附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根据以下条件进行认证

《美国法典》第18编第1350条，

根据以下规定通过

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于Amtech Systems，Inc.(“公司”)于本报告日期向美国证券交易委员会提交的截至2022年12月31日的10-Q表格季度报告(下称“报告”)，本人，公司首席执行官Michael Wang，依照美国法典第18编第1350条，根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条的规定，证明：

(1)
该报告完全符合1934年《证券交易法》第13(A)或15(D)节的要求；以及
(2)
该报告所载资料在各重大方面均公平地反映了本公司的财务状况及经营结果。

 

通过

 

/s/Michael Wang

 

 

Michael Wang

 

 

首席执行官

 

 

Amtech系统公司

 

 

 

日期：

 

2023年2月8日

 

上述证明是根据《美国法典》第18编第1350条提供的。它不是为了1934年修订的证券交易法第18条的目的而提交的，也不会通过引用将其纳入公司的任何文件中，无论该文件中的任何一般公司语言如何。