附录 31.2

认证

首席财务官的

根据规则 13a-14 (a) /15d-14 (a)（实施《萨班斯-奥克斯利法案》第 302 条）

我，詹姆斯·库根，证明：

1。我已经阅读了这份 Axcelis Technologies, Inc. 10-Q 表季度报告；

2。据我所知，鉴于作出此类陈述的情况，本报告不包含任何关于重大事实的不真实陈述，也没有陈述作出陈述所必需的重大事实，在本报告所涉期间内不会产生误导；

3。根据我所知，本报告中包含的财务报表和其他财务信息，在所有重大方面公允反映了注册人截至本报告所述期间和期间的财务状况、经营业绩和现金流；

4。注册人的其他认证官员和我负责为注册人建立和维护披露控制和程序（定义见《交易法》第 13a-15 (e) 和 15d-15 (e) 条）以及对财务报告的内部控制（定义见《交易法》第 13a-15 (f) 和 15d-15 (f) 条），并拥有：

(a) 设计了此类披露控制和程序，或促使在我们的监督下设计此类披露控制和程序，以确保这些实体内的其他人向我们提供与注册人（包括其合并子公司）有关的重要信息，尤其是在编写本报告期间；

(b) 设计此类财务报告内部控制，或促使此类财务报告内部控制在我们的监督下设计，以便为财务报告的可靠性和根据公认的会计原则为外部目的编制财务报表提供合理的保证；

(d) 在本报告中披露了注册人最近一个财政季度（如果是年度报告，则为注册人的第四个财政季度）发生的注册人对财务报告的内部控制的任何变化，这些变化对注册人对财务报告的内部控制产生了重大影响或有理由可能对注册人财务报告的内部控制产生重大影响；以及

5。根据我们对财务报告内部控制的最新评估，注册人的其他认证人员和我已向注册人的审计师和注册人董事会的审计委员会（或履行同等职能的人员）披露了：

(a) 财务报告内部控制的设计或运作中存在的所有重大缺陷和重大缺陷，这些缺陷和缺陷很可能对注册人记录、处理、汇总和报告财务信息的能力产生不利影响；以及

(b) 任何涉及在注册人财务报告内部控制中起重要作用的管理层或其他雇员的欺诈行为，无论是否重大。