附录 32.1

根据《美国法典》第 18 条第 1350 条对首席执行官进行认证，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

我，迈克尔·普利辛斯基，根据根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的《美国法典》第18节第1350条证明，截至2023年9月30日止的10-Q表季度报告完全符合1934年《证券交易法》第13（a）或15（d）条的要求，并且 10-Q表的季度报告在所有重大方面公允地列报了Onto Innovation Inc.的财务状况和经营业绩。

日期：2023 年 11 月 9 日