附件5.1

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作者直接传真：516-663-6601

CVD设备公司

南科技大道355号

中央伊斯利普，纽约11722

女士们、先生们：

吾等已就本公司根据经修订的1933年证券法(“证券法”)向美国证券交易委员会(“委员会”)提交的S-3表格注册声明(“注册声明”)为CVD Equipment Corporation(“本公司”)担任法律顾问。根据《注册说明书》，本公司可根据《证券法》第415条的规定，不时延迟或持续地要约及出售：(I)本公司普通股股份，每股面值0.01美元(“普通股”)；(Ii)本公司一个或多个系列的优先股(“优先股”)；(Iii)一个或多个系列的公司债务证券，包括票据、债权证、债券及其他负债证据(“债务证券”)、(Iv)购买普通股或优先股的认股权证(“认股权证”)，及(V)由普通股、债务证券及/或以上述任何组合购买普通股及/或债务证券的认股权证组成的单位(“单位”)，及(Vi)普通股、优先股、认股权证、债务证券、及/或单位(统称为“证券”，有时个别称为“证券”)。正在注册的证券的最高公开发行价为100,000,000美元。这些证券可以单独发售，也可以作为其他证券单位的一部分，以单独的系列、金额、价格和招股说明书附录中列出的条款发售。

在您的许可下，除另有明文规定的情况外，本公司在未进行任何独立调查或核实的情况下作出本文中的所有假设，并且我们对该等假设或所依赖项目的准确性不发表任何意见。

在提出本意见时，吾等已：(I)调查有关法律问题；(Ii)审阅本公司该等协议、文书、文件及纪录、公职人员证书及其他文件的正本或经核证、确认或复制的副本；及(Iii)就本意见而言，吾等已从本公司及其他人士的高级管理人员及代表处收到吾等认为必需或适当的资料。

在所有此类调查和审查中，我们已假定所有自然人的法律行为能力、所有签名的真实性、正本和经认证的文件的真实性以及所有提交给我们的作为符合或复制副本的副本的正本或经认证的文件的符合性。吾等进一步假设，任何已发行及交付的证券及其发行将遵守适用于本公司的所有规定及限制(如有)，不论该等规定及限制是由本公司作为缔约一方或受其约束的任何协议或文书或任何对本公司具有司法管辖权的法院、政府或监管机构或其他机构施加的。

CVD设备公司

2023年3月31日

基于上述情况，并在符合本文所述的限制、限制和假设的前提下，我们认为：

1.普通股(包括组成一个单位的任何此类普通股)将在以下情况下正式授权、有效发行、全额支付和免税：(I)董事会(或其正式授权的委员会)已采取一切必要的公司行动，根据公司经修订的公司注册证书(“公司注册证书”)和适用法律批准普通股的发行，该公司行动在公司提供和出售该普通股时始终保持完全有效和有效，不作任何修改或修改；及(Ii)(A)普通股以无证书形式发行并按照DWAC透过存托信托公司的设施交付，或(B)代表普通股的证书应已妥为签立、副署、登记及妥为交付予其购买者，在每种情况下，代表普通股的证书应已妥为签立、副署、登记及正式交付予购买者，而不论是根据适用的包销、购买或类似协议或在根据任何其他证券的条款交换时，或在根据上述条款行使或转换任何其他已获正式授权、发行、支付及交付的证券时。

2.在下列情况下，每一系列优先股将得到正式授权、有效发行、全额支付和不可评估：(I)公司董事会(或其正式授权的委员会)已采取一切必要的公司行动，批准发行该系列优先股，并根据公司注册证书确定其条款和条件，以便不违反任何适用的法律、规则或法规，或导致根据对本公司具有约束力的任何协议或文书违约或违反，并遵守任何对本公司具有管辖权的法院或政府机构施加的任何适用要求或限制，在公司提供和出售该优先股的所有时间内，该公司诉讼应保持完全有效，不得修改或修改；(2)已向纽约州州务卿正式提交公司注册证书的指定证书，以确定正在发行和交付的一系列优先股的指定、优先和权利；及(Iii)(A)优先股以无证书形式发行并按照DWAC透过存托信托公司的设施交付，或(B)代表该系列优先股的证书应已妥为签立、副署、登记及妥为出售及交付予有关购买者，在每种情况下，代表该系列优先股的证书应已妥为签立、会签、登记及正式出售及交付予购买者，而不论该等证书乃根据适用的包销、购买或类似协议或在根据任何其他证券的条款交换或转换时或在根据其条款行使任何其他经正式授权、发行、支付及交付的其他证券时。

3.每一系列债务证券(包括组成一个单位的任何此类债务证券)将构成本公司的有效和具有约束力的义务，可根据其条款对本公司强制执行，条件是：(I)本公司董事会(或其正式授权的委员会)已采取一切必要的公司行动批准该等债务证券的发行，并根据发行债务证券的契约确立其条款和条件，该契约基本上采用作为登记声明附件4.1提交的契约的形式(“契约”)，并不违反任何适用的法律、规则或法规，或导致根据或违反对本公司具有约束力的任何协议或文书的违约或违约，并遵守任何对本公司具有司法管辖权的法院或政府机构施加的任何适用要求或限制，该等公司诉讼应在本公司发售和出售该系列债务证券的所有时间保持完全有效和有效，不得修订或修改；(Ii)该契约及该契约的任何必需的补充契约(每份为“补充契约”)，须已由本公司及在与发售债务证券有关的章程副刊中指名的受托人(“受托人”)妥为授权、签立及交付；。(Iii)受托人根据经修订的1939年信托契约法令，有资格根据该契约以该身分行事，并已获正式委任，并已按照证券法及其下公布的规则及规例，提交表格T-1的受托人资格陈述；。(Iv)该系列的债务证券须以注册说明书、任何适用的招股章程副刊、契约、任何适用的补充契约及公司诉讼所述的形式发行，并载有该等条款；及(V)该系列债务证券应已按照正式授权、发行、支付及交付的正式授权、发行、付款及交付的契约及任何适用的补充契约，或根据适用的包销、购买或类似协议，或在根据任何其他证券的条款交换时，或在行使任何其他证券时，按照契约及任何适用的补充契约妥为认证、签立、出售及交付。

CVD设备公司

2023年3月31日

4.每一系列认股权证(包括组成一个单位的任何认股权证)将构成本公司的有效和具约束力的义务，并可根据其条款对本公司强制执行，条件是：(I)该等认股权证已由本公司妥为授权、签立及交付；(Ii)本公司董事会(或其正式授权的委员会)应已采取一切必要的公司行动，批准发行该等认股权证，并根据公司注册证书确立其条款及条件，以避免违反任何适用的法律、规则或规例，或导致任何对本公司具约束力的协议或文书的失责或违反，以及遵守任何对本公司具有司法管辖权的法院或政府机构施加的任何适用要求或限制，而该等行动在本公司发售及出售该等认股权证的任何时间内均保持十足效力及作用，不得修订或修改；及(Iii)该等认股权证须已按照相关适用认股权证协议的规定妥为签立及认证或会签，并已按照适用的包销、购买或类似协议妥为出售及交付予该等认股权证的购买者，以支付协议代价。

上述意见仅限于适用的(I)美国联邦法律和(Ii)纽约州法律，包括但不限于在委员会宣布注册声明生效之日(“生效日期”)生效的纽约州商业公司法，对于随后修订的该等法律或任何其他法律，或该等修订或其他法律可能对本文表达的意见产生的任何影响，不发表任何意见。前述意见仅限于本文所述事项，除本文明确陈述的事项外，不含任何暗示或推断意见。上述意见是自生效日期起给出的，我们没有义务就生效日期后适用法律的任何变化或任何可能改变我们在生效日期后可能知道的此处表达的意见的事实通知您。我们的意见还受到以下例外、限制和限制：(I)适用的破产、破产、重组、暂停、欺诈性转让或与债权人权利和补救有关或影响债权人权利和补救的类似法律的影响；以及(Ii)衡平法一般原则的影响，无论是在法律诉讼中提出的还是在衡平法中提出的(包括可能无法获得具体履行或强制令救济)、重要性、合理性、诚信和公平交易的概念，以及法院可就此提起任何诉讼的酌情决定权。

上述意见假定，在交付任何此类担保时或之前：(I)登记声明应已被宣布生效，且该效力不得终止或撤销；(Ii)与此类担保有关的任何必要的招股说明书补充材料应已及时提交证监会，任何所需的证物应及时提交证监会修订《登记声明》；(Iii)契约(及任何补充契约)已由受托人正式授权、签立和交付，是受托人的有效和具有约束力的义务；(Iv)根据修订后的1939年《信托契约法》，该公司已具备正式资格；(V)在该日期之后设立的任何证券的任何条款，或该等证券的发行和交付，或公司遵守该等证券的条款，均不会违反任何适用法律，或会导致违反当时对本公司具有约束力的任何文书或协议的任何条款，或任何对本公司具有管辖权的法院或政府机构施加的任何限制；及(Vi)足够数量的普通股或优先股(视属何情况而定)将获授权并可供发行，其代价将不少于普通股或优先股(视属何情况而定)的面值。

CVD设备公司

2023年3月31日

吾等的意见仅为本公司的利益而设，未经吾等事先书面同意，任何其他人士或实体不得将本意见用作任何其他目的或被任何其他人士或实体所依赖，惟吾等同意将本意见作为注册声明的附件5.1提交，并同意在基本招股章程及各相关招股章程副刊“法律事宜”项下向吾等提交本意见。在给予这一同意时，我们不承认我们是证券法第11条所指的专家，或属于上述法案第7条所要求其同意的人的类别。