附件21.1
Amtech Systems,Inc.及其子公司
注册人的子公司
名字 |
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成立为法团的司法管辖区 |
布鲁斯技术公司 |
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马萨诸塞州 |
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BTU欧洲有限公司 |
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英国 |
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BTU国际公司 |
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特拉华州 |
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BTU有限公司(上海) |
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中国 |
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BTU海外有限公司。 |
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特拉华州 |
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北通海外(上海)有限公司。 |
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中国 |
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InterSurface Dynamic公司 |
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康涅狄格州 |
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P.R.霍夫曼机械产品公司 |
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亚利桑那州 |
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坦普拉斯系统公司 |
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德克萨斯州 |