美国

美国证券交易委员会

华盛顿特区，20549

表格SD

专业披露报告

Amtech Systems，Inc.

(注册人的确切姓名，载于其章程中)

丽莎·D·吉布斯

480-360-3756

(公司名称及电话号码，包括区号)

与此报告相关的联系人。)

勾选相应的框以指明提交此表格所依据的规则，并提供此表格中的信息适用的期限：

《证券交易法》(17 CFR 240.13P-1)关于2021年1月1日至12月31日报告期的第13P-1条规则。

第1节--冲突矿产的披露

项目1.01冲突矿物的披露和报告

冲突矿产资源披露

Amtech Systems，Inc.(“本公司”)的本SD表格是根据1934年《证券交易法》(经修订)下的规则13P-1提交的，其报告期为2021年1月1日至2021年12月31日。

对我们的合理原产国调查(“RCOI”)过程的简要描述、我们的调查结果以及我们通过RCOI过程得出的决定包含在我们的Conflicent Minerals报告中，作为本表格SD的附件。

公司的冲突矿产报告的副本作为本表格SD的附件1.01存档，并可在https://www.amtechsystems.com/investors/sec-filings/conflict-minerals.上公开获得

第1.02项展品

根据第1.01项的要求，本公司的冲突矿产报告的副本作为附件1.01存档。

第三部分--展品

第3.01项展品

以下证物作为本报告的一部分提交。

展品索引

签名

根据1934年《证券交易法》的要求，注册人已正式促使本报告由正式授权的以下签署人代表其签署。

Amtech系统公司

(注册人)