附录 32.1

AMTECH SYSTEMS, INC.及其子公司

根据以下标准进行认证

18《美国法典》第 1350 节,

根据以下规定获得通过

2002 年《萨班斯-奥克斯利法案》第 906 条

关于截至2023年3月31日向美国证券交易委员会提交的截至2023年3月31日的Amtech Systems, Inc.(“公司”)10-Q表季度报告(以下简称 “报告”),我,公司首席执行官迈克尔·旺根据根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过的《美国法典》第18节第1350条进行认证,据我所知:

(1)
该报告完全符合1934年《证券交易法》第13(a)或15(d)条的要求;以及
(2)
报告中包含的信息在所有重大方面公允地反映了公司的财务状况和经营业绩。

 

 

/s/ 迈克尔·王

 

 

迈克尔·旺

 

 

首席执行官

 

 

Amtech 系统公司

 

 

 

日期:

 

2023年5月10日

 

上述认证是根据《美国法典》第 18 条第 1350 节提供的。就经修订的1934年《证券交易法》第18条而言,它不是根据经修订的1934年《证券交易法》第18条提交的,也不得以提及方式纳入公司的任何申报中,无论此类申报中有任何一般的公司注册语言。