美国

美国证券交易委员会

华盛顿特区，20549

附表14A

(Rule 14a-101)

附表14A资料

根据第14(A)条作出的委托书

1934年《证券交易法》(修订第)

由注册人☑提交

由注册人☐以外的一方提交

选中相应的框：

☐初步代理声明

☐机密，仅供委员会使用(规则14a-6(E)(2)允许)

☑最终代理声明

☐权威附加材料

☐根据规则14a-12征集材料

支付申请费(勾选适当的方框)：

☑免费。

根据交易法规则14a-6(I)(1)和0-11，根据下表计算的☐费用。

之前与初步材料一起支付的☐费用。

如果按照交易法规则0-11(A)(2)的规定对费用的任何部分进行了抵销，请选中☐复选框并标识之前已支付抵销费的申请。通过登记声明编号或表格或附表以及提交日期识别以前提交的申请。

Amtech Systems，Inc.

南克拉克大道131号

亚利桑那州坦佩85288

关于2023年股东周年大会的通知
将于2023年3月1日举行

致我们的股东：

亚利桑那州公司Amtech Systems，Inc.2023年年度股东大会将于亚利桑那州时间2023年3月1日(星期三)上午9点在亚利桑那州雷格利维尔西部860 N Riverview，Mesa的喜来登台面酒店举行，目的如下：

上述业务事项在本通知所附的委托书中有更全面的描述。本公司目前并无知悉股东周年大会前将有其他业务。

关于提供会议代理材料的重要通知

以Form 10-K格式向股东提交的截至2022年9月30日的财政年度的委托书和年度报告(“2022年年度报告”)也可在www.proxydocs.com/asys上查阅。本网站提供的材料包括本公告、委托书和2022年年度报告。

董事会已将2023年1月13日的营业时间确定为记录日期(“记录日期”)，以确定持有本公司普通股的股东有权在股东周年大会或其任何延期或续会上通知并投票。提醒股东，只有当股东亲自或由有效代表出席股东周年大会时，他们持有的本公司普通股股份才可在股东周年大会上投票。2022年年度报告的副本，包括我们经审计的财务报表，已于2023年1月30日左右与本通知和委托书一起邮寄给所有登记在册的股东。

公司管理层诚挚邀请您出席本次年会。请注意随附的委托书，以讨论上述建议以及董事会鼓励您投票批准该等建议的原因。

坦佩，亚利桑那州

2023年1月20日

Amtech Systems，Inc.

委托书

2023年股东周年大会

目录

Amtech Systems，Inc.

南克拉克大道131号

亚利桑那州坦佩85288

委托书

亚利桑那州公司Amtech Systems，Inc.的董事会正在征集委托书，将在2023年3月1日(星期三)亚利桑那州时间上午9点举行的2023年股东年会及其任何休会或延期(“年会”或“会议”)上使用。本委托书随附会议通知副本一份。这份委托书和随附的委托书将邮寄给所有有权在2023年1月30日开始的年度会议上投票的股东。

谁有投票权？

于2023年1月13日(“记录日期”)收市时登记在册的股东，可于股东周年大会及任何续会或延期会议上投票。在记录日期，我们的普通股发行和发行了14,023,534股，面值为0.01美元(“普通股”)。有权在股东周年大会上投票的股东的完整名单，应在股东周年大会召开前至少十天的正常营业时间内，为任何与股东大会相关的目的，在我们位于亚利桑那州坦佩南克拉克大道131号的办公室公开供任何股东查阅，邮编：85288。

法定人数的构成

于有权投票的记录日期，持有普通股已发行及已发行股份的大多数投票权的持有人须亲自或委派代表出席，方可构成股东周年大会的法定人数。为确定法定人数，出席会议的股份数目包括弃权票和经纪人票。当为受益所有人持有股票的被提名人没有对特定提案投票，因为该被提名人对该特定项目没有酌情投票权，并且没有收到受益所有人的指示时，就会发生经纪人“无投票权”。

如何出席会议

如果你是登记在册的股东，这意味着你以你的名义持有你的股票，你可以参加会议。如果您以银行、经纪商或其他记录持有人(“街道名称”)的名义持有股票，您需要向您的经纪商或银行索要他们从我们那里收到的委托书的副本。您需要携带委托书参加年会，年会将于亚利桑那州时间2023年3月1日星期三上午9点在亚利桑那州里弗维尤北部860号瑞格利维尔西部的喜来登梅萨酒店举行。

如何投票

如果您的股票直接以您的名义注册，您可以投票：

通过互联网。如果您收到通知或代理材料的打印副本，请按照通知或代理卡上的说明进行操作。

通过电话。如果您收到了代理材料的打印副本，请按照代理卡上的说明进行操作。

邮寄的。如果您收到代理材料的打印副本，请在随附的预付邮资的信封中填写、签名、注明日期并邮寄您的代理卡。

亲自出席年会。如果您选择亲自在会议上投票，您必须携带政府颁发的身份证明，其中包括照片(如驾照或护照)以及所附的代理卡或其他关于您截至记录日期拥有普通股的证明。

1

如果你的股票是以街道名义持有的(由经纪商、银行或其他代名人代为持有)：

你的经纪人、银行或其他被提名者应该给你指示如何投票你的股票。您可以按照您的经纪人、银行或其他被提名人的指示，通过互联网、电话或邮件进行投票。您也可以亲自投票，如果您从您的经纪人那里获得了合法的委托书，使您有权在会议上投票您的股票，并且您将您对普通股的所有权的核实带到了会议上。

除本委托书所述事项外，吾等并不知悉将于股东周年大会上呈交的任何其他事项。然而，如果本委托书中未描述的任何其他事项在股东周年大会上恰当地陈述，委托人将根据他们自己的判断来决定如何投票表决您的股票。如果年会延期，你的普通股也可以在新的会议日期由代表投票表决，除非你在该时间之前已经撤销了你的代表。

普通股持有人的表决权是什么？

除以下有关累积董事投票权的规定外，普通股持有人每股普通股将有权享有一票投票权。

每个项目需要多少票才能获得批准

如果出席人数达到法定人数，在年会上获得多数票的六名被提名者将当选。经纪人不投票和被扣留的选票将不影响董事选举的投票结果。如果有法定人数，代表普通股并有权在年会上投票的股东所投的多数票将构成批准任命均富律师事务所为我们的独立注册公共会计师。

关于我们提名的高管薪酬的咨询投票的批准需要出席或代表出席年会并有权投票的普通股股份的多数赞成票。由于投票是咨询性质的，因此不会对董事会具有约束力。然而，薪酬委员会在考虑未来的高管薪酬安排时，将考虑投票结果。

撤销您的委托书或更改您的投票

您可以在会议之前的任何时间撤销您的委托书和/或更改您的投票。

如果您的共享直接以您的名义注册，则必须执行以下操作之一：

通过互联网或电话。按照代理卡上提供的说明，通过互联网或电话再次投票。只有最后一次互联网或电话投票将被计算在内。

邮寄的。签署新的代理卡并按上述说明提交，或向秘书发送撤销您的代理权的通知，以便在2023年2月28日或之前收到该通知。

亲自出席年会。出席会议并亲自投票。出席会议不会撤销您的委托书，除非您特别要求撤销您的委托书。

如果您的股票是通过经纪人或其他代名人持有的，并且您想要更改您的投票指示，请遵循您的经纪人提供的指示。

2

计票方式

选举检查员将被任命为年会的成员。选举检查员将确定出席人数是否达到法定人数，并将委托代表或亲自在年会上投下的选票列成表格。如阁下已交回有效的委托书或亲身出席股东周年大会，则阁下的普通股将计算在内，以确定是否有法定人数。在确定法定人数所代表的股份数目时，将包括弃权票和经纪人反对票。一般来说，当受益所有人没有就经纪人在没有受益所有人指示的情况下不允许经纪人投票的事项向其经纪人提供指示时，就会发生经纪人不投票的情况。在列出任何特定提案的投票结果时，构成经纪人非投票权的股票被视为无权就该提案投票。因此，假设获得法定人数，经纪人的不投票不会影响会议上表决的任何事项的结果。

本次委托书征集的费用

我们将支付准备和邮寄股东周年大会通知和委托书的费用，包括经纪公司、银行和其他将募集材料转发给普通股实益拥有人的费用和开支。我们将通过邮寄的方式征集代理人。我们的高级管理人员和董事也可以亲自或通过电话或传真征求代理人，而不需要额外的补偿。我们没有聘请任何外部人士协助征集委托书；不过，我们已聘请Broadbridge Financial Solutions，Inc.提供与本委托书中的建议相关的某些行政服务，包括协调向普通股受益所有人分发委托书材料、联系股东以确保他们已收到本委托书以及监督代理卡的退还。

年报

本公司于截至2022年9月30日止财政年度向股东提交的年度报告(“年度报告”)已与股东周年大会通告及委托书一并邮寄予所有有权知悉股东周年大会及于股东周年大会上投票的股东。年度报告不包含在本委托书中，也不被视为委托书征集材料。

审计委员会报告

审计委员会报告“所载资料不应被视为已向美国证券交易委员会(”美国证券交易委员会“)”提交，或受第14A或14C条或经修订的1934年证券交易法(“交易法”)第18节的责任所规限，且不得被视为已通过参考纳入根据1933年证券法(经修订的证券法)或交易法提交的任何文件。

3

建议1--选举董事

(代理卡上的第1项)

拟选举的董事人数

我们的董事会目前由7名成员组成，但在2023年年会之后将由6名成员组成。Michael Ludwig先生于2023年1月13日被任命为董事会成员，并将参加2023年年会的选举。我们的董事之一莫汉先生不会在我们的2023年年会上竞选连任。此外，Jong S.Wang先生自2022年12月31日起辞去董事会职务。每一位当选的董事成员的任期为一年，直到他或她的合格继任者正式当选并获得资格为止。如果任何董事辞职，或因其他原因无法完成其任期，我们的董事会可以选举另一位董事来接替辞职的董事的剩余任期。

需要投票

在年会上获得最高票数的六名提名者将当选。在董事选举中有累积投票。这意味着，出席年度大会的每一位普通股持有人，无论是亲自或委派代表，在董事选举中的投票总数将等于6(提名当选为董事的人数)乘以该股东在记录日期持有的普通股股份数量。由此产生的总票数可以由股东为选举任何单一的被提名人而投票，或者股东可以在任何数量的或所有被提名人之间分配该等选票。为行使累计投票权，有表决权的股东必须按照代理卡上的说明填写委托书并注明累计投票权。

董事提名名单

我们的董事会负责监督公司的整体事务。本届董事会已提名下列人士担任董事会成员，任期为下一年：

罗伯特·M·阿弗里克

罗伯特·C·戴格尔

迈克尔·甘赖特

丽莎·D·吉布斯

迈克尔·路德维希

Michael Wang

这些被提名人都已同意在本委托书中被点名，并在当选后任职。关于每一位被提名者的信息，请参见下文。

董事提名的任何人或高管都没有家族关系。每一位被提名者都是由一位非员工董事推荐的。

本公司董事会建议投票选举第一号提案中的六名被提名人。董事会委任的代表拟投票选举每一名被提名人，任期至下一次年度会议结束，除非您在委托书或投票指示卡上另有注明。在这方面，我们的董事会请求授权积累这些选票。

如任何被提名人因任何原因(我们并不预期)而不能获委任，委托书将投票“支持”董事会于股东周年大会前或在股东周年大会上选出的任何一名或多名替代被提名人，或如董事会在股东周年大会前或股东周年大会上并无选择任何替代被提名人，则可动议将董事会目前的成员数目减至可供提名的人数。有关被提名人及其所持股份的资料已由他们向本公司提供。

4

有关董事及行政人员的资料

下表列出了截至本文件提交之日，被提名担任本公司董事的高管和个人的信息。

Michael Wang于2020年1月28日晋升为首席执行官，并于2020年5月5日被任命为董事会成员。王先生于2004年4月加入本公司，担任董事资讯科技及风险管理部主管。2016年5月，王先生被提升为首席风险官和首席信息官。2018年1月4日晋升为运营副总裁，2019年3月6日晋升为总裁副兼首席运营官。他在Amtech的职责包括参与公司战略和运营、合规、并购尽职调查和收购后活动，最终完成对Amtech美国业务的运营监督。在加入Amtech之前，王先生曾在几家科技公司担任过各种信息技术管理职务。Michael Wang是Amtech创始人和前董事长Jong S.Wang的儿子。

丽莎·D·吉布斯于2016年9月加入Amtech担任公司总监，并于2018年1月4日晋升为副总裁兼首席会计官。吉布斯女士于2019年3月6日晋升为首席财务官，并于2020年5月5日被任命为董事会成员。在加入Amtech之前，Gibbs女士是一家私人咨询公司的合伙人，在那里她为客户提供各种会计和财务需求的帮助。2002年至2014年，吉布斯女士担任财富500强上市信息技术公司Insight Enterprise，Inc.内部审计副主任总裁。Gibbs女士在Amtech的职责包括监督财务战略、业务规划、财务、审计运营、投资者关系和业务转型工作，这使她能够向董事会提供宝贵的建议。她毕业于亚利桑那大学，获得会计学工商管理学士学位。吉布斯在Arthur Andersen LLP开始了她的公共会计生涯。她是亚利桑那州的注册公共会计师。

罗伯特·C·戴格尔于2021年8月12日被任命为董事会成员，并于2022年5月11日被任命为董事会主席。Daigle先生是罗杰斯公司(“罗杰斯”)的高级副总裁和首席技术官，罗杰斯公司是工程材料领域的全球领先上市公司，工程材料包括先进的电子和弹性材料，应用于电动汽车/混合动力汽车、汽车安全和雷达系统、移动设备、可再生能源、无线基础设施、节能电机驱动器和工业设备。戴格尔在罗杰斯公司任职30年，担任过多个高级管理职务。在罗杰斯任职期间，戴格尔先生创建并领导了高频电路材料业务和电力电子解决方案业务。Daigle先生拥有康涅狄格大学化学工程和材料工程学士学位和伦斯勒理工学院工商管理硕士学位。戴格尔先生是我们的审计、薪酬、提名和治理委员会的成员。

5

罗伯特·M·埃弗里克自2016年1月以来一直是董事用户。Averick先生拥有20多年的小盘股、价值驱动型公共股票投资组合经理经验。他之前的工作经验包括在结构性金融、战略规划和咨询领域担任越来越多的责任职位。Averick先生拥有弗吉尼亚大学经济学学士学位和宾夕法尼亚大学沃顿商学院金融工商管理硕士学位。自2012年以来，阿弗里克一直担任Kokino LLC的投资组合经理。埃弗里克和他的雇主为其提供投资管理服务的某些实体目前持有Amtech超过18%的流通股。他曾在2005至2006年间担任我们的董事会成员。Averick先生还在湾岛制造公司的董事会任职，该公司是一家制造复杂钢结构、模块和船舶的上市公司，也是该公司薪酬委员会、公司治理和提名委员会的成员。此外，埃弗里克目前担任场外电子公告板公司PhoneX Holdings，Inc.的董事长，在2018年Key Technology，Inc.出售之前，他曾担任Key Technology，Inc.的董事董事。Averick先生是我们薪酬委员会的主席，也是我们的审计、提名和治理委员会的成员。Averick先生在财务和战略规划方面的经验使他能够向董事会和他所服务的委员会提供宝贵的建议。

迈克尔·加恩赖特自2007年2月以来一直担任董事的董事，并于2020年5月被任命为董事的首席独立董事。他是我们审计委员会的主席，也是我们薪酬、提名和治理委员会的成员。加恩赖特先生是我们在审计委员会中指定的财务专家。过去两年，加恩赖特一直担任加州蒸馏酒装瓶公司LeVecke Corporation的临时首席财务长。2015年12月，他从三叶草食品公司财务副总裁兼财务主管总裁的职位上退休。三叶草食品公司是一家私营食品及食品相关产品的制造商和分销商。从2010年1月到2012年8月，加恩赖特在凤凰城的诉讼和金融咨询公司菲尼克斯金融取证公司担任董事的执行董事。从2006年8月到2010年1月，他是旭日餐饮集团有限公司的管理成员，从2008年12月到2009年12月，他是新时代餐饮有限公司的总裁，这两家公司都是私人持股的餐饮运营公司。2002年至2006年，加恩赖特先生担任上市餐厅运营公司Main Street Restaurant Group的首席财务官，1976年至2002年，他是Arthur Andersen LLP的高级审计合伙人。加恩赖特先生是上市的非致命性防护设备制造商Axon Enterprise，Inc.(董事长)、全国上市的卡车运输公司Knight-Swift Transportation Holdings Inc.和Banner Health的董事会成员, 多个州的医疗保健提供系统。他毕业于加州州立大学长滩分校，获得会计和工商管理学士学位。加恩莱特先生是亚利桑那州的注册公共会计师和注册欺诈审查员。加恩赖特先生的财务背景和专业知识使他能够向董事会提供宝贵的建议。

迈克尔·M·路德维希自2023年1月以来一直是董事用户。2018年9月至2021年5月，担任罗杰斯公司(简称罗杰斯)首席财务官兼财务主管高级副总裁。罗杰斯是工程材料领域公开上市的全球领先者，包括用于电动汽车/混合动力汽车、汽车安全和雷达系统、移动设备、可再生能源、无线基础设施、高能效电机驱动器和工业设备应用的先进电子和弹性材料。2011年5月至2018年3月，路德维希先生担任FormFactor，Inc.的高级副总裁兼首席财务官，该公司是一家上市的全球领先企业，设计和制造出售给半导体和科学机构的先进探针卡、分析探头、探针站、计量系统、热系统和低温系统。在2011年5月之前，路德维希先生曾在FormFactor、Elo TouchSystems，Inc.和Beckman Coulter担任过各种高级财务管理职位。路德维希在Arthur Young开始了他的公共会计生涯。他毕业于加州州立理工大学波莫纳分校，获得工商管理和会计学士学位。

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董事会多样性

2021年8月，美国证券交易委员会批准了纳斯达克的董事会多元化规则，该规则要求所有在纳斯达克美国交易所上市的公司公开披露董事会层面的多元化统计数据，并拥有或解释为什么没有至少两名多元化董事。下面的董事会多样性矩阵以规则要求的格式提供了我们董事会的多样性统计数据。

有关董事会和委员会会议的信息

有关本公司董事会及由本公司董事会维持的三个委员会的资料载述如下。根据纳斯达克和美国证券交易委员会规则，于2022财年，我们的大部分董事不是本公司的雇员，并且是纳斯达克上市规则和美国证券交易委员会标准所指的“独立”董事。重要的是，审计、薪酬、提名和治理委员会的所有成员都是独立的。目前，我们的独立董事是罗伯特·M·阿弗里克、罗伯特·C·戴格尔、迈克尔·甘赖特、迈克尔·M·路德维希和苏凯什·莫汉。此外，审计委员会的每名成员都精通财务，其中一名审计委员会成员Michael Garnreiter拥有纳斯达克规则所要求的财务管理专业知识，并符合美国证券交易委员会对“审计委员会财务专家”的定义。

我们的董事会在2022财年举行了八(8)次会议。于2022年担任董事的现任董事出席的董事会会议及相关委员会会议均不少于年内会议总数的75%。根据本公司经修订及重订的附例，本公司董事会有权增加或减少本公司董事会的人数及填补空缺，而获选填补该等空缺的董事将任职至本公司下一届年会或其继任者选出及符合资格为止。对于董事会成员出席我们的年会，我们没有正式的政策。我们所有的董事会成员，不包括路德维希先生，他当时不是董事会成员，参加了2022年的年度会议。

在2022年，我们重组了董事会委员会，其中包括取消技术和战略委员会，因为预计所有董事会成员都将参与这些讨论，并将薪酬和股票期权委员会更名为薪酬委员会。审计委员会、薪酬委员会以及提名和治理委员会是我们董事会的常设委员会。截至2023年1月13日，这些委员会的成员如下：

审计--Michael Garnreiter(主席)、Robert M.Averick、Robert C.Daigle和Sukesh Mohan

薪酬--罗伯特·M·阿弗里克(董事长)、罗伯特·C·戴格尔、迈克尔·甘赖特和苏凯什·莫汉

提名和治理--Sukesh Mohan(主席)、Robert M.Averick、Robert C.Daigle和Michael Garnreiter

7

审计委员会在2022财年举行了五(5)次会议。审计委员会协助董事会履行其对独立核数师和财务管理成员以及我们的财务事务的监督责任，包括财务报表和审计、内部会计控制和制度的充分性和有效性、遵守法律和监管要求以及独立注册会计师事务所的保留和终止。审计委员会有一份书面章程，于2022年更新，其副本可在我们的网站www.amtechsystems.com上找到。

审计委员会由非本公司或其附属公司的高级管理人员或雇员的外部董事组成。本公司董事会认为，根据纳斯达克上市规则及美国证券交易委员会标准对“独立”的定义，该等董事独立于管理层，并无任何会干扰彼等作为本委员会成员行使独立判断的任何关系。此外，审计委员会的每名成员都精通财务，其中一名审计委员会成员Michael Garnreiter拥有纳斯达克规则所要求的财务管理专业知识，并符合美国证券交易委员会对“审计委员会财务专家”的定义。

薪酬委员会在2022财年举行了一(1)次会议。薪酬委员会就官员薪酬、福利方案和退休计划提出建议。薪酬委员会的每一位成员都是《董事上市规则》和《美国证券交易委员会》标准中所界定的一名“独立的美国证券交易委员会”。薪酬委员会有一份书面章程，该章程于2022年更新，其副本可在我们的网站www.amtechsystems.com上找到。

提名和治理委员会在2022财政年度举行了两(2)次会议。提名和治理委员会确定和批准有资格担任董事会成员的个人，并评估董事会的表现。在评估一名潜在的被提名人时，提名和治理委员会会考虑几个因素，包括个人的诚信、商业技能、经验和判断力。提名与治理委员会对董事被提名人的评估也考虑了潜在董事会成员背景的多样性。提名和治理委员会还审查潜在的被提名人是否符合我们的独立性标准以及法律、法规或证券交易所规则规定的任何其他董事或委员会成员要求。提名与治理委员会将考虑但不一定要批准我们的股东提出的董事提名，前提是我们在不迟于股东提案必须在该年度会议之前提交供审议的日期之前收到书面推荐，并且所有其他适用的要求都已得到满足。提名和治理委员会还向董事会制定和建议公司治理准则，并提供道德行为方面的监督。提名和治理委员会的每一位成员都是《董事上市规则》和《美国证券交易委员会》标准中所界定的一名“独立的美国证券交易委员会”。提名和治理委员会有一份书面章程，该章程于2022年更新，其副本可在我们的网站www.amtechsystems.com上查阅。

董事会领导结构

Robert C.Daigle先生目前担任本公司董事会主席(“主席”)。我们的公司治理准则(在下文中讨论)规定，最好的做法是将董事长和首席执行官的职位分别保留为不同的角色。在未分开该等角色的情况下，董事会将任命一名首席董事，其职责由董事会决定。戴格尔先生被任命为董事长后，董事会决定取消由公司现任董事会成员迈克尔·加恩赖特先生担任的董事董事会主要独立职位。

董事会2022年治理项目和公司治理特征

在2022年期间，我们的董事会开展了几个治理项目，包括：

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在2022年期间，我们的董事会通过了公司治理准则，这些准则反映了董事会对健全的公司治理实践的坚定承诺，并鼓励董事会和管理层制定有效的政策和决策，以期为公司股东提高长期价值。我们的公司治理准则的副本可在我们的网站www.amtechsystems.com上找到。2022年项目亮点如下：

退休政策-我们的公司治理指引规定，董事不得在其年满75岁期间或之后竞选连任。如果董事会认为该董事将继续对董事会的工作作出重大贡献，董事会有权要求该董事继续留在董事会。

反套期保值、反卖空和反质押政策-我们的董事会认为，任何董事、高管或员工不宜进行公司证券的投机性交易，以及允许持有人在没有所有权的全部风险和回报的情况下拥有公司证券，但可能将持有人的利益与其他股东的利益分离的交易。因此，我们的公司治理准则禁止董事、高级管理人员或员工购买或出售基于公司证券的看跌、看涨、期权或其他衍生证券。这些准则还禁止对冲或货币化交易，如远期销售合同，在这些交易中，持有者继续拥有标的证券，而不承担所有权的所有风险或回报。根据我们的内幕交易政策条款，我们的董事和高管还被禁止从事卖空我们的普通股、以保证金方式购买证券，或者除非事先得到我们首席财务官的书面同意，否则不得将证券质押作为贷款或其他安排的抵押品。

追回政策-我们的追回政策规定，在公司被要求编制会计重述的前三年期间，追回授予公司任何现任或前任高级职员的激励性薪酬(根据1934年《证券交易法》修订后的第16a-1(F)条规则定义)，原因是：(A)重大违反证券法下的任何财务报告要求，而任何实际授予或支付给高级职员的绩效薪酬，如果根据该等重述结果计算，将会是较低的金额，或(B)该高级职员从事违反法律或本公司《道德及商业操守守则》规定的不当行为，而该等不当行为对本公司造成直接及重大的财务或声誉不利影响。

适用于独立董事的股权指引-董事会认为，股权使其董事的利益与股东的利益保持一致，促进健全的公司治理，并表明对公司的承诺。因此，董事会通过了股权指导方针，要求独立董事会成员持有公司普通股，总价值相当于这些董事收到的年费的四倍(非雇员董事为160,000美元，董事长为300,000美元)。那些目前不符合这一所有权门槛的独立董事必须在本准则通过后五年内达到这一门槛。

董事会在风险监管中的作用

我们的董事会积极参与对可能影响公司的风险的监督，这种监督的关键方面是通过董事会的委员会进行的。审计委员会专注于财务风险，主要是我们的会计和财务报告过程中可能出现的风险，并监督与合规相关的法律和监管风险。提名和治理委员会的重点是管理与公司治理事项有关的风险，包括董事会组织、成员和结构；管理发展；以及适当的批准和监督机制。薪酬委员会专注于管理我们的薪酬政策和计划产生的风险，特别是我们的高管薪酬计划和政策。

虽然我们董事会的委员会专注于上述具体的风险领域，但董事会全体成员仍有责任对风险进行全面监督。委员会主席应定期向董事会全体成员报告各委员会专业领域内的风险考量。执行管理团队定期向董事会或适当的委员会提交重大风险领域的报告，包括运营、财务、法律、监管和战略风险。此外，我们每个部门和子公司的一般管理和运营领导与董事会全体成员一起审查他们的个人评估

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以及他们管理这些风险的方法。审计委员会依靠这些报告及其与这些报告有关的讨论，使其能够了解我们识别、管理和减轻风险的战略。这一结构使董事会及其委员会能够协调其风险监督作用。如上所述，董事会对风险监督的方法不会直接影响我们董事会的领导结构。

董事薪酬

下表显示了2022财年以现金形式向所有董事赚取和支付的所有费用的总美元价值，以及2022财年向董事授予股票期权奖励的公允价值。

____________________

在2022财年，非雇员董事每年获得1.8万美元的董事会预聘费，但董事长戴格尔除外，他按比例获得2.9万美元的董事会预聘费(根据他的任命日期)。审计委员会、薪酬委员会、提名委员会和治理委员会主席分别获得15 000美元、6 000美元和6 000美元的聘用费。从2023年开始，非雇员独立董事将获得以下年度聘用金：

在2021年和2022年上半年，非雇员独立董事按季度支付薪酬，而不是按每次会议支付。季度费用定为3437.50美元。2022年年中，我们为非雇员董事会成员设定了新的年度预聘费，按季度支付40,000美元。上表中的2023年董事会聘用人将继续按季度按比例支付薪酬。我们向所有董事报销出席董事会和委员会会议的合理费用。

除上述所列现金付款外，根据本公司惯例，每名非雇员董事于首次获选或获委任为董事会成员时，将获授购股权以购买6,000股普通股或董事会厘定的其他股份数目，以及于每次于股东周年大会上或董事会厘定的其他时间再选入董事会时，购入6,000股普通股或董事会厘定的其他股份数目。期权的行权价格等于我们普通股在授予之日的收盘价。每项购股权的年期为十年，并可于授权日的一年周年日或董事会决定的其他日期行使。倘若董事以外人士伤残(定义见2022年股权计划)或身故，所有购股权将于该人士不再为董事之日起12个月内或董事会决定之其他日期内仍可行使，但仅限于该等购股权可于董事不再为董事之日行使。如果董事因死亡或残疾以外的原因(如本计划所定义)而不再是董事，

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所有购股权在该人士不再是董事之日起90天内或董事会可能厘定的其他日期内仍可行使，惟有关购股权仅可于董事不再为董事之日行使。

自2023年起，本公司主席及其他非雇员董事在本公司股东周年大会上或董事会可能决定的其他时间每次获选为董事会成员时，将分别获得75,000美元及40,000美元的限制性股票单位(“RSU”)。这些RSU将在授予之日的一年纪念日授予。

高管薪酬

薪酬理念

我们的薪酬委员会负责评估我们高管的薪酬，并确保他们以与我们的薪酬战略和资源、竞争做法以及适当监管机构的要求一致的方式有效地获得薪酬。

我们的薪酬委员会制定了我们对每位高管的一般薪酬政策和具体薪酬，并管理我们的股票激励计划。此外，我们的薪酬委员会负责制定、管理和解释我们指定的高管和其他关键员工的薪酬计划。我们的薪酬委员会可以在必要时将其部分或全部责任委托给一个或多个小组委员会，以遵守任何法律或法规要求，或我们的薪酬委员会认为适当的其他方面。我们的薪酬委员会有权聘请顾问和其他顾问协助履行其职责，并有权批准这些顾问和顾问的费用和其他保留条款。

我们的薪酬理念有以下基本目标：通过在股东价值增加时奖励高管来协调我们高管和股东的利益，并激励我们的高管管理我们的业务，以实现我们的短期和长期公司目标和业务目标，并为实现这些目标而奖励他们。我们使用基本工资和现金激励奖金形式的短期薪酬和股权激励薪酬形式的长期薪酬的组合，以提供旨在鼓励我们的高管实现这些目标的总薪酬结构。我们的业绩，包括但不限于股本回报率、投资资本回报率、收益、收入增长、现金流和持续改进举措，是我们评估和薪酬水平的重要组成部分。

2019年，薪酬委员会将现金激励奖金计划中使用的指标改为投资资本回报率(ROIC)指标。ROIC指标用于激励高管进行盈利能力和资产负债表管理。奖金计划旨在确保在获得奖金之前获得一定水平的股东回报。股权激励计划旨在包括明确的目标和目的，实现这些目标可能会导致向高管发放股票期权或限制性股票单位。

2022年基本工资和福利

2021年11月16日，Michael Wang先生(“Wang先生”)和Gibbs女士分别获得12,000份和10,000份期权。这些奖项从2021年11月16日授予日的第一个至第三个周年纪念日开始，分成等额的部分。

2022年的补偿计划没有额外的变化。

2022年奖励计划和酌情发放的奖金

2022年，根据2022年激励奖金计划获得激励奖金。薪酬委员会设定了10%的ROIC目标，该公司在2022财年实现了23.4%的实际ROIC。这一业绩产生了总计约120万美元的激励资金。奖励池的分配由薪酬委员会酌情决定。薪酬委员会根据管理层的建议，核准向王先生和吉布斯女士分别支付326 777美元和231 456美元的奖励款项。此外，薪酬委员会核准，每个被任命的执行干事的奖金的60%

11

将以现金支付，其余40%将以根据Amtech Systems，Inc.2022股权激励计划授予的完全归属股票结算。奖励的股票数量是根据薪酬委员会批准奖励付款之日公司普通股的收盘价计算的。

2023年补偿计划

2022年11月28日，王先生和吉布斯女士分别获得了12,000份和10,000份期权。这些奖项从2022年11月28日授予日的第一个至第三个周年纪念日开始分成等额的部分。

2023年的补偿计划没有额外的变化。

薪酬汇总表

下表列出了在截至2022年9月30日和2021年9月30日的财年中，我们指定的高管获得、赚取或支付的所有薪酬。

____________________

除了上述薪酬外，我们指定的高管还会报销合理的自付业务费用，并获得通常适用于我们所有员工的惯常福利，包括报销手机费用、持续专业教育课程的费用和相关福利。

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财政年度末未偿还的股权奖励

下表列出了截至2022年9月30日我们任命的执行干事授予基于计划的期权奖励的信息：

期权行权和既得股票

下表列出了我们任命的高管在截至2022年9月30日的财年中行使基于计划的期权奖励的信息：

雇用及更改管制安排

与首席执行官和首席财务官签订的控制和服务协议的变更

我们分别于2018年5月18日和2018年5月16日与我们的总裁兼首席执行官Michael Wang和我们的副总裁兼首席财务官Lisa D.Gibbs签订了控制权变更和服务协议。以下是这些协议的条款和条件的摘要。

术语

这些协议的初始期限为三年。此后，除非本公司或雇员在每一一年期限结束前不少于120天发出终止协议的书面通知，或除非经本公司和雇员双方书面同意提前终止，否则协议终止期限将持续一年。

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遣散费

倘若吾等终止聘用Michael Wang先生或Gibbs女士，但并非因其身故、伤残、控制权变更或其他原因，或该雇员因正当理由(该等条款在协议中有所界定)而终止雇用，则该雇员有权领取至终止日期为止的薪金，另加相等于雇员于终止及全数归属其持有的所有已发行股票及限制性股票之日生效的六个月基本薪金的金额(见上表“财政年终之杰出股权奖励”)。如果任何一名雇员自愿终止雇佣关系而非正当理由，如果我们有理由终止该雇员的雇佣关系，或该雇员的雇佣关系因其死亡或残疾而被终止，则该雇员将有权领取工资和累积假期，直至终止雇用之日为止。

控制权的变化

如果该员工在我们公司的控制权变更期间(该术语在协议中定义)期间或在“控制权变更”(该术语在协议中定义)发生后一年内，或(Ii)在本公司控制权变更发生后一年内，由于任何其他原因而终止雇佣关系，或(Ii)在本公司控制权变更发生后的一年内，员工有权在其雇佣终止之日起30天内获得报酬(但前提是，如该30天期间开始于某一历年，并于另一历年结束，雇员将无权指定(I)一笔相等于雇员于终止雇佣当日生效的六个月基本薪金的款额(见上表“财政年度年终杰出股权奖励”)，以代替以其他方式支付的遣散费(见上表)。

与风险管理相关的薪酬政策和做法

薪酬委员会认为，我们的薪酬政策和做法不会产生合理可能对公司产生重大不利影响的风险。薪酬委员会已确定，我们的高管薪酬计划不鼓励因以下因素而承担不必要或过度的风险：

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道德守则

根据提名和治理委员会的建议，董事会通过了一项面向所有员工的道德守则。本道德准则的副本可在我们的网站www.amtechsystems.com上查看，或通过向我们的公司秘书提出书面请求免费获取。我们打算在上述公司网站上披露对我们的道德准则的任何修订。

2022年与关联人的交易

于2022财年，吾等并无与我们所知拥有或实益拥有超过5%普通股的任何董事、董事代名人、高管、证券持有人或上述任何人士的直系亲属进行任何涉及金额超过120,000美元的交易。

董事会的书面政策是由其提名及管治委员会及审核委员会审核每项关连人士交易(定义见下文)，并决定是否批准或批准该交易。任何拥有任何利益(实际或察觉的)的董事会成员不会参与董事的考虑。

就本保单而言，“关连人士交易”指吾等参与的任何交易、安排或关系，而该关连人士(定义见下文)曾拥有、拥有或将会拥有直接或间接的重大利益，而在任何历年所涉及的总金额预计超过120,000元。“相关人士”包括(A)任何现在或过去(在上一个财政年度的任何时候)是或曾经是董事官员、董事或被提名人的人；(B)任何拥有超过5%有投票权证券的实益拥有人的人士或团体；(C)本句(A)或(B)项所述人士的任何直系亲属；或(D)任何上述人士受雇、是合伙人或拥有超过5%实益拥有权权益的实体。

在决定是否批准或批准关联人交易时，董事会或委员会将考虑多种因素，包括(A)关联人在交易中的权益程度；(B)是否有其他来源的可比产品或服务；(C)条款是否与与非关联人的类似交易中普遍提供的条款具有竞争力；(D)对我们的好处；以及(E)交易的总价值。

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审计委员会报告

根据本公司董事会于2022年5月10日通过的书面章程(可于本公司网站www.amtechsystems.com下载)，审计委员会负责与管理层审阅及讨论经审计的财务报表，与本公司的核数师讨论与核数师对本公司会计实务质量的判断有关的资料，向本公司董事会建议本公司将经审计的财务报表纳入其10-K表年报，并监督对美国证券交易委员会有关披露核数师服务及活动要求的遵守情况。此外，审计委员会直接负责独立注册会计师事务所的任命、薪酬、保留和监督。

董事会每年根据纳斯达克上市标准和美国证券交易委员会对审计委员会成员独立性的定义来审查审计委员会成员的独立性。审计委员会已确定审计委员会的每个成员都符合这些定义和标准。此外，审计委员会的每名成员都精通财务，其中一名审计委员会成员Michael Garnreiter拥有纳斯达克规则所要求的财务管理专业知识，并符合美国证券交易委员会对“审计委员会财务专家”的定义。

管理层负责公司财务报表、会计和财务报告原则、内部控制和程序的编制、列报和完整性，以确保符合会计准则和适用的法律法规。本公司的独立审计师负责对合并财务报表进行独立审计，并就这些财务报表是否符合美国上市公司会计监督委员会的标准发表意见。审计委员会在履行其监督职能时，必须依赖管理层和独立审计师的工作和保证，以及他们提供的信息。

审计委员会在公布公司季度收益新闻稿以及提交公司10-Q季度报告和10-K年度报告之前，与外部审计师和管理层会面，审查公司的财务业绩。此外，管理层全年定期向审计委员会提供公司遵守2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第404条要求的最新情况。委员会还监测外聘审计员的活动和业绩，包括审计范围、审计费用、审计员独立性和非审计服务的业绩。所有由本公司独立注册会计师事务所提供的服务均须经审计委员会预先批准。

审计委员会定期与没有管理层出席的独立会计师开会，也在没有其他人出席的情况下在执行会议上开会。审计委员会审阅了本公司截至2022年9月30日的财政年度的综合财务报表，并已由其独立审计师均富律师事务所(“均富”)审计，并与管理层讨论了这些财务报表。此外，审计委员会还与均富会计师事务所讨论了上市公司会计监督委员会通过的第1301号审计准则(与审计委员会的沟通)所要求讨论的事项。此外，审计委员会已收到均富上市公司会计监督委员会关于均富与审计委员会就独立性进行沟通的适用要求的书面披露和均富的信函，并已与均富就其独立性进行了讨论。

基于上述审查和讨论，审计委员会建议董事会将截至2022年9月30日的会计年度经审计的财务报表纳入公司提交给美国证券交易委员会的10-K表格年度报告。

16

前置审批政策

审计委员会的章程包括一项事前审批政策(下称“政策”)，对我们的独立核数师提供的所有审计和非审计服务进行审批，以确保该等服务的执行不会损害核数师的独立性。

根据该政策，审计委员会将每年审查和预先批准服务类型，并将对独立审计师可能在下一年提供的此类服务的费用设定上限。该政策具体描述了年度审计服务和费用、与审计相关的其他服务、准备纳税申报表和与税务相关的合规服务以及所有其他经审计委员会一般预先批准的服务。任何一般预批的期限为自预批之日起十二(12)个月，除非审计委员会特别规定不同的期限。

任何由独立核数师提供的服务，如未根据政策获得一般预先批准，须在大部分合约开始前提交审计委员会审批。任何超过预先核准的费用水平的拟议服务也必须提交审计委员会进行具体核准。在截至2022年9月30日和2021年9月30日的财政年度，我们的独立审计师提供的所有服务均经审计委员会根据政策预先批准。

审计委员会将根据后来的决定，不时修订一般预先核准的服务清单。审计委员会不会将其预先批准独立审计师提供的服务的责任下放给管理层。

披露审计和非审计费用

下表列出了我们的独立审计师均富律师事务所(“均富”)和我们的前独立审计师Mayer Hoffman McCann P.C.(“MHM”)在截至2022年9月30日和2021年9月30日的财政年度内为审计我们的年度财务报表和审查我们的季度财务报表而向我们收取的费用，以及在这些会计年度内我们的审计师为以下方面收取的费用：(I)与审计或审查财务报表的表现合理相关且未报告为审计费用的服务，(Ii)与税务合规有关的服务，税务咨询和税务筹划，以及(Iii)提供服务的所有其他费用。

几乎所有在MHM股东控制下工作的MHM人员都是CBIZ公司全资子公司的员工，CBIZ公司以另一种实践结构向MHM提供人员和各种服务。

____________________

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第2号提案--核准批准

独立注册会计师

(代理卡上的第2项)

审计委员会已选择独立注册会计师事务所均富会计师事务所(“均富会计师事务所”)审计我们截至2023年9月30日的财政年度的财务报表，并正在寻求股东批准这一选择。无论遴选是否获得批准，审计委员会都负责对审计员的遴选和持续监督，并有权在其认为合适的情况下取代均富担任2023财年的审计员。股东周年大会后的任何该等变动将不会提交股东批准。

董事会预计均富的一名或多名代表将出席年会。任何这类代表都将有机会发言，如果他们愿意的话，并将有机会回答适当的问题。

2021年11月独立审计师的变动

MHM之前受聘审计我们截至2021年9月30日的年度综合财务报表，并于2021年11月17日被解聘为我们的独立注册会计师事务所。解雇MHM的决定是确定该公司截至2022年9月30日的财政年度的独立注册公共会计师事务所的竞争性投标过程的一部分。

MHM于本公司截至2021年及2020年9月30日及截至9月30日止年度的综合财务报表的审计报告并无任何不利意见或免责声明，亦无对不确定性、审计范围或会计原则有任何保留或修改。在截至2021年9月30日及2020年9月30日止的最近两个财政年度内，本公司并无(1)在会计原则或实务、财务报表披露或审计范围或程序等事项上与MHM有任何分歧，而此等分歧如未能得到令MHM满意的解决，本会导致MHM在其报告中参考该等分歧的主题；及(2)S-K规则第304(A)(1)(V)项(A)至(D)段所列类型的事件。

在公司截至2021年9月30日和2020年9月30日的最近两个会计年度内，公司或代表公司行事的任何人均未就以下两方面与均富咨询：(I)对已完成或拟进行的特定交易的会计原则应用；或可能在公司财务报表上提出的审计意见的类型，且均未向公司提供书面报告或口头建议，均不是均富认为是公司就会计、审计或财务报告问题作出决定时考虑的重要因素；或(Ii)属于分歧(如S-K条例第304项(A)(1)(Iv)段及其相关指示所界定)或须报告事件(如S-K条例第304项(A)(1)(V)段所述)的任何事项。

需要投票

出席股东周年大会或由受委代表出席并有权就建议投票的多数股份持有人须投赞成票，方可批准将均富律师事务所选为本公司截至2023年9月30日的财政年度的独立注册会计师事务所。然而，即使选择获得批准，如果审计委员会确定这样的变化将符合本公司和我们股东的最佳利益，则审计委员会可在年内任何时候酌情选择不同的独立注册会计师事务所。

董事会建议投票批准均富律师事务所作为我们截至2023年9月30日的财政年度的独立注册公共会计师事务所。

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提案3--就一项咨询(不具约束力)决议进行表决

批准指定的高管薪酬

(代理卡上的第3项)

多德-弗兰克法案要求我们的股东有机会就我们任命的高管的薪酬问题进行不具约束力的咨询投票。这项建议通常被称为“薪酬话语权”建议，让我们的股东有机会就我们指定的高管的薪酬发表他们的意见。

关于高管薪酬的咨询投票不是对我们一般的、未具名的高管薪酬政策、我们董事会的薪酬或我们与风险管理有关的薪酬政策的投票。

我们的薪酬委员会制定了我们对每位高管的一般薪酬政策和具体薪酬，并管理我们的股权激励薪酬计划。我们的薪酬委员会负责制定、管理和解释高管和其他关键员工的薪酬计划。

本委托书敦促股东阅读本委托书的高管薪酬部分和本委托书中有关指定高管薪酬的表格披露(连同随附的叙述性披露)，其中讨论了我们的薪酬政策和程序如何实施我们的薪酬理念。薪酬委员会和董事会相信，这些政策和程序在执行我们的薪酬理念和实现其目标方面是有效的。

本建议3要求的投票是咨询意见，因此对本公司、我们的董事会或我们的薪酬委员会没有约束力，其结果也不需要本公司、我们的董事会或我们的薪酬委员会采取任何行动。此外，投票结果不会被解释为推翻本公司或董事会的任何决定。

此外，由于这项不具约束力的咨询决议主要涉及我们被点名的执行干事的薪酬，这些薪酬已经支付或合同承诺，我们通常没有机会重新审查这些决定。然而，我们的董事会，包括我们的薪酬委员会，重视我们股东的意见，如果本委托书中披露的高管薪酬有任何重大投票反对，我们将考虑我们股东的担忧，并评估采取什么行动(如果有的话)可能是解决这些担忧的适当措施。

审计委员会认为，我们提名的执行干事的薪酬是适当的，并建议投票赞成以下咨询(不具约束力)决议：

决议：股东根据美国证券交易委员会薪酬披露规则(包括薪酬理念、薪酬表格和任何相关材料)披露的、在咨询(非约束性)基础上批准本公司被点名高管的薪酬。

董事会建议您表明您对上述决议中所概述的我们被任命的高管的薪酬政策和程序的支持。

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某些实益所有人和管理层的担保所有权

下表列出了有关截至2023年1月13日我们普通股的实益所有权的某些信息，包括(I)每一位董事、董事被提名人和被提名的安迈高管，以及(Ii)作为一个集团的安迈科技的所有高管、董事和董事被提名高管。下表所列信息是根据《交易法》第13d-3条规则确定的，并以下列人员提供的信息为基础。除另有说明外，每名上市股东对指明为实益拥有的股份拥有独家投票权及投资权。

____________________

*低于1%。

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下表列出了有关我们普通股实益所有权的某些信息，这些信息基于公司截至2023年1月13日收到的信息，这些信息是由我们根据此类备案文件所披露的、我们所知的持有我们普通股5%以上的每个人(上表披露的董事或高管除外)所获得的。

____________________

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根据股权补偿计划获授权发行的证券

下表列出了截至2022年9月30日的某些信息，涉及授予我们所有股权补偿计划参与者的未偿还普通股购买选择权和权利，以及根据此类股权补偿计划剩余可供发行的普通股数量。

____________________

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其他事项

年报

随函附上我们截至2022年9月30日的财政年度报告。

股东在下一届年会上提出行动建议的截止日期

在截至2023年9月30日的财政年度，股东如希望提名人选进入本公司董事会或提出其他事项于本公司股东周年大会上审议，必须在不早于2023年11月7日，亦不迟于12月7日，就董事提名或股东建议，以及本公司经修订及重新修订的附例中指定的资料，向本公司发出事先通知。建议股东查看我们修订和重新修订的章程，其中包含对董事提名和股东提案提前通知的要求。董事提名和股东提案的通知必须邮寄给我们的公司秘书，地址为亚利桑那州坦佩南克拉克大道131号，邮编：85288。本公司经修订及重订的附例中有关预先通知股东建议的规定，并不适用于根据1934年《证券交易法》(下称《交易法》)规则14a-8适当提交的建议，因为该等股东建议受规则14a-8所管限。对于任何不符合我们修订和重新修订的章程以及其他适用要求的董事提名或股东提议，我们保留拒绝、排除违规或采取其他适当行动的权利。

我们预计将于2024年3月6日召开2024年股东年会。根据交易法规则14a-8，希望提交建议的股东必须在2023年12月14日之前提交建议。然而，如果我们截至2023年9月30日的财年的年度股东大会日期从上一年会议日期的周年纪念日起更改了30天以上，那么在我们开始打印和发送截至2023年9月30日的财年2024年股东年会的委托书之前，最后期限将是一个合理的时间。股东的提案必须符合美国证券交易委员会适用规则的所有要求，包括规则14a-8，并应提交给亚利桑那州坦佩南克拉克大道131号Amtech Systems，Inc.的公司秘书，邮编85288。如果一项股东提案在2024年股东周年大会上提出，而我们的委托书中没有讨论该提案，并且股东没有按照美国证券交易委员会规则14a-4(C)(1)的规定，在2024年1月21日或之前通知我们有意在股东周年大会上提出该提案，则吾等收到的2024年股东周年大会的委托书将由委托书中指定的人酌情就该提案进行投票。

股东与董事会的沟通

我们没有股东与董事会沟通的正式程序。然而，任何拟提交董事会或任何董事会委员会的事项应提交给我们的公司秘书，地址为亚利桑那州坦佩南克拉克大道131号，邮编：85288，并要求将其转交给预定的收件人。所有交付给公司秘书以转交给董事会或指定董事会成员的股东通信将按照股东的指示转发。

没有引用注册的公司

在我们提交给美国证券交易委员会的文件中，信息有时会被“通过引用并入”。这意味着我们建议您参考之前提交给美国证券交易委员会的信息，这些信息应被视为特定申报文件的一部分。如美国证券交易委员会条例所规定及上文所述，本委托书中明确包含的“审计委员会报告”并未以参考方式并入美国证券交易委员会的任何其他备案文件中，且不应被视为“征集材料”。此外，该委托书还包括几个网站地址。这些网站地址仅用于提供不活跃的文本参考。这些网站上的信息不是本委托书的一部分。

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代用材料的保有量

美国证券交易委员会允许公司和中间人(即经纪商)通过向两个或多个证券持有人发送一份针对这些证券持有人的委托声明，来满足对共享相同地址的两个或多个证券持有人的委托声明的交付要求。这一过程通常被称为“持家”，这可能意味着证券持有人的额外便利和公司的成本节约。

如果您目前在您的地址收到我们的委托书和年度报告的多份副本，并希望要求保管您的通信，请联系您的经纪人。一旦您选择对您的通信进行管家，管家将继续，直到您收到其他通知或直到您撤销您的同意。如果您在任何时候不再希望参与房屋管理，并希望收到单独的委托书和年度报告，如果您以街道名义持有股票，请通知您的经纪人，如果您是亚利桑那州85288南克拉克大道131号Amtech Systems，Inc.的公司秘书，请将您的书面请求发送给我们的公司秘书。目前参与家族控股的股东可以通过拨打(480)967-5146与我们联系，要求获得委托书和年度报告的更多副本。

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扫描以查看材料并投票给Amtech Systems，Inc.C/O代理服务邮政信箱9142 Farmingdale，NY 11735 Vote by Internet-www.proxyvote.com或扫描上面的二维码使用互联网传输您的投票指令并以电子方式传递信息，直到晚上11：59。东部时间在截止日期或会议日期的前一天。按照说明获取您的记录并创建电子投票指导表。未来代理材料的电子递送如果您想减少我们公司邮寄代理材料所产生的成本，您可以同意通过电子邮件或互联网接收所有未来的代理声明、代理卡和年度报告。要注册电子交付，请按照上面的说明使用互联网进行投票，并在出现提示时表明您同意在未来几年以电子方式接收或访问代理材料。电话投票-1-800-690-6903使用任何按键电话传输您的投票指令，直到晚上11：59。东部时间在截止日期或会议日期的前一天。打电话时手持代理卡，然后按照说明进行操作。邮寄投票标记，签署并注明您的代理卡日期，然后将其放入我们提供的已付邮资的信封中退回，或将其退回至Vote Processing，C/o Broadbridge，51 Mercedes way，Edgewood，NY 11717。D94885-P83861 Amtech Systems，Inc.董事会建议表决：对提案1、2和3投赞成票1.董事选举：被提名人：扣留1a。1B.Michael Wang Lisa D.Gibbs 2.批准任命均富律师事务所为截至9月30日的财政年度的独立注册会计师, 2023年；反对弃权1c。1D。1E。批准随附的委托书中披露的与被任命的高管薪酬有关的咨询(不具约束力)决议；并处理在大会或其任何延期或休会之前适当提出的其他事务。1F。Michael M.Ludwig要指定累积投票的方法，请在右边的方框中标上“X”，并在反面的线条上写下您希望投票给每个被提名者的股份数量。每个股东在董事选举中的总投票数等于6(被提名参加董事选举的人数)乘以该股东在记录日期所持有的普通股股票数量。由此产生的总票数可以由股东为选举任何单一的被提名人而投票，或者股东可以在任何数量的或所有被提名人之间分配该等选票。为行使累积投票权，有表决权的股东必须填写委托书，并按照委托书上的说明注明累积投票权。如果您要亲自出席会议，请选中此处。是没有授权签名-必须完成才能执行您的指令。请与您的帐户上显示的姓名完全相同地签名。如以联名租约形式持有，所有人士均须签署。受托人、管理人等, 应包括所有权和权威性。公司应提供公司全称和签署代理卡的授权人员的头衔。有关年度会议代理材料供应的重要通知：通知和代理声明以及10-K总结可在www.proxyvote.com上查阅。D94886-P83861 Amtech Systems，Inc.股东周年大会当地时间2023年3月1日上午9：00本委托书由Amtech Systems，Inc.的以下签署股东董事会征集。特此任命Michael Wang和Lisa D.Gibbs或他们中的任何一人为代理人，各自有权任命他的继任者，并授权他们代表并投票，如本投票背面所指定的那样，Amtech Systems，Inc.的所有普通股。股东有权于当地时间2023年3月1日(星期三)上午9：00在位于美国亚利桑那州梅萨市Riverview N.860 N Riverview West的喜来登台面酒店举行的年度股东大会上投票，以及其任何续会或延期。当该代理被正确执行时，将按照本文所述的方式进行投票。如果没有做出这样的指示，该委托书将根据董事会的建议进行表决。Cumulate____________________________________________________________________________________________(如果您注意到上面的累积投票说明，请勾选背面相应的方框。)请务必在这张委托书上签名并注明日期，并在背面注明

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