附件21.1

Amtech Systems,Inc.及其子公司

注册人的子公司

 

名字

 

成立为法团的司法管辖区

先进复合材料公司

 

特拉华州

 

 

 

布鲁斯技术公司

 

马萨诸塞州

 

 

 

BTU欧洲有限公司

 

英国

 

 

 

BTU国际公司

 

特拉华州

 

 

 

BTU有限公司(上海)

 

中国

 

 

 

BTU海外有限公司。

 

特拉华州

 

 

 

北通海外(上海)有限公司。

 

中国

 

 

 

Entrepix公司

 

亚利桑那州

 

 

 

Entrepix亚洲有限公司

 

新加坡

 

 

 

Entrepix国际公司

 

亚利桑那州

 

 

 

Intersurface Dynamics公司

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R.霍夫曼机械产品公司

 

亚利桑那州

 

 

 

坦普拉斯系统公司

 

德克萨斯州