单位、股票等价物和不受限制或没收的普通股奖励。根据本计划预留发行的股票总数为 7.76股东批准的百万股股票，以及 1.78由于我们先前的股权计划授予的奖励到期或没收，根据本计划条款增加了百万股股票。未根据奖励发行的股份（因为此类奖励到期、未行使终止或被没收）将恢复到本计划。

根据本计划授予的股票期权的期限在奖励协议中规定。除非公司董事会薪酬委员会另行规定更短的期限，否则 2012 年股票计划下的期权奖励将到期七年自授予之日起。根据本计划的条款，股票期权的行使价不得低于授予之日公司普通股的公允市场价值。根据2012年股票计划，公允市场价值的定义是截至任何适用日期公司普通股在国家证券交易所最后报告的出售价格，只要公司的股票在国家证券交易所上市。

授予员工的股票期权通常在一段时间内归属四年，而授予公司董事会非雇员成员的股票期权的授予期限通常为六个月而且，一旦归属，不受董事终止对公司的服务的影响。在有限的情况下，公司可以授予基于市场的归属条件的股票期权奖励，例如公司的普通股价格或其他业绩条件。员工终止服务将导致期权自解雇之日起停止归属，在大多数情况下，员工将有 90 天解雇后行使自雇关系终止时赋予的选择权。总的来说，退休的员工将有一年终止雇用关系后行使既得选择权。公司使用新发行的普通股结算股票期权行使。

2023年向员工发放的限制性股票既有基于服务的归属条款，也有基于绩效的归属条款。授予员工的限制性股票单位通常在服务期内归属四年，而 2023 年授予公司董事会非雇员成员的限制性股票的服务期为一年。我们已向执行官和其他高级员工授予了具有绩效归属条件的限制性股票单位，这可能受进一步的基于服务的归属条款的约束。未归属的限制性股票单位奖励在终止对公司的服务时到期。我们在归属新发行的普通股后结算限制性股票单位。没有限制性股票是在截至2023年12月31日的三年期内授予的。

截至 2023 年 12 月 31 日，有 0.8根据2012年股权计划，有百万股可供授予。

截至 2023 年 12 月 31 日，有三一千个未决期权而且 0.5根据2012年股票计划，流通的未归属限制性股票单位为百万个。

(b) 员工股票购买计划

2020年员工股票购买计划（“2020年ESPP”）为我们的员工提供了以低于市场价格购买公司普通股的机会。购买是通过工资扣除最多的 10参与者选择的员工工资百分比，但须遵守2020年ESP中规定的某些上限。员工可以在以下地址购买公司的普通股 85购买股票当天其市场价格的百分比。

2020年的ESPP被视为补偿性的，因此，薪酬支出是根据折扣股价的收益确认的，在每个发行期内摊销为薪酬支出六个月.

与2020年ESPP相关的薪酬支出约为美元0.4百万，美元0.3百万，以及 $0.2截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度分别为百万美元。

截至 2023 年 12 月 31 日，大约有 0.9根据2020年ESPP，百万股预留发行和可供购买的股票 9,965在该日购买的股票将在结算前发行。小于 0.1截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日，每年根据2020年ESP购买了100万股股票。

为了根据服务条件对股票期权进行估值，我们使用Black-Scholes期权定价模型来计算奖励的授予日公允价值。



			2021
加权平均预期波动率			53.07%
加权平均预期期限			4.71年份
无风险利率			1.22%
预期股息收益率			0.00%

有不股票期权奖励于 2023 年和 2022 年发放。

公司限制性股票单位的公允价值是根据授予之日公司股票的公允市场价值计算的。

(d) 股票薪酬支出摘要

我们使用直线归因法来确认股票奖励的支出，这样与奖励相关的支出就会在整个期间得到平均认可。

确认的股票薪酬金额基于最终预计授予的部分奖励的价值。如果实际没收与这些估计数不同，我们会在拨款时估算没收情况，并在必要时对其进行修改。“没收” 一词与 “取消” 或 “到期” 不同，仅代表交出的股票奖励中的未归属部分。根据历史分析，没收率为 5每年百分比适用于截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日止年度的股票奖励，包括执行官奖励。

在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中，我们确认的股票薪酬支出为美元18.3百万，美元13.4百万和美元12.1分别为百万。我们在与支付给员工的现金薪酬相同的支出细目中列报与股票薪酬相关的费用。在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中，我们在年度股权补偿计划中使用了限制性股票单位。

超过确认薪酬成本的税收减免的好处作为经营活动现金流的一部分在合并现金流量报表中列报。Axcelis的税收减免额超过了确认的薪酬成本 $10.2截至2023年12月31日的年度为百万美元，由此产生的税收优惠为美元2.2百万。

(e) 股票期权奖励

下表汇总了截至2023年12月31日止年度的股票期权活动：


				加权
		加权		平均值
		平均值		剩余的	聚合
		运动		合同的	固有的
	选项	价格		任期	价值
	（以千计）			（年）	（以千计）
截至 2022 年 12 月 31 日已发行	5	$	43.33
已授予	—		—
已锻炼	(2)		13.75
已取消	—		—
已过期	—		—
截至 2023 年 12 月 31 日未平息	3	$	61.81	4.9	$	204
可在 2023 年 12 月 31 日行使	2	$	61.81	4.9	$	102
期权于 2023 年 12 月 31 日归属	2	$	61.81	4.9	$	102

在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度中行使的期权的总内在价值（定义为行使时的市场价格与员工行使期权所支付的价格之间的差额）为美元0.2百万，美元5.4百万和美元12.8分别是百万。

在截至2023年12月31日和2022年12月31日的两个年度中， 750股票期权分别归属。没有截至2021年12月31日止年度归属的股票期权。截至 2023 年 12 月 31 日，还不到美元0.1与根据2012年股权激励计划授予的非既得股票期权相关的数百万美元未确认的薪酬成本。

(f) 限制性股票单位和限制性股票

限制性股票单位代表公司在未来某个日期发行普通股的无资金和无担保承诺，但须遵守根据2012年股权激励计划发布的奖励协议的条款。2023年授予的限制性股票单位奖励包括时间归属股票奖励和具有绩效归属条件的奖励。限制性股票奖励是已发行的普通股，可根据奖励协议中规定的条款予以没收，可以根据2012年股权激励计划发放。没有限制性股票奖励是在截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日的年度内授予或归属的。限制性股票单位和限制性股票奖励的公允价值在适用的服务期内按比例计入支出。这些奖项的目的是帮助吸引和留住高素质的员工和董事，并激励选定的员工和董事实现长期的公司目标。

截至2023年12月31日止年度公司非归属限制性股票单位的变动如下：


		加权平均值
		赠款日期博览会
	股票/单位	每股价值
	（以千计）
截至 2022 年 12 月 31 日已发行	725	$	39.23
已授予	220		125.11
既得	(397)		131.71
被没收	(10)		51.94
截至 2023 年 12 月 31 日未平息	538	$	77.22

截至2023年12月31日、2022年和2021年12月31日止年度授予的限制性股票单位的加权平均授予日公允价值为美元125.11, $55.47和 $38.54，分别地。大多数限制性股票单位都规定净股结算，以支付员工归属限制性股票单位时雇员的个人所得税预扣义务。上述归属活动反映了净股结算前归属的股份。截至 2023 年 12 月 31 日，有 $31.7与未归属限制性股票单位相关的经没收调整的未确认补偿成本总额中的百万美元

根据2012年股权激励计划授予。预计该成本将在加权平均值期间内得到确认 2.7年份。

注释 14.股东权益

我们最多可以发行 75未经股东额外批准的百万股普通股。在 2023 年 12 月 31 日和 2022 年 12 月 31 日，有 32.7百万和 32.8分别为百万股已发行普通股。

注释 15.公允价值测量

公允价值的定义是，在计量之日，在市场参与者之间的有序交易中，资产或负债在本市或最有利的市场上为转移负债（退出价格）而获得的交易所收取或为转移负债（退出价格）而支付的交易价格。

(a) 公允价值层次结构

公允价值计量的会计指导要求实体在衡量公允价值时最大限度地使用可观察的投入，并尽量减少不可观察投入的使用。该标准根据围绕用于衡量公允价值的投入的独立、客观证据水平建立了公允价值层次结构。金融工具在公允价值层次结构中的分类基于对公允价值衡量重要的最低投入水平。公允价值层次结构如下：

第 1 级—适用于活跃市场上相同资产或负债的报价的资产或负债。

第 2 级—适用于除报价外还有其他可观察到的资产或负债的投入的资产或负债，例如活跃市场中类似资产或负债的报价；交易量不足或交易频率不高的市场（不太活跃的市场）中相同资产或负债的报价；或模型推导的估值，其中重要投入可以观察到或主要来自可观察的市场数据或得到其证实。

第 3 级—适用于估值方法中存在不可观察的对衡量资产或负债公允价值具有重要意义的资产或负债。

(b) 按公允价值计量的资产和负债

我们的货币市场基金和购买时到期日为90天或更短的短期投资包含在合并资产负债表中的现金和现金等价物中。期限超过90天但不超过365天的短期投资包含在合并资产负债表的短期投资中。

下表列出了公司在公允价值层次结构中按级别按公允价值计量的资产。


	2023年12月31日
	公允价值测量
	第 1 级		第 2 级		第 3 级		总计

	（以千计）
资产
现金等价物和其他短期投资：
现金等价物（货币市场基金、美国政府证券和机构投资）	$	118,278	$	—	$	—	$	118,278
短期投资（美国政府证券和机构投资）		339,240		—		—		339,240
总计	$	457,518	$	—	$	—	$	457,518


	2022年12月31日
	公允价值测量
	第 1 级		第 2 级		第 3 级		总计

	（以千计）
资产
现金等价物和其他短期投资：
现金等价物（货币市场基金、美国政府证券和机构投资）	$	111,771	$	25,000	$	—	$	136,771
短期投资（美国政府证券和机构投资）		245,247		—		—		245,247
总计	$	357,018	$	25,000	$	—	$	382,018

合并资产负债表中反映的应收账款、预付费用和其他流动和非流动资产、限制性现金、应付账款和应计费用的账面金额由于其到期时间短而接近公允价值。

注释 16.承诺和意外开支

除了附注9中讨论的融资和运营租赁外，我们还有购买承诺和其他应急注意事项。

(a) 购买承诺

我们有库存和其他支出的合同和采购订单，金额为美元304.1截至 2023 年 12 月 31 日，百万美元，约合293.8预计到2024年将有100万人出现。

(b) 诉讼

我们目前不是任何我们认为可能对我们的业务运营产生重大不利影响的诉讼的当事方。我们不时是正常业务运营过程中出现的诉讼的当事方。

我们的系统销售协议通常包含一些条款，根据这些条款，我们同意采取某些行动，提供某些补救措施，在特定条件下保护我们的客户免受第三方的知识产权侵权索赔，并赔偿客户与此类索赔相关的任何损害和费用。我们没有因此类赔偿而产生任何重大成本，也没有在随附的合并财务报表中计提与此类债务相关的任何负债。

注意事项 17.业务板块和地理区域信息

我们在... 运营一业务板块，即为半导体芯片制造行业制造资本设备。半导体资本设备的主要市场是半导体芯片制造商。几乎所有销售都是我们直接向位于美国、欧洲和亚太地区的客户进行的。

我们的离子注入系统产品线包括高电流、中等电流和高能量注入器。其他传统加工产品包括固化和热处理系统。除新设备外，我们还提供售后设备服务和支持，包括备件、设备升级、二手设备、维护服务和客户培训。

按产品线划分的收入如下：


	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
离子注入系统和服务	$	1,111,278	$	898,132	$	645,504
其他系统和服务		19,326		21,866		16,924
总收入	$	1,130,604	$	919,998	$	662,428

根据记录出售或资产的业务的实际位置，按地理区域划分的收入和长期资产如下：


			长寿
	收入		资产

	（以千计）
2023
美国	$	749,288	$	86,482
欧洲		45,583		382
亚太地区		335,733		4,040
	$	1,130,604	$	90,904
2022
美国	$	634,081	$	66,227
欧洲		38,963		212
亚太地区		246,954		3,464
	$	919,998	$	69,903
2021
美国	$	519,408	$	63,590
欧洲		36,622		191
亚太地区		106,398		3,194
	$	662,428	$	66,975

长期资产包括不动产、厂房和设备（净额）和为内部使用而制造的资产（净额）。亚太地区的业务包括制造、销售和服务组织。欧洲的业务由销售和服务组织组成。

国际收入，包括美国制造设施对外国客户的出口销售以及外国子公司和分支机构的销售，为美元950.4百万 (84.1占总收入的百分比），美元776.3百万 (84.4占总收入的百分比）和 $613.5百万 (92.6分别在 2023 年、2022 年和 2021 年占总收入的百分比。

注释 18.所得税

所得税前收入如下：


	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
美国	$	270,842	$	198,028	$	116,380
国外		7,757		6,857		4,048
所得税前收入	$	278,599	$	204,885	$	120,428

所得税准备金如下：


	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
当前：
美国
联邦	$	46,871	$	8,430	$	—
州		1,985		1,716		82
国外		3,498		3,124		1,439
总电流		52,354		13,270		1,521
已推迟：
联邦		(18,526)		9,097		20,521
州		(440)		(102)		406
国外		(1,052)		(459)		(670)
延期总额		(20,018)		8,536		20,257
所得税准备金	$	32,336	$	21,806	$	21,778

美国联邦法定税率的所得税与实际所得税税率的对账 11.6% 如下所示：


	截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
美国法定税率的所得税	$	58,506	$	43,026	$	25,290
州所得税		1,033		1,075		387
估值补贴变动的影响		1,978		680		(1,443)
外国所得税税率差异		329		289		152
基于股票的薪酬		(6,718)		(3,818)		(3,658)
《美国国税法》第 162 (m) 条限制		4,488		2,692		1,481
信贷到期		784		1,181		2,342
费率变化		44		94		159
积分创造		(6,900)		(4,764)		(3,096)
离散物品，净额		2,161		206		72
GILTI 包括在内		45		69		301
外国衍生的无形收入		(24,052)		(20,526)		—
其他，净额		638		1,602		(209)
所得税准备金	$	32,336	$	21,806	$	21,778

长期递延所得税的重要组成部分如下：


	截至12月31日的年度
	2023		2022

	（以千计）
递延所得税资产：
州净营业亏损结转额	$	96	$	291
国外净营业亏损结转		182		276
联邦税收抵免结转		1,999		—
州税收抵免结转		9,560		8,683
不动产、厂房和设备		6,979		8,755
经营租赁责任		5,564		1,564
应计补偿		242		276
库存		804		1,613
股票补偿		1,790		1,620
质保		3,108		1,993
递延收入		6,389		4,501
资本化研发成本		38,036		18,067
递延所得税资产总额		74,749		47,639
估值补贴		(10,963)		(8,370)
递延所得税净资产		63,786		39,269
递延所得税负债：
无形资产		—		(176)
使用权资产		(9,155)		(5,400)
其他		(1,203)		(1,992)
递延所得税负债总额		(10,358)		(7,568)
递延所得税，净额	$	53,428	$	31,701

税率和税法的变化将在颁布期间予以考虑。我们的递延所得税资产和负债按颁布的税率计量，预计这些临时差异将在实现或结算时适用。

2023 年 12 月 31 日，我们有 $53.4全球数百万的递延所得税净资产与资本化研发成本和其他临时差异有关，可用于减少未来几年的所得税。与上年相比，我们的递延所得税资产的增加主要是由于 $20.0与资本化研发成本相关的增长了100万英镑。截至2023年12月31日，我们维持了美元11.0根据公司的长期预测和这些属性的到期日期，美国针对某些税收抵免和州净营业亏损提供了百万美元的估值补贴，这是由于这些抵免的实现存在不确定性。这表示增加了 $2.6比上一年增加一百万。

截至2023年12月31日，我们的州净营业亏损结转额为美元0.1百万。州净营业亏损将在2024年至2034年之间到期。截至2023年12月31日，我们的国外净营业亏损结转额为美元0.2百万。我们的大部分国外净营业亏损都有无限的结转期。

截至2023年12月31日，我们的研发和其他税收抵免结转额为美元15.2百万。这些结转受不确定的税收状况储备金的影响，即美元3.0百万。这些抵免可用于减少未来的联邦和州所得税负债，主要在2024年至2035年之间到期。

《减税和就业法》（“TCJA”）的一项条款于2022年生效，这使我们对研究和实验支出的处理发生了重大变化。从历史上看，企业可以选择在发生的年度扣除研发费用，或者在五年内将成本资本化和摊销。TCJA条款取消了这种选择，并要求将与在美国进行的研究相关的研发费用资本化，并在五年内摊销。对于与美国以外的研究相关的费用，研发费用在15年内资本化并摊销。公司已在截至2023年12月31日止年度的税收准备中纳入了在规定期限内资本化和摊销这些成本的税收影响。

我们认为，截至2023年12月31日，我们外国子公司的未分配收益将无限期再投资，因此，美国没有就此提供所得税。截至2023年12月31日，与无限期再投资国外收益相关的现金金额约为美元11.8百万。我们没有，预计也没有必要将资金汇回美国，以满足正常业务过程中产生的国内流动性需求，包括与我们的国内还本付息要求相关的流动性需求。

我们和我们的子公司在美国联邦司法管辖区以及各州和外国司法管辖区提交所得税申报表。自2009年以来，我们和大多数外国子公司都要接受税务机关的所得税审查。我们的政策是将与未确认的税收优惠相关的利息确认为利息支出，将罚款确认为运营费用。我们认为，根据对许多因素的评估，包括过去的经验和适用于每个事项事实的税法解释，我们对纳税申报表中采取的和将要采取的所得税立场得到了适当的支持，而且我们的应计纳税额足以应付所有开放年度。

截至2023年12月31日，我们有与美元不确定的税收状况相关的未确认的税收优惠11.9百万，美元8.3其中100万作为长期负债入账，其余部分减少了公司的州递延所得税资产和抵消性估值补贴。我们认出了 $0.5截至2023年12月31日的年度与这些不确定的税收状况有关的利息和罚款支出为百万美元。这些未确认的税收优惠如果得到确认，将降低有效税率，还会逆转相关的应计利息和罚款支出。

未确认的税收优惠的期初和期末余额的对账如下：


		截至12月31日的年度
	2023		2022		2021

	（以千计）
年初余额	$	10,443	$	9,961	$	10,044
由于前一时期的税收状况，未确认的税收优惠减少		(271)		(122)		(546)
与税务机关和解有关的未确认税收优惠减少		—		(708)		—
由于适用的诉讼时效到期，未确认的税收优惠减少		—		—		(472)
由于本期的税收状况，未确认的税收优惠增加		1,754		1,312		935
年底余额	$	11,926	$	10,443	$	9,961

记作其他长期负债	$	8,344	$	7,190	$	—
记作递延所得税资产的减少		3,582		3,253		9,961
年底余额	$	11,926	$	10,443	$	9,961

附表二——估值账户和合格账户

Axcelis 科技公司

（以千计）


	余额为		充电至				余额为
	的开始		成本和				的结束
	时期		开支		扣除额		时期
截至2023年12月31日的财年
可疑账目和申报表备抵金	$	—	$	1,117	$	657	$	460
递延所得税估值补贴		8,370		3,196		603		10,963
截至2022年12月31日的年度
可疑账目和申报表备抵金	$	—	$	—	$	—	$	—
递延所得税估值补贴		7,689		1,529		848		8,370
截至2021年12月31日的年度
可疑账目和申报表备抵金	$	—	$	—	$	—	$	—
递延所得税估值补贴		9,133		780		2,224		7,689

展品索引


展览没有。		描述
23.1		独立注册会计师事务所安永会计师事务所的同意。随函提交。

31.1		根据2024年2月28日的《交易法》第13a-14 (a) /15d-14 (a) 条（萨班斯-奥克斯利法案第302条）对首席执行官的认证。随函提交。

31.2		根据2024年2月28日的《交易法》第13a-14 (a) /15d-14 (a) 条（萨班斯-奥克斯利法案第302条）对首席财务官的认证。随函提交。

32.1		根据2024年2月28日颁布的《美国法典》第18编第63章第1350条（萨班斯-奥克斯利法案第906条）对首席执行官的认证。随函提交。

32.2		根据2024年2月28日颁布的《美国法典》第18编第63章第1350条（萨班斯-奥克斯利法案第906条）对首席财务官的认证。随函提交。

101		公司截至2023年12月31日止年度的10-K表中的以下材料，格式为可扩展业务报告语言（XBRL）：（i）合并运营报表，（ii）合并综合收益表（iii）合并资产负债表，（iv）合并权益表，（v）合并现金流量表以及（vi）合并财务报表附注。

104		封面交互式数据文件（格式为 ixBRL，包含在附录 101 中）。

签名

根据1934年《证券交易法》第13条或第15（d）条的要求，注册人已正式促使经正式授权的下列签署人代表其签署本报告。


	AXCELIS 科技股份有限公司


	来自：	/s/ 罗素·J·洛
		罗素 ·J.Low，
		总裁兼首席执行官
日期：2024 年 2 月 28 日

根据1934年《证券交易法》的要求，本报告由以下人员代表注册人以所示身份和日期签署。

签名	标题	日期

/s/ 罗素·J·洛	董事兼首席执行官	2024年2月28日
罗素·J·洛	董事兼首席执行官	2024年2月28日

/s/ 詹姆斯·G·库根	首席会计和财务官	2024年2月28日
詹姆斯·G·库根	首席会计和财务官	2024年2月28日