附录 10.1

执行版本

信贷协议的第三次修正案

信贷协议第三修正案（本修正案）于2024年2月13日生效，由作为母借款人的马萨诸塞州公司MKS INSTRUMENTS, INC.、本协议其他贷款方、作为行政 代理人的北卡罗来纳州摩根大通银行（JPM）、每个信用证发行人和每位初始增量循环信贷贷款人签订 根据截至2022年8月17日的特定信贷协议，本协议当事方（定义见下文），母借款人摩根大通作为行政代理人，抵押品 代理人和信用证发行人、不时对其中的贷款方以及不时的其他当事人（在本协议发布之日之前修订、重述、修订和重述、补充和以其他方式修改、 现有信贷协议、经本修正案修订，以及不时修订、重述、补充和以其他方式修改的信贷协议）。此处使用但未另行定义的大写 术语应具有信贷协议中赋予的含义。

W I T N E S S E T H

鉴于，提到了母借款人与摩根大通（以下简称 “安排人”）于2024年1月9日签订的某些约定书（经修订， 不时修改、补充或豁免）；安排人已被任命为本修正案及此所考虑交易的唯一和独家牵头安排人和 牵头账簿管理人；

鉴于根据 现有信贷协议第2.14节，借款人希望根据现有信贷协议第2.14节规定的要求以及此处规定的条款和条件，随着循环信贷承诺的增加（初始增量循环信贷 承诺）的增加，获得本金总额为1.75亿美元的新循环信贷承诺；

鉴于，在第三修正案生效之日，每位作为初始增量循环信贷贷款人 直接执行和交付本修正案 对应的人（每位此类人均为初始增量循环信贷贷款人）将向借款人提供循环信贷承诺，本金总额 金额等于其初始增量循环信贷承诺。

鉴于，为了生效初始增量 循环信贷承诺，母借款人、管理代理人、每位初始增量循环信贷贷款人和本协议的其他当事方已同意按照本文 的规定对现有信贷协议进行某些修订；

鉴于，(a) 初始增量循环信贷贷款机构愿意根据本修正案和信贷协议的条款和条件发放此处设想的信贷 ，以及 (b) 在需要此类同意的范围内，行政代理人、信用证发行人和母借款人同意 提供初始增量循环信贷承诺的每家初始增量循环信贷贷款机构，信贷协议下的贷款人；以及

鉴于本 修正案的生效以及本协议中设想的交易的完成，本协议的每个贷款方都希望获得可观的直接和间接利益，并同意重申其根据信贷协议、抵押文件及其所签署的其他贷款文件承担的义务。

协议

因此，现在，考虑到此处包含的前提和共同协议，以及其他有价值的 对价（特此确认其已收到和充足性），本协议各方打算受法律约束，特此协议如下：

第一条

初始 增量循环信贷承诺

第 1.01 节初始增量循环信贷 承诺。受此处规定的条款和条件以及第三修正案生效日期的约束：

(a) 初始增量循环信贷承诺应按以下方式生效，并应具有以下 条款和条件：

(i) 每家初始增量循环信贷贷款机构 分别同意在第三修正案生效日以美元向母借款人提供循环信贷承诺，本金不得超过本文 附件A中初始增量循环信贷贷款人名称相反的金额；

(ii) 初始增量循环信贷承诺应构成 本金的增加，并应构成与循环信贷承诺和循环信贷额度相同的类别和批次的一部分；

(iii) 除非本文另有明确规定，否则初始增量循环信贷承诺应与循环信贷承诺具有相同的条款，并应受包括任何限制贷款方权利或义务的条款，或与 循环信贷贷款人的权利有关的任何条款、信贷协议和其他适用于循环信贷承诺的贷款文件（包括但不限于到利率利率，利率下限，到期日、预付保费、可选的 预付款和可选赎回条款、强制还款、摊销、担保人、抵押品（和等级）、付款优先顺序和所得款项的使用）；以及

(iv) 信贷协议或其他贷款文件中对循环信贷承诺、循环信贷额度和 循环部分的提及均应视为包括初始增量循环信贷贷款机构在各自的初始增量循环信贷承诺 下所做的承诺 以及所有其他相关术语将具有相关含义 作必要修改后。每次提及贷款人或循环信贷贷款人均应被视为包括每位初始增量循环信贷贷款机构，所有其他 术语将具有相关含义 作必要修改后.

(b) 根据现有信贷协议第2.14节和 第10.01节，特此授权行政代理人采取其合理认为必要的所有行动，以实现现有信贷协议 第 2.14 (e) 节所设想的资金、分配、假设和预付款，在每种情况下，行政代理人均应有权在登记册上进行相应的标记，以反映此处规定的修正和调整。

2

(c) 尽管《现有信贷协议》或《信贷协议》第 2.02 节中有任何相反的规定，本 第 1.01 节的规定均应适用。

第 1.02 节某些协议和同意。

(a) 本协议的每个初始增量循环信贷贷款人一方 (i) 同意在尚未成为 贷款人的范围内，以贷款人身份成为信贷协议的当事方，(ii) 确认已收到现有信贷协议和其他贷款文件的副本，以及其中提及的财务报表的副本，以及 其认为适合自己做出信用分析和决定的其他文件和信息签订本修正案，(iii) 同意独立且不依赖于行政代理人或任何 其他贷款人，根据其当时认为适当的文件和信息，在根据信贷协议采取或不采取行动时做出或继续做出自己的信贷决定，(iv) 任命和授权 行政代理人和抵押代理人以代理人身份采取行动，行使授予行政代理人和抵押代理人的信贷协议和其他贷款文件下的权力，如根据该案的条款，该案可以 与之并驾齐驱权力的合理附带性，并且（v）同意将根据信贷协议条款履行信贷协议条款要求其作为贷款人履行的所有义务。

(b) 本修正案应被视为构成与现有信贷协议第2.14节规定的初始增量循环信贷承诺有关的任何请求和/或通知 ；母借款人特此授权并指示管理代理人向 贷款人交付本修正案的副本。

第二条

修正案

第 2.01 节第三修正案生效日期发生后：

(a)

应对《信贷协议》第 1.01 节进行修订，按 正确的字母顺序添加以下已定义的术语；

第三修正案是指母借款人、本协议其他贷款方、管理代理人和本协议各贷款方之间于2024年2月13日生效的 信贷协议的某些第三修正案。

第三修正案的生效日期具有第三修正案中该术语的含义。

(b)

初始增量循环信贷承诺应被视为已纳入信贷协议 作必要修改后与循环信贷承诺和循环信贷额度属于同一类别和批次的一部分，分别适用本修正案第1.01和1.02节 （包括但不限于第1.01节（包括但不限于第1.01节）中规定的条款和条件定义), 2.01 (贷款), 2.02 (借款、转换和延续贷款), 2.05 (预付款), 2.07 (偿还贷款), 2.14 (增量 设施), 2.22 (延长定期贷款和循环信贷承诺), 3.08 (在某些情况下更换贷款人) 和 5.07 (所得款项的用途）的信贷协议）。

3

第 2.02 节为进一步推进上述内容， 现有信贷协议附表 2.01 （承诺和按比例分配的份额）特此修订，以反映本文附件A中规定的初始增量循环信贷贷款机构的初始增量循环信贷承诺。

第三条

条件 先例

本修正案的生效以及每位初始增量 循环信贷贷款机构在本修正案下的承诺和义务应以（行政代理人）满足或放弃以下每项条件（该条件的满足或豁免之日在此称为 第三修正案生效日期）为前提：

第 3.01 节执行。行政代理人 应收到本修正案的对应文件以及与本修正案有关或考虑的其他文件，这些文件由母借款人、其他贷款方、每位初始增量循环 信贷贷款人、每位信用证发行人和行政代理人的正式授权官员签署和交付。

第 3.02 节 [已保留].

第 3.03 节公司文件。行政代理人应已收到：(a) 母借款人负责人员在第三修正案生效日期开具的证书，证明 (i) (A) 母借款人的组织文件自截止日期起未经修改或 (B) 其所附的 是母借款人最近经认证的每份组织文件（在适用范围内）的真实完整副本其组织所在国国务卿，(ii) 所附的是一份真实的 的完整副本母借款人的适用管理机构通过的决议，授权执行、交付和履行本修正案或母借款人 作为当事方的任何其他文件，且此类决议未经修改、撤销或修正且完全生效；(iii) (A) 关于执行本修正案或任何其他文件的每位官员的现任职情况和样本签名 代表母借款人随函交付，或 (B) 母借款人已交付此前曾在截止日期签订在职样本的该人的官员没有变化；以及 (b) 该国务卿出具的关于母借款人最近一天（就这种概念存在的范围而言）在其组织管辖范围内的良好地位的证明。

第 3.04 节成本和支出。母借款人应已经或应促使在初始增量循环信贷承诺生效的同时支付 、所有成本、费用和开支（包括律师费和开支）以及其他应付给行政代理人、 安排人和初始增量循环信贷贷款人根据约定书必须支付的初始增量循环信贷贷款人的所有成本、费用和开支（包括律师费和开支）以及其他应付的补偿，在每种情况下，均以至少三（3）张发票为限第三修正案生效日期之前的工作日。

第 3.05 节第三修正案生效日期证书。自第三修正案生效之日起，行政代理人应收到一份由母借款人负责官员正式签发的 证书，证明第四条中规定的陈述和担保在所有重要方面（以及在所有方面是否有任何此类陈述 或担保已在实质性方面得到限定）的准确性，除非此类陈述和保证特别提及较早的日期，其中假设它们在所有 重大方面都是真实和正确的（以及所有方面（如果任何此类陈述或担保在实质性方面已经得到限定），则截至该较早日期。

4

第 3.06 节了解你的客户。行政代理人 和每位初始增量循环信贷贷款人（根据要求在第三修正案生效日期前至少十（10）个工作日（或母借款人约定的较短时间））应在第三修正案生效日前至少两（2）个工作日收到有关母借款人和其他贷款方的所有文件和其他信息，了解您的客户和反货币 洗钱规则和条例，包括认证根据《受益所有权条例》第31卷第1010.230节（《受益所有权条例》）的规定，在母公司 借款人有资格成为法人实体客户的范围内，关于母借款人的受益所有权。

第3.07节律师的意见。行政代理人应已收到贷款方特别顾问 Wilmer Cutler Pickering Hale and Dorr LLP 的惯常意见。

第四条

陈述和保证

为了诱使本修正案其他各方签订本修正案，并诱使每位初始增量循环信贷 贷款机构根据本修正案的条款发放贷款和提供承诺，各贷款方特此向行政代理人、抵押代理人和每位贷款人（包括每位初始增量循环信贷 贷款机构）陈述和保证，截至第三修正案生效日期：

第 4.01 节存在、资格和 权力。每个贷款方（就第 (c) 条而言，受法律保留和信贷协议第 5.03 节的约束）(a) 是合法组织、组建或成立、有效存在且信誉良好的 个人（只要该概念适用于其成立的相关司法管辖区的此类实体），（b）拥有（i）拥有所有必要的权力和权限 或租赁其资产并按目前方式开展业务，以及 (ii) 执行、交付和履行其义务根据该修正案，(c) 根据其财产所有权、租赁或运营或开展业务需要此类资格的每个司法管辖区的法律，具有正式资格并获准开展业务且信誉良好（在 概念适用于此类实体成立的相关司法管辖区的范围内），并且（d）拥有按目前方式运营业务所需的所有 份政府许可、授权、同意和批准；在每种情况下，均在 (a) 条中提及（但与借款人）、（b）（i）、（b）（ii）（与借款人有关的 除外）、（c）和（d），前提是任何不这样做或不这样做都不可能单独或总体上产生重大不利影响。

第 4.02 节正当授权；无冲突。各贷款方执行、交付和履行本 本修正案以及本修正案中设想的交易的完成 (a) 已获得所有必要的公司或其他组织行动的正式授权，(b) 不违反任何此类个人组织 文件的条款，(c) 不与任何违背或违背或设立任何留置权（允许的留置权除外）相冲突或导致任何违背或违反该人作为当事方的合同义务或任何政府的任何命令、禁令、令状或法令 该人或其财产所受的权限或任何仲裁裁决，并且 (d) 不违反任何法律；除非在每种情况下，合理预计此类违规行为不会对个人 或总体上产生重大不利影响。

第 4.03 节正当执行；约束效力。本 修正案已正式执行并代表每个贷款方交付（在每种情况下，均受法律保留和信贷协议第 5.03 节的约束）。在遵守法律保留的前提下，本修正案 构成该贷款方的合法、有效和具有约束力的义务，可根据其条款对该贷款方强制执行。

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第 4.04 节偿付能力。在本修正案和信贷协议所考虑的 交易生效后，母借款人及其子公司合并后具有偿付能力。

第 4.05 节陈述和保证。现有信贷协议第五条和其他贷款文件中 中各贷款方的陈述和担保在所有重要方面（如果有任何此类陈述或担保，则在所有方面均为真实和正确），但 此类陈述和担保特别提及较早的日期除外，在这种情况下，它们在所有重要方面（以及在所有方面，如果有的话）都是真实和正确的就此 而言，陈述或担保已经符合实质性条件）较早的日期以及现有信贷协议第5.05（a）和（b）节中包含的陈述和担保被视为指在第三修正案生效日期之前分别根据现有信贷协议第6.01（a）和（b）条 提供的最新财务报表。

第 4.06 节无默认值或 默认事件。未发生任何违约或违约事件，并且仍在继续。

第五条

杂项

第 5.01 节本修正案的执行。本修正案已执行并应解释为对现有信贷协议的修正案 ，根据现有信贷协议的规定，本修正案构成现有信贷协议的一部分。贷款方和本协议其他各方承认，本修正案将构成 信贷协议和其他贷款文件所有目的的贷款文件。

第 5.02 节无豁免；对贷款 文件的影响。本修正案旨在修改现有信贷协议中规定的义务，但不是取消现有信贷协议中规定的义务，除非根据本修正案的条款进行了特别修改，否则现有信贷协议 的条款和条件仍然完全有效。此处的任何内容均不以任何方式限制行政代理人和有担保方在现有信贷协议和贷款文件下的权利和补救措施。除 本修正案允许或规定的范围外，行政代理人和贷款方对本修正案的执行、交付和履行均不构成对目前或将来出现的任何 违约或违约事件的豁免、宽容或其他宽恕，或以任何方式限制、损害或以其他方式影响贷款文件中行政代理人或贷款人的权利和补救措施。

第 5.03 节对应项。本修正案可以在任意数量的对应方中执行，也可以由不同的 方在不同的对应方中执行，每个对应方在执行时应被视为原件，所有对应方共同构成同一个协议。签名页可以与多个单独的对应页分离， 可以附加到单个对应页面。通过传真传输或电子传输（包括pdf）交付本修正案的签名页应与交付本修正案中手动签署的签名页一样有效。 本修正案中的执行、签名、签名和类似引入的词语应被视为包括电子签名或电子记录，在任何适用法律（包括全球和国家 商务中的联邦电子签名）规定的范围和规定的范围内，每种电子签名或电子记录应与手动签名或使用纸质记录保存系统具有相同的法律效力、有效性 或可执行性法案、《纽约州电子签名和记录法》或任何其他类似法案基于《统一电子交易法》的州法律。

第 5.04 节完整协议。约定书、本修正案和其他贷款文件体现了双方的 完整协议，取代了先前的所有协议和

6

与本协议标的相关的谅解，涉及任何贷款方和任何行政代理人、任何贷款人或其各自的任何关联公司。根据本修正案第三条的规定，本 修正案生效后，本修正案将对本协议各方具有约束力，并根据现有信贷协议第 10.07 节对其各自的 继承人和受让人具有约束力，并符合他们的利益。

第 5.05 节《适用法律》；免除陪审团审判。本修正案以及本修正案各方的权利 和义务应受纽约州法律管辖，并根据纽约州法律进行解释。特此以引用方式将现有信贷协议第 10.15 (b)、10.15 (c) 和 10.16 节纳入此处， 作必要修改后。

第 5.06 节可分割性。本修正案的任何条款在任何司法管辖区被认定为非法、 无效或不可执行，均不影响该条款中未被视为非法、无效或不可执行的任何部分、本修正案的任何其他条款或任何其他司法管辖区的此类条款的任何部分。

第 5.07 节标题。此处包含的章节标题仅为便于参考， 不影响对本修正案的解释。

第 5.08 节重申义务。根据此处和贷款文件中包含的条款和限制，每个 贷款方（a）已承担或担保有担保债务，包括但不限于与初始增量循环 信贷承诺（债务）有关的所有义务及其所有义务在本修正案生效后应继续保持全面效力和持续效力，(b) 承认并同意本修正案中的任何内容 构成此类义务的更新或终止，并且 (c) 已创建留置权以及行政代理人和/或抵押代理人在其某些抵押品上的担保权益，以担保其在本协议下的债务。 各贷款方特此确认已审查本修正案的条款和规定并同意本修正案。每个贷款方特此确认，其作为当事方或受其他约束力的每份贷款文件以及由此担保的所有 抵押品将视情况而定，继续根据贷款文件最大限度地为债务的支付和履行提供担保或担保，包括在不限制 的前提下，支付和履行作为每个贷款方现在或以后的连带义务的所有此类适用义务现有的。

[页面的其余部分故意留空]

7

自上文第一篇撰写之日起，本协议各方已促成本修正案得到正式执行 ，并由各自的官员交付本修正案，以期获得正式授权，以昭信守。

信贷协议 (MKS) 第三修正案 的签名页

信贷协议第三修正案（MKS）的签名页

信贷协议第三修正案（MKS）的签名页