附件23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们已经发布了日期为2022年11月30日的报告，涉及Amtech Systems，Inc.截至2022年9月30日的年度报告Form 10-K中的合并财务报表。我们同意将上述报告以引用方式并入Amtech Systems，Inc.以S-8格式提交的注册声明(文件编号：第333-263875、第333-204431、第333-196940、第333-196937、第333-131051、第333-145454、第333-09911、第333-168606、第333-168607号)。