附件32.1

首席执行官和首席财务官的认证

依据《美国法典》第18编第1350条,

根据以下规定通过

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于本文件日期提交给美国证券交易委员会的截至2023年12月31日止的MKS仪器公司(“本公司”)10-K表格年度报告(“本报告”),签署人本公司首席执行官John T.C.Lee、本公司首席执行官总裁和执行副总裁Seth H.Bagshaw、本公司首席财务官兼财务主管Seth H.Bagshaw,现根据根据2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节通过的《美国法典》第18编第1350条证明,基于其所知:

(1)

该报告完全符合1934年《证券交易法》第13(A)或15(D)节的要求;以及

(2)

该报告所载资料在各重大方面均公平地反映了本公司的财务状况及经营结果。

 

 

日期:2024年2月27日

/S/约翰·T·C·李

 

约翰·T·C·李

总裁与首席执行官

(首席行政主任)

 

 

日期:2024年2月27日

/S/赛斯·H·巴格肖

 

赛斯·H·巴格肖

执行副总裁总裁,首席财务官兼财务主管

(首席财务官)