附件23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们已就Amtech Systems，Inc.的年报所载的综合财务报表及财务报告的内部控制发出日期为二零二三年十二月十四日的报告。截至2023年9月30日止年度的10-K表格。我们同意通过引用将上述报告纳入Amtech Systems，Inc.的注册声明。表格S-8（档案编号：333-263875、333-204431、333- 196940、333-196937、333-131051、333-145454、333-09911、333-168606、333-168607）。