附件32.1
首席执行官和首席财务官的认证
依据《美国法典》第18编第1350条，
根据以下规定通过
2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节
关于本文件日期提交给美国证券交易委员会的截至2022年6月30日的MKS仪器公司(“本公司”)10-Q表格季度报告(“本报告”)，签署人John T.C.Lee，本公司首席执行官总裁和本公司首席财务官兼财务主管Seth H.Bagshaw，根据根据2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节通过的美国法典第18篇第1350条，兹证明：
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日期：2022年8月3日 |
/约翰·T·C·李 |
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约翰·T·C·李 总裁与首席执行官 (首席行政主任) |
日期：2022年8月3日 |
/s/赛斯·H·巴格肖 |
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赛斯·H·巴格肖 首席财务官兼财务主管高级副总裁总裁 (首席财务官) |