附件5.1

2023年2月27日

SiTime公司

帕特里克·亨利大道5451号

加利福尼亚州圣克拉拉，95054

女士们、先生们：

我们曾担任特拉华州一家公司SiTime Corporation(“公司”)的法律顾问，您就公司向美国证券交易委员会(“委员会”)提交S-8表格注册说明书(“注册说明书”)一事征求我们的意见，该说明书涵盖发行最多901,048股公司普通股(“股份”)，每股面值0.0001美元(“普通股”)，包括(I)651,048股根据本公司2019年股票激励计划(“2019年股票计划”)可发行的普通股及(Ii)250,000股根据本公司2022年股票激励计划(连同2019年股票计划，“计划”)可发行的普通股。

就本意见而言，吾等已审阅及依赖注册说明书及相关招股章程、本公司注册证书及现行有效附例、图则及吾等判断为使吾等能提出下述意见所必需或适当的其他文件、纪录、证书、备忘录及其他文书。我们假设所有签名的真实性、所有提交给我们的文件的正本的真实性、所有提交给我们的文件的复印件与原件的一致性、公职人员证书的准确性、完整性和真实性；以及除公司以外的所有人员对所有文件的适当授权、签署和交付，而授权、签署和交付是该等文件生效的先决条件。至于某些事实事项，吾等依赖本公司高级管理人员的证明，并未独立核实该等事项。

我们的意见仅针对特拉华州的《公司法总则》发表。在任何其他法律适用于本协议标的的范围内，我们不发表任何意见，也不对遵守任何联邦或州证券法律、规则或法规提供任何意见和保证。

根据上述及依据，吾等认为该等股份于根据计划、注册说明书及相关招股章程出售及发行时，将获有效发行、缴足股款及免评税(根据若干递延付款安排发行的股份除外，当该等递延付款悉数支付时，该等股份将获悉数缴足及不可评税)。

我们同意将本意见作为注册声明的证物提交。在给予此类同意时，我们并不承认我们属于1933年《证券法》(经修订)第7节或委员会在其下的规则和条例所要求同意的人的类别。

真诚地

Cooley LLP