附件3.1

取消

指定、优惠和特权证书

的

A系列可转换优先股

(每股票面价值0.01美元)

的

Amtech Systems，Inc.

根据《公约》第10-602节

亚利桑那州商业公司法

Amtech Systems，Inc.(以下简称“公司”)是一家根据亚利桑那州商业公司法成立和存在的公司，其签署的正式授权人员特此证明：

鉴于，经修订及重新修订的公司章程细则(“公司章程细则”)授权发行一亿股(1亿，000,000股)可不时按一个或多个系列发行的空白优先股；及

鉴于公司董事会(“董事会”)获授权在符合法律及公司章程细则规定的限制下，设立及厘定任何优先股系列所包括的股份数目，以及该系列股份的指定、权利、优先股、权力、限制及限制；及

鉴于董事会确定和指定了共计54万股(540,000)股称为“A系列可转换优先股”的优先股；以及

鉴于所有授权的A系列可转换优先股已被赎回或转换为普通股，根据A系列可转换优先股的指定、优先和特权证书(“指定证书”)E.13节，所有此类股票不得重新发行，所有此类股票应从公司应获授权发行的股票中注销、注销和消除；以及

鉴于，董事会认为，为了公司及其股东的最佳利益，取消和取消该系列股票的所有指定、权利、优惠、限制和限制，并从公司的账簿和记录中删除所有提及A系列可转换优先股的内容是可取的；

因此，现在议决，根据公司章程条款授予和归属董事会的权力，董事会特此取消指定证书，并取消所有A系列可转换优先股；以及

又议决按照上述决议，授权公司的有关高级人员及每名个别人员按照上述决议，以公司名义及代表公司拟备、签立及交付与上述决议所设想的事宜有关的任何及所有协议、修订、证书、报告、申请、通知、文书、附表、陈述、同意书、函件或其他文件，依据联邦、州或地方法律提交任何文件，招致任何费用及开支，以及作出或安排作出任何该等获授权人员认为可能需要的任何及所有其他作为及事情，为了遵守任何司法管辖区的适用法律和法规，或为了使本公司能够充分和迅速地实现前述决议的目的和意图，并允许合法地完成由此而预期的事项，本公司将被视为适当或适宜的。

[签名页如下]

兹证明，AMTECH系统公司A系列可转换股票的指定、优惠和特权证书已于2022年8月12日由该公司正式授权的人员签署。

Amtech Systems，Inc.

亚利桑那州公司

作者：/s/丽莎·D·吉布斯

姓名：丽莎·D·吉布斯

职位：首席财务官