附录 10.1

CY23 高管激励计划

（年度高管奖金）

计划摘要

本KLA高管激励计划（“计划”）旨在通过为目标业绩提供有竞争力的奖金和为出色业绩提供潜在的上行空间，激励高级管理人员实现短期和长期的企业目标。

计划周期

本计划的有效期为2023年1月1日至2023年12月31日的日历年期间（“计划期”）。符合条件的新员工（例如，根据本计划首次晋升为符合激励条件的职位或新员工）必须在 2023 年 10 月 1 日当天或之前处于人力资源系统记录的符合条件的职位，才有资格参与本计划期。

符合条件的职位

KLA Corporation（“公司”）的首席执行官（“首席执行官”）以及担任X2或F2及以上级别职位的公司和指定公司子公司（见本协议附录A）的员工（与首席执行官合称 “高管”）有资格参与本计划。

计划付款

根据计划期内的业绩，奖金将在2023年12月31日之后的90天内支付。奖金的计算应基于适用计划期的已付基本工资。如果将季节性奖金视为员工年薪的一部分，则支付的基本工资包括在某些国家支付的基本工资和季节性奖金。已支付的基本工资不包括计划期内支付的搬迁津贴和报销、学费报销、汽车/交通补贴、外籍人员津贴、佣金、长期残疾补助金或奖金。参与者在付款当天必须是公司的正式在职员工才能获得报酬。在计划期内（2023 年 10 月 1 日当天或之前）晋升或聘用到符合条件的职位的员工的薪水将根据人力资源系统中记录的晋升或聘用生效之日起的已付薪金计算。如果员工的目标奖金在年内发生变化，则奖金将按比例分配。

目标奖励

目标奖金是按每位计划参与者的基本工资的百分比确定的。

资金门槛

该计划的可用资金总额将由业绩与阈值水平相比确定，门槛水平由计划期间的平衡记分卡和营业利润率（“OM”）*绩效衡量。在实现运营绩效达到美元后，该计划将获得全额资金（相当于所有计划参与者的总金额，相当于每位计划参与者在计划期内目标奖金百分比和已支付基本工资乘积的两倍）[**]M. 这笔全额资金代表所有计划参与者的最大总奖励机会和本计划的最大总成本。

绩效矩阵和可用于奖金支付的资金的确定

如下面的CY23高管奖金资助表所示，可向参与的高管支付的资金水平将基于对企业平衡记分卡和运营管理绩效衡量的业绩。表中的金额代表适用的资金倍数。可用资金总额将等于计划期内每位计划参与者的目标奖金百分比和已支付的基本工资的乘积的美元总额乘以资金倍数。

个人绩效和高管奖金支付的确定

每位高管（首席执行官除外）的实际奖金支付金额将基于首席执行官对高管在计划期内的绩效的评估以及高管的奖金实现占高管奖金目标的百分比的确定。将根据高管各自组织的关键平衡记分卡衡量标准和目标，根据该高管领导其组织的有效性，对每位高管的绩效进行评估。根据经修订的1934年《证券交易法》第16条的规定，除首席执行官外，每位担任公司执行官的计划参与者的奖金实现百分比和由此产生的奖金支付将由首席执行官推荐并由薪酬和人才委员会审查和批准。首席执行官的奖金实现百分比和由此产生的奖金支付将由公司董事会决定和批准（首席执行官本人回避）。所有其他计划参与者的奖金实现百分比和最终奖金支付将由首席执行官审查和批准。

奖金计算

参与者奖金的计算公式为：

参与者在计划期间支付的基本工资

x 参与者的目标奖励百分比

x 参与者的奖励成就百分比

= 参与者的奖金支付

在任何情况下，向参与者支付的奖金都不得超过该参与者目标奖金的两倍（即参与者在计划期内支付的基本工资乘以参与者的目标奖金百分比的两倍）。

一般规定

薪酬委员会（或公司董事会的独立成员（“独立董事”）应为计划管理人。薪酬和人才委员会（或独立董事）应制定规则、条例、解释和计算，并应采取其认为适当的其他行动来管理本计划。本计划的制定不得赋予任何雇员或其他人任何继续工作的合法权利，也不得干涉公司解雇任何员工和对待他或她的权利，而不考虑这种待遇可能对他或她作为本计划参与者产生的影响。

本计划应由薪酬和人才委员会（或独立董事）自行解释、管理和执行。涉及本计划的任何法律纠纷将受加利福尼亚州法律管辖。薪酬和人才委员会（或独立董事）可随时自行决定更改、修改或终止本计划。

本计划根据KLA绩效奖金计划通过，规定了2023日历年度高管年度激励计划的条款和条件。

* 本计划中提及的营业利润率是指公司对非公认会计准则营业利润率的计算

附录 A

指定子公司名单

1.kla-Tencor（新加坡）私人有限公司

2.kla-Tencor Korea Inc.

3.Orbotech Ltd.

4.SPTS 技术有限公司

5.kla-Tencor 国际贸易（上海）有限公司