附件21.1

Amtech Systems,Inc.及其子公司

注册人的子公司

 

名字

 

成立为法团的司法管辖区

布鲁斯技术公司

 

马萨诸塞州

 

 

 

BTU欧洲有限公司

 

英国

 

 

 

BTU国际公司

 

特拉华州

 

 

 

BTU有限公司(上海)

 

中国

 

 

 

BTU海外有限公司。

 

特拉华州

 

 

 

北通海外(上海)有限公司。

 

中国

 

 

 

InterSurface Dynamic公司

 

康涅狄格州

 

 

 

P.R.霍夫曼机械产品公司

 

亚利桑那州

 

 

 

坦普拉斯系统公司

 

德克萨斯州