附件23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们特此同意以引用的方式将本公司于3月14日提交的MKS仪器公司S-3表格(第333-34450、333-109753和333-267046号)和S-8表格(第333-78069、333-78071、333-78073、333-31224、333-54486、333-54488、333-54490、333-90498、333-90500、333-90502、333-116385、333-116387、333-116389、333-127221、333-161211、333-195750、333-211026、333-229483和333-264817号)注册声明并入本报告。2023关于合并财务报表和财务报表明细表以及财务报告内部控制的有效性，见本表格10-K。

/s/普华永道会计师事务所
波士顿，马萨诸塞州

2023年3月14日