EX-10.9

本文档中包含的某些用括号标记的机密信息已被省略，因为公开披露的这些信息(I)不是实质性的，(Ii)具有竞争性有害。

如您所知，我们一直在讨论您从Amtech Systems，Inc.(“本公司”)的董事会(“董事会”)退休、退休后公司将向您支付的款项、此后您在公司中的角色，以及双方终止您的雇佣协议。本书面协议(“协议”)的目的是阐明与上述条款有关的条款，并取得您的同意。

自阁下签署本协议(“生效日期”)起生效，本公司与阁下各自同意，本公司与阁下于2012年2月9日订立的第二份经修订及重新订立的雇佣协议(“雇佣协议”)于此终止，不再具有任何效力或效力。本公司和您同意，自2023年12月31日(“分居日”)起，您在本公司的雇佣关系将自动终止。

在生效日期至离职日期之间的期间(“过渡期”)，您仍将全职受雇于本公司。公司将聘用你担任并购支持职务，向公司首席执行官(“首席执行官”)汇报工作。您在这一角色中的职责将由首席执行官不时决定并由其酌情决定。你将获得每年100,000美元的基本工资，根据公司的工资惯例支付。在此过渡期内，您将按照公司政策为您提供与公司其他员工相同的员工福利。根据任何基本计划文件或适用法律的条款，公司保留随时修改或终止任何员工福利计划、实践或计划的权利。如果您在离职日期之前被无故解雇，您有权在该离职日期至离职日期期间领取上述基本工资，并根据公司的正常工资支付

[****]=[机密部分已被省略，因为IT(I)不是实质性的，并且(Ii)如果公开披露会对竞争有害

练习。就本协议而言，“因由”一词的含义应与“雇佣协议”中的定义相同，如下所述，以便于参考：“因由”指(I)您故意、反复或疏忽地不履行本协议项下的职责，不遵守由首席执行官或其代表发出的任何合理或适当的指示，并在发出书面通知后二十(20)天内继续不遵守，(Ii)您在公司场所或其他地方犯有严重不当行为，无论您是否在履行职责期间，合理地可能对公司声誉造成重大损害，或使您更难以令人满意地继续履行职责，并在发出书面通知后二十(20)天内继续或第二次发生此类严重不当行为；(Iii)您在刑事法庭被裁定犯有任何性质的罪行，而该罪行的性质如继续受雇于本公司，可能会对本公司的声誉造成重大不利影响或对本公司的利益造成重大损害；或(Iv)您犯下任何涉及本公司或其业务的欺诈或盗窃行为，或任何针对本公司的蓄意侵权行为。尽管有上述规定，“因由”只有在董事会正式通过的决议下才被视为存在，该决议是在正式通知的会议上确定的，在该会议上，您和您的律师首次有机会就该决定向董事会发言。

您同意并承认，自离职之日起，您不得以公司员工、代理人或授权代表的身份，代表公司谈判或签订任何协议，或以其他方式试图约束公司。

在离职日期之后延长您的雇佣期限，或在此之后聘用您为本公司的顾问，这两种情况均须经董事会审查和批准。任何咨询安排的条款均须经贵公司和贵公司双方同意。

[****]。虽然您在公司的工作可能会持续到离职之日，但您同意自愿从董事会退休，自2022年12月31日亚利桑那州时间结束时起生效。

当您从董事会退休时，(A)公司将向您支付相当于400,000.00美元的一次性付款，以表彰您的服务，这笔款项将受到法律规定的适用扣减，并将在您从董事会退休时支付(即，2022年12月31日)，以及(B)您将有资格获得额外的奖励补偿，金额取决于[****]。如果[****]，公司将向您一次性支付相当于50%(50%)[****]，以200,000.00美元为上限，这笔付款将受到法律规定的适用扣减的限制，并将在后六十(60)天内支付[****].

作为支付上文讨论的400,000.00美元的交换条件，并作为收到任何此类付款的条件，您同意不迟于2022年12月31日签署协议，并且不撤销本文件所附的针对公司和任何母公司、子公司、附属公司或其他关联方的任何和所有索赔，这些索赔涉及因您的

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雇用或终止雇用(“解除”)。如果您出于任何原因没有执行或撤销免责声明，您无权获得本段讨论的任何部分的补偿，您还承认并同意您对未来任何此类金额的权利将被丧失。

您和公司同意对本协议的条款保密，前提是您和公司可以向各自的律师、会计师和顾问披露本协议的条款，并在必要时遵守任何法律要求，包括但不限于美国证券交易委员会要求的任何纳税报告义务或披露义务。您和公司同意通知他们的顾问，他们必须同样同意对本协议的细节保密。

本协议应根据亚利桑那州的国内法律进行管理和解释，不得适用法律选择或法律原则冲突。本协议项下产生的所有争议应仅在亚利桑那州马里科帕县的州或联邦法院解决，您和公司不可撤销地同意该法院的管辖权和地点。

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本豁免及解除协议(下称“解除协议”)由J.S.Wang(“雇员”)与Amtech Systems，Inc.(“本公司”)签订。此处使用但未定义的大写术语应具有本协议(定义如下)中赋予它们的含义。

鉴于，员工已与公司签订了附加本新闻稿的书面协议(“协议”)，根据该协议，员工有资格获得与金斯敦应收账款有关的激励性薪酬(如协议中所定义)，部分条件是员工执行本新闻稿；以及

鉴于，为了促使公司签订协议，员工已同意签署和交付本新闻稿，因此，公司和员工(统称“各方”)希望签署本新闻稿。

因此，考虑到本协议所载的相互协议和承诺以及其他良好和有价值的对价，双方特此同意如下：

全面释放索赔。作为对金斯敦应收激励薪酬的交换，员工代表自己和他的继承人、法定代表人、继承人和受让人，放弃和放弃(即放弃)所有已知和未知的索赔，这些索赔是在员工签署本新闻稿之日之前发生的，针对公司、母公司、子公司和关联公司，以及他们各自过去、现在和未来的高级管理人员、董事、经理、管理成员、合伙人、普通合伙人、有限合伙人、董事、成员、受托人、股东、代表、员工、负责人、代理人、关联公司，母公司、子公司、合资企业、前任、继承人、受让人、受益人、继承人、遗嘱执行人、个人或法定代表人、保险公司和其中任何一方的律师(每一方均为“被释放方”，统称为“被释放方”)。例如，但不限于，员工将被解雇的当事人从以下位置释放：

任何和所有违反合同的明示和默示的索赔，违反诚信和公平交易的契约，报复索赔，包括但不限于工人赔偿报复索赔，约定的禁止反言，欺诈性的，疏忽的或故意造成精神痛苦的索赔，疏忽或故意的失实陈述，疏忽或故意干扰合同或预期的经济利益，不公平的商业行为，诽谤，疏忽，人身伤害，攻击，殴打，侵犯隐私，虚假监禁，转换，以及任何其他关于侵权或不当待遇的索赔；

[****]=[机密部分已被省略，因为IT(I)不是实质性的，并且(Ii)如果公开披露会对竞争有害

《1964年法案》，经修正的《1964年法案》(第42 U.S.C.§§2000 e及其后)；《1991年民权法案》，经修订的；《1866年民权法案》第1981和1983节，经修订的《1866年民权法案》(42 U.S.C.§1981,1983)；1967年《就业方面的年龄歧视法案》，经修订的《美国联邦法典》第29篇，第621节及以后各节；1990年《美国残疾人法》，经修订的《美国残疾人法》(《美国联邦法典》)，经修订的《美国残疾人法》(第42 U.S.C.§§12101 et seq.)；经修订的1973年《康复法》(第29篇《美国法典》第701节及以后)；2008年《遗传信息非歧视法》，经修订(第42篇《美国法典》第2000节)；1974年《雇员退休收入保障法》，经修订(第29篇《美国法典》第1001节及以后)；1994年《统一服务业就业和再就业权利法》，经修订，(第38篇《美国联邦法典》第4301节及以后)；经修订的《1974年越南时代退伍军人调整援助法》(《越战时期退伍军人调整援助法》)(《美国法典》第38编第4211节及其后)；11246号行政命令，经修订的2002年《萨班斯-奥克斯利法案》；1993年《家庭和医疗休假法》，经修订(《美国法典》第29编第2601节及以后)；经修订的《国家劳动关系法》(《美国法典》第29编第151节及其后)、《工人调整和再培训通知法》(《警告》)，经修订(《美国法典》第29编第2101节及其后)以及任何类似的州或地方工厂关闭法，经修订的1963年《同工同酬法》(《美国联邦法典》第29篇，第206(D)节)；《虚假申报法》，经修订的《虚假申报法》(《美国联邦法典》第31篇，第3729节及其后)；以及任何其他可以免除的工资和工时索赔；亚利桑那州的法规、法律、条例、法规或普通法，包括但不限于亚利桑那州工资法、亚利桑那州同工资法、亚利桑那州就业保护法、亚利桑那州民权法案、亚利桑那州职业健康和安全法、亚利桑那州工作权法律、亚利桑那州雇员药物测试法、亚利桑那州医用大麻法、亚利桑那州基因测试法, 《亚利桑那州刑法》，全部经修订，包括其实施条例；

未知的索赔。此版本扩展到员工现在可能拥有的所有索赔，即使是目前未知的索赔。雇员明白，在签署本新闻稿后，他可能会发现与他现在知道或相信存在的索赔或事实不同或不同的索赔或事实，并且如果在签订本新闻稿时已知或怀疑这些索赔或事实，可能会对本新闻稿或其签署决定产生重大影响。尽管如此，本新闻稿中的放弃和免除应在所有方面保持有效，无论是否有任何不同或附加的事实。

[****]=[机密部分已被省略，因为IT(I)不是实质性的，并且(Ii)如果公开披露会对竞争有害]

根据适用的工人补偿法规或政府提供的失业救济金；以及(C)声称法律不允许员工通过签署本新闻稿而放弃。此外，本新闻稿中的任何内容都不禁止或阻止员工向美国平等就业机会委员会(“EEOC”)或州或地方公平就业做法机构提出指控，或参与、作证或协助任何调查、听证或其他程序，但员工不得就他或其他人代表他提出的任何此类索赔、指控或程序追回任何金钱利益或其他救济。最后，本新闻稿中的任何内容不得被解释为放弃员工执行本新闻稿中任何条款的权利或根据ADEA质疑本新闻稿的有效性。

同意不去苏。雇员声明并同意，他没有向任何联邦、州或地方机构或法院提起针对被释放方的任何投诉、指控、索赔、诉讼或诉讼(统称为“诉讼”)。除第2款和第3款另有规定外，员工表示并同意：(A)他不会在任何时间就他在本新闻稿中释放的任何索赔提起任何诉讼；以及(B)如果员工提起诉讼，声称他在本新闻稿中释放的任何索赔，他理解并同意被释放的各方将有权向他追回律师费、其他辩护费以及他的诉讼或诉讼造成的任何其他损害赔偿(视情况而定)。本新闻稿中没有任何内容阻止员工向任何政府机构报告可能违反适用法律的行为，或向有管辖权的法院、行政机构或调查机构提供真实信息。

申述。作为本新闻稿的一部分，Employee表示并同意：(A)他没有将本新闻稿中描述的任何索赔转让或转移给任何第三方；(B)他没有遭受任何与工作有关的错误或伤害，他未来仍有权获得赔偿或救济；(C)他不知道或已经向公司披露了被解约方的任何被指控的不当或不当行为；(D)他完全遵守了员工在公司政策下的义务以及员工与公司之间关于保密和/或知识产权的任何协议；(E)他已经正确地报告了他的所有工作时间(如果适用)；以及(F)他已经获得了在该员工签署本新闻稿之日之前公司应向他支付的所有工资、加班费、佣金、补偿、福利和其他金额。

可分性。法院裁定本新闻稿的任何条款无效、非法或不可执行，不应影响本新闻稿的任何其他条款的有效性、合法性或可执行性。此外，如果本新闻稿中包含的任何条款被发现无效、非法或不可执行，双方同意应修改该无效、非法或不可执行的条款，并以在允许的范围内实现基本相同的实际或经济效果且有效和可执行的新条款取而代之。

[****]=[机密部分已被省略，因为IT(I)不是实质性的，并且(Ii)如果公开披露会对竞争有害]

11.

第409A条。本新闻稿和在本新闻稿下提供的付款和福利旨在遵守或以其他方式免除修订后的1986年《国税法》第409a节的要求，并应按照与该意图一致的方式进行解释、解释和管理。根据本新闻稿进行的任何付款将被视为单独付款，根据本新闻稿获得一系列分期付款的权利将被视为获得一系列单独付款的权利。如果雇员是“特定雇员”(第409a条所指)，根据第409a条被视为非合格递延补偿的任何付款或福利，以及因雇员“离职”(第409a条所指)而应支付或提供的任何款项或福利，在本句子所述的最早日期之前支付或提供的，应改为延期、累计并一次性支付，或在(I)雇员离职后7个月的第一天或(Ii)雇员死亡之日中最早的一天支付或提供。

考虑期限。员工明白，他可以从获得本新闻稿之日起最多21个日历日内决定是否签署本新闻稿(“考虑期限”)，并且他已被给予至少21个日历日来考虑本新闻稿的实际条款并咨询员工选择的律师。员工进一步了解，对此版本的更改，无论是实质性的还是非实质性的，都不会重新开始21天期限的运行。员工明白，要获得金斯敦应收奖励薪酬，他必须将这份签署的新闻稿交付给公司，并将其发送到下列人员和地址，以便公司在对价期限届满时或之前收到该新闻稿。如果雇员在对价期限届满前自愿签署免责声明，他同意放弃对价期限的剩余部分。员工理解，如果他没有在考虑期满之前签署免责声明，那么这份免责声明将被自动撤回、撤销和

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