附件24

授权委托书

请注意，以下签名的每个人构成并任命Michael Wang和Lisa D.Gibbs，以及他们中的每一人、其真实合法的事实代理人和代理人，并以他的名义、地点和代理，以任何和所有身份，以他的名义、地点和代理，以任何和所有身份签署Amtech Systems，Inc.截至2022年9月30日的财政年度Form 10-K年度报告，以及对Form 10-K年度报告的任何和所有修改，并将其连同所有证物和与此相关的其他文件提交给证券交易委员会，授予上述事实律师和代理人，以及他们每一人充分的权力和授权，在物业内和周围进行和执行每一项必要和必要的行为和事情，以及他本人可能或可以亲自进行的所有意图和目的，在此批准并确认所有上述事实律师和代理人，或其替代者或其替代者，可以合法地进行或导致根据本条例进行的一切行为。