附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根据以下条件进行认证

《美国法典》第18编第1350条，

根据以下规定通过

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于AMTECH Systems，Inc.(以下简称“公司”)于2022年9月30日向美国证券交易委员会提交的截至2022年9月30日的Form 10-K年度报告(以下简称“报告”)，本人，公司首席执行官Michael Wang，根据《美国法典》第18编的规定，谨此证明。1350，根据党卫军通过。《2002年萨班斯-奥克斯利法案》第906条：