附录 32.2

首席财务官认证

根据《美国法典》第 18 节第 1350 节，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

我，Mark R. Slicer，根据根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的《美国法典》第18条第1350条证明，Onto Innovation Inc.截至2023年7月1日的10-Q表季度报告完全符合1934年《证券交易法》第13 (a) 或15 (d) 条（如适用）的要求以及季度报告中包含的信息在 10-Q 表格上，在所有重大方面公允地列报了 Onto Innovation Inc. 的财务状况和经营业绩

日期：2023 年 8 月 10 日