附件23.2

独立注册会计师事务所的同意

我们同意以引用方式将S-8表格(第333-09911、第333-131051、第333-145454、第333-168606、第333-168607、第333-196937、第333-196940、第333-204431和第333-263875号表格)纳入本公司于2021年11月17日提交的报告中，内容涉及Amtech Systems，Inc.截至2021年9月30日的综合财务报表，以及截至2021年9月30日止两个年度的每一年度的10-K表格年报。