附录 32.1

根据《美国法典》第 18 条第 1350 条对首席执行官进行认证，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

我，迈克尔·普利辛斯基，根据根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的《美国法典》第18条第1350条，证明截至2023年7月1日的10-Q表Onto Innovation Inc.季度报告完全符合1934年《证券交易法》第13（a）或15（d）条（如适用）的要求，以及其中包含的信息 10-Q表的季度报告在所有重大方面公允地列报了Onto Innovation Inc.的财务状况和经营业绩

日期：2023 年 8 月 10 日