附录 32.1

AMTECH SYSTEMS, INC.及其子公司

根据以下标准进行认证

18《美国法典》第 1350 节，

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

关于截至2023年6月30日向美国证券交易委员会提交的Amtech Systems, Inc.（以下简称 “公司”）截至2023年6月30日的10-Q表季度报告（“报告”），我，公司董事会主席兼首席执行官罗伯特·戴格尔根据萨班法第906条通过的《美国法典》第18条第1350条进行认证据我所知，2002 年的 ES-Oxley 法案：

(1)
该报告完全符合1934年《证券交易法》第13（a）或15（d）条的要求；以及
(2)
报告中包含的信息在所有重大方面公允地反映了公司的财务状况和经营业绩。

 

由

 

/s/ Robert C. Daigle

 

 

罗伯特·戴格尔

 

 

董事会主席兼首席执行官

 

 

Amtech 系统公司

 

 

 

日期：

 

2023年8月9日

 

上述认证是根据《美国法典》第 18 条第 1350 节提供的。就经修订的1934年《证券交易法》第18条而言，它不是根据经修订的1934年《证券交易法》第18条提交的，也不得以提及方式纳入公司的任何申报中，无论此类申报中有任何一般的公司注册语言。