附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根据以下条件进行认证

《美国法典》第18编第1350条，

根据以下规定通过

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于Amtech Systems，Inc.(“公司”)于本报告日期向美国证券交易委员会提交的截至2022年6月30日的10-Q表格季度报告(“报告”)，本人，公司首席执行官Michael Wang，依照美国法典第18编第1350条，根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条的规定，证明：

上述证明是根据《美国法典》第18编第1350条提供的。它不是为了1934年修订的证券交易法第18条的目的而提交的，也不会通过引用将其纳入公司的任何文件中，无论该文件中的任何一般公司语言如何。