附录 23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们同意将我们2023年3月27日报告的S-8表格中的CVD设备公司的本注册声明中以提及方式纳入我们对CVD设备公司截至2022年12月31日和2021年12月31日的合并财务报表以及截至2022年12月31日和2021年12月31日的CVD设备公司截至2022年12月31日的年度的合并财务报表的审计。

/s/ Marcum llp

Marcum llp

纽约州梅尔维尔

2023年3月27日